Способ обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала

Способ обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советским

Социалистическим

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.12.77 (2! ) 2561595/29 — 33 с присоединением заявки М (5!)М. Кл.

G 01 и 33/38

ГееударстэееФ мвивтет

СССР в делам мзебратаей в 97KpblT1IN

Ъ (23) Приоритет

Опубликовано 05.11.79. Бюллетень М 41

Дата опубликования описания 05.11.79 (58) УДК 620.191 (088.8) (72) Авторы изобретения

Е0. В. Серов и С. А, Иноземцев (7!) Заявитель (54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ДЕФЕКТОВ

НА ПЛАСТИНЕ МАТЕРИАЛА

1О

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии обработки поверхности стекол для фотошаблонов.

Известен способ излучения топографии поверхности твердых тел с помошью электронной микроскопии, заключающийся в нанесении на исследуемую поверхность в процессе термического испарения угля тонкой угОльной пленки. Напыленная угольная пленка с высокой точностью повторяет рельеф поверхности и может использоваться при изучении дефектов поверхности {11.

Такие угольные пленки ввиду малого атомного номера углерода имеют низкий контраст.

Известен также способ обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала, включающий последовательное нанесение утольной пленки и слоя желатина на исследуемую пластину, отделение слоя желатина вместе с угольной пленкой, растворение желатина, нанесение оттеняющего материала на поверхность угольной пленки и просмотр ее в электронном микроскопе (2).

Недостатком способа является то, что для получения оттененной угольной пленки необходимо проводить два процесса напыления в установке вакуумного напыления (угольной пленки и оттеняюшего материала), угол направления оттенения выбирается произвольно при неизвестном характере дефектов, в случае не. удачного проведения процесса оттенения исправить ошибку невозможно.

Пель изобретения — обеспечение возмож. ности обнаружения дефектов различного вида и размеров на больших плошадях, а также повышение производительности способа.

Поставленная цель достигается тем, что в

15 известном способе обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала, включающем последовательное нанесение угольной пленки и слоя желатина на исследуемую пластину, отде20 ление слоя желатина вместе с угольной пленкой, растворение желатина, нанесение оттеняюшего материала на поверхность угольной пленки и просмотр ее в электронном микроскопе, оттеняющий материал наносят на поверхность

696380 4 потребовалось 25 рабочих дней. На аналогичные исследования старым способом потребовалось.бы 100 рабочих дней. Исходя из годовой потребности анализа 200 стекол экономия рабочего времени составит 750 рабочих дней.

При стоимости 1 рабочего дня 7,2 руб. годовая экономия при работе на одном электронном микроскопе составит около 5 тыс. руб.

Значительно больший эффект можно ожидать из того, что предлагаемый способ существенно сокращает сроки получений исчерпывающей информации о характере поверхности и это может быть оперативно использовано для активного воздействия на режимы обработки.

Составитель М. Слинько

Техред Л.Алферова

Корректор А. Гриценко

Редактор О. Иванова

Заказ 6758/45

Тираж 1073 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж- -35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная,4 угольной пленки распылением сфокусирован-! ным лучом электронного микроскопа.

В результате того, что нанесение оттеняющего материала происходит в колонне электронного микроскопа, отпадает необходимость в проведении отдельного процесса оттенения, Так как просмотр оттененного участка угольной пленки происходит непосредственно после окончания распыления навески без удаления ,пленки из колонны микроскопа, з процесс ,оттенения угольной пленки можно повторять неоднократно до полного распъшения всех на.весок, возможно всегда подобрать оптимальные условия оттенения для данного вида дефектов, варьируя количество распыленного материала.

В виду того, что распыление навески идет по всем направлениям, на оттененном участке всегда существует область, где условия для оттенения протяженных дефектов, типа царапин и 30 ступеней будут оптимальными.

Таким образом, возрастают эффективность и надежность способа обнаружения дефектов на пластине, резко сокращаются сроки проведения процесса и, как следствие, появляется воз- 25 можность в реальные сроки анализировать состояние поверхности таких крупных объектов, какими являются, например, полированные стекла для фотошаблонов {70x70 мм). за

Проведенные эксперименты по обследованию партии стекол для фотошаблонов, прошедших различные операции полировки,. показали высокую эффективность предлагаемого способа.

Были выявлены дефекты с размером от 50 до 1000 А и их распределение по всей поверхности стекла. Важные результаты были получены при исследовании предлагаемым способом окисных пленок кремния, полученных в различных режимах окисления. 40

Для полного обследования партии из 20 стекол фотошаблонов предлагаемым способом

Формула изобретения

Способ обнаружения поверхностных дефектов на пластине материала, включающий последовательное нанесение угольной пленки и слоя желатина на исследуемую пластину, отделение слоя желатина вместе с угольной пленкой, растворение желатина, нанесение оттеняющего материала на поверхность угольной пленки и (просмотр ее в электронном микроскопе, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью обеспечения возможности обнаружения дефектов различного вида и размера на больших площадях, а также повышения производительности способа, оттеняющий материал наносят на поверхность угольной пленки распылением сфокусированным лучом электронного микроскопа.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Пилянкевич А. Н. Практика электронной микроскопии, Киев, Машгиз, 196!, с. 64 — 65.

2. Пилянкевич А. Н. Практика электронной микроскопии, Киев, Машгиз, 1961, с. 102 — 107.