Электродуговой испаритель

Электродуговой испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ плазменного сорбционного вакуумного насоса, содержащий катод из геттерного материала с охлаждаемой подложкой и стабилизирующий экран, о 'т л и *• чающийся тем, что, с целью повыпения срока службы насоса, катод имеет форму полусферы, а экран установлен вок{)уг подложки катода.2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что между экраном и охлаждаемой подложкой установлен изолятор, причем экран.электрически связан с источником возбуждения дуги.I