Устройство для измерения зависимости емкости конденсатора со структурой металл-диэлектрик-полупроводник от велечины поверхностного электростатического потенциала

Патент 693276

Авторы

• РАГАУСКАС АРМИНАС ВАЛЕРИОНОВИЧ

---

Классы МПК

• G01R31/26 - испытание отдельных полупроводниковых приборов (измерение содержания примесей G01N)
• H01L21/66 - испытания или измерения в процессе изготовления или обработки (после изготовления G01R 31/26)