Щелевая регулируемая диафрагма

Щелевая регулируемая диафрагма

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

р. 6949I5

ОП ИСА НИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (б1) Дополнительное к авт. свпд-ву (22) Заявлено 11.05.78 (21) 2618516 18-25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет (51) М. Кл.-"

Н 01J 39,02

Государственный комитет (43) Опубликовано 30.10.79. Бюллетень Ха 40 (53) УДК 621.384 (088,8) ло делам изобретений и открытии (45) Дата опубликования описания 30.10.79 (72) Авторы изобретения

А. А. Зернов, А. Г. Мить и Л. М. Назаренко

Институт ядерной физики АН Казахской ССР (71) Заявитель (54) ЩЕЛЕВАЯ РЕГУЛИРУЕМАЯ ДИАФРАГМА

Изобретение относится к области аналитического приборостроения и может быть использовано, В частности, для формирования пучков заряженных частиц в масс-спектромстрах и электронных спектрометрах.

Известны регулируемые щелевые диафрагмы, щелевой зазор в которых формируется заостренными кромками (ножами) подвижного и неподвижного элементов или двух подвижных элементов. Изменение величины зазора в этих диафрагмах происходит за счет перемещения ножей при помощи направляющих пластин в одном подвижном элементе (1).

Известны также конструкции, содержащие ножи, жестко закрепленные на направляющих параллельного перемещения ножси j2j Направляющие выполнены в виде плоских пластин, гибких и упругих в направлении перемещения микрометрического привода.

Как в аналогах, так и в прототипе, ножи крепятся па концах протяженных пластин, что позволяет ножам совершать колебательные движения. Такая система весьма чувствительна к вибрациям, что отрицательно сказывается на стабильности щслевого зазора при работе с очень узкими щелями. При изменении ширины щелевого зазора в работу вступают разные области ножевых кромок, что вносит погрешность в формирование зазора. Кроме того, вследствие малого теплового контакта ножей и направляющих пластин с остальной частью установки, параллельность ножей в такой системс может быть нарушена и в том случlac, НОГда тезяпсратура ОднОГО из ножен или направляющих элементов окажется выше (или ниже) остальных.

10 Цель изобретения — повышение точности регулирования щелевого зазора и обеспечение работоспособности диафрагмы при вибрациях, npl»laueneIIIIII ширины щслсвого зазора и локальном изменении темпе > рагуры ножей или направляющих элементов.

Отличительной особенностью предлагаемой щелевой регулируемой диафрагмы является то, что ножи жестко закреплены на

20 паправляющн:, выполненных в виде перемычек, napaллельных щелевому зазору, гибких и упругих в направлении изменения ширины щелевого зазора.

На чертеже изображена предлагаемая

"0 диафрагма.

Она состоит нз двух одинаковых частей, которых содержит Нох» 1, формируloLIIè," I шслсвой зазор, направляющую 2, выполненную в виде гибкой и уn30 ругой перемычки, рычага 3, передающего

694915 и

Составитель И. Некрасов

Техред H. Строганова

1(орректор Л. Орлова! тсдактор H. 1(оляда

Заказ 2216/16 Изд. М 614 Тираж 923 Г!одписное

1-i! IO «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изовретеннй и открытий

113035, Москва, 3(-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр Сапунова, 2 усилие привода возку, и корпуса 4, составляющего единый блок с ножом и перемычкой.

Под действием силы, действующей на рычаги, перемычки изгибаются, и ножи перемещаются поперечно, образуя щелевой зазор. Диафрагма может также работать при наличии одной перемычки, когда один пз ножей закреплен неподвижно.

Предлагаемая диафрагма менее чувстви- 10 тельна к локальному нагреву, так как все элементы диафрагмы имеют достаточный тепловой контакт с остальной частью установки, в том числе и ножи, соединенные с корпусом через короткие (— 2 мм) и отно- 5 сительно толстые (— 1 мм) перемычки.

В отличие от прототипа при изменении ширины щелевого зазора в работе находится одна и та же область ножей, что положительно сказывается при работе с очень 0 узким!1 щелями и значительно сокращает длину ножей, выполняемых с высокой степенью точности.

Жесткая и компактная конструкция щелевой диафрагмы позволяет эффективно применять се при создании виброустойчиBbIx аналитических установок с очень узкими (1 мкм) щелями источника гли приемника заряженных частиц.

Формула изобретения

Щелевая регулируемая диафрагма, содержащая ножи, жестко закрепленные на направляющих 11apaëëåëünî перемещения ножей, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности регулирования шелевого зазора, направляющие выполнены в виде перемычек, параллельных щелевому зазору, гибких и упругих в направлении изменения ширины щели.

Источники информации. принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции 2049762, кл. Н011

39/00, 1971.

2. Лвторское свидетельство СССР

Ме 465614, кл. С01 В 9/34, 1970 (прототип).