Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов

Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

р . (м: "и

l ... е(Соеоэ Советскик

Социалистических

Республик

1 (1))

ИЗОБРЕТЕН Ия (6! ) Дополнительное к авт. саид-ву— (22)Заявлено 05,07.77 (2l) 2503773/18-25 с присоединением заявки,% (23) Приоритет

Опубликовано 05.11.79. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 08. 1 1. 79 (-! )м. v÷.

Н 0 -т г /1 >

Н01,, 3150

Государственный нокнтет

СССР по делам наобретеннй н отнрмтнй

{ y3) g g "2т.38 (0,,8 Q) В, Г. Гусельников, E. Н. Белопотапова, В. M. Пастухова и Т. A. Филимонова (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области элейтронной техники,в частности к оборудованию для изготовления фотоэлектронных приборов (ФЭП) .

Известно устройство цля изготовления ФЭП построенное по принципу раздельной обработки (метод переноса) фотокатода в специальном вакуумном объеме и переносе его в другой вакуумный объем для стыковки с остальными элементами прибора и последующей герметизацией (1) .

Недостатком этого устройства является то, что фотокатоды в готовых приборах имеют малую чувствительность, для восстановления которой до приемлемого уровня требуются немалые усилия.

Известно также устройство для изготовления ФЭП, содержащее вакуумную рабочую камеру, расположенные в ней, соосцо держатель -аготовки фотокатода и подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора и установленный в подвижной каМере формирования активировочный узел (2)., Недостатком данного устройства яв5 ляется то, что при перемещении сформированного фотокатода в колбе прибора, размещейной в другой вакуумной среде, происходит резкое снижение его чувствительности. Для того, чтобы чувствительность фотокатода осталась хотя бы на приемлемом уровне, предъявляются черезвычайно высокие требования к вакууму в рабочей камере (10 -10 торр) и спектральному составу остаточных газов.

Создание и поддерткнние .высокого вакуума требует применения высокоэффективных и дорогостоящих средств откачки, а также длительного высокотемпературного отжига значительных объемов, что делает процесс изготовления ФЭП малопроизводительным. Однако даже при соблюдении всех технических требований невоз- . можно гарантировать одинаковость парциального состава газов в камере формирова696557 ния и в рабочей камере, где производится стыковка частей ФЭП.

Целью изобретения является упрощеННе технологии изготовления ФЗП.

Поставленная цель достигается тем, что держатель заготовки фотокатода и подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора размещены в неподвижной камере формирования, имеющей укрепленную подвижную перегородку с отверстием и активировочным узлом, перемещаемую между держателями фотокатода и корпуса фотоэлектронного прибора, причем подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора размещен в обойме, на боковой поверхности которой выполнены отверстия, а также тем, что между подвижной перегородкой и камерой формирования размещен уплотнительный элемент.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство в положении, когда производится активировка катода; на фиг. 2устройство во время герметизации ФЭП.

Устройство для изготовления ФЭП содержит вакуумную рабочую камеру 1, ;камеру 2 формирования, уплотнительное

- кольцо 3 из витона, установленное в пазу камеры 2 формирования, которое герметизирует внутренний объем камеры 2 формирования от основного объема рабочей вакуумной камеры. В верхнем отсеке камеры 2 формирования расположен держатель фотокатода 4, с которым герметично спаяна подложка под фотокатод 5, а в нижнем отсеке камеры 2 формирования подвижно установлена обойма 6 цилиндрической формы с размещенным в ней держателем корпуса ФЭП 7, по торцу которого в пазу установлено уплотнительное кольцо 8 из индия. . Объем обоймы 6 делают такой величины, что он позволяет устанавливать держатели ФЭП 7 как для фотоэлементов, так и для электронно-оптических преобразователей и фотоэлектронных умножителей.

Между верхним и нижним отсеками камеры формирования расположена подвижная перегородка 9, соединенная с ме» ханизмом перемещения 10. Перегородка

9 имеет форму прямоугольника, в левой части которого сделано круглое отверстие

1 1, а в правой части углубление 12 для размещения активатора фотокатода 5.

Перегородка 9 может находится в двух фиксированных положениях: в край5

)5

55 нем правом положении (показано пунктиром на фиг. 1), когда через отверстие

1l верхний и нижний отсеки камеры формирования соединены, и в крайнем левомрабочем положении, когда углубление 12 с активатором расположено по оси камеры 2 формирования, а отсеки герметично отделены друг от друга.

Обойма 6 перемещается в направляющих неподвижной плиты 13 под давлением, передающимся штоком 14. На боковой поверхности обоймы 6 по диаметру на разных высотах выполнены сквозные отверстия 15 и 16 таким образом, что в исходном положении они соединяют внутренний объем обоймы,6 и камеру 2 формирования со средой рабочей камеры 1, а по окончании процесса формирования фотокатода 5 перекрываются корпусом неподвижной плиты 13, в пазу которой установлено уплотнительное кольцо 17 из витона.

Устройство работает следующим образом.

В исходном положении перегородка

9 отведена с помощью механизма перемещения 10 в крайнее правое положение, верхний и нижний отсеки камеры 2 формирования соединены и через отверстия 15 и 16 откачиваются одновременно с вакуумной рабочей камерой 1. В таком положении производится прогрев при высокой температуре с одновременным обезгаживанием компонентов формирования фотокатода 5. По достижении

-ь вакуума 10 торр нагреватели (на чертежах не обозначены) отключаются и проиЧходит остывание всей конструкции до комнатной температуры. Перегородка

9 механизмом перемещения 10 переводится в рабочее положение. Верхний отсек камеры формирования отделяется от вакуумной рабочей камеры 1 и нижнего отсека. В таком положении производится активировка фотокатода 5. По достижении максимальной чувствительности фотокатода 5 шток 14 перемещает обойму

6 и держатель корпуса ФЭП 7 в направлении к нерегородке 9 до тех пор, пока отверстие 16 не будет перекрыто корпусом плиты 13 и вакуумная среда камеры формирования 2 отделена от вакуумной среды рабочей камеры 1. Затем механизмом перемещения 10 отводят пере городку 9 в крайнее правое положение и, перемещая обойму 6 штоком 14 под давлением, герметично соединяют две асти прибора - держатель фотокатода

696557 с держателем корпуса ФЭП 7, через кольцо 8 (фиг, 2).

Использование данного устройства позволит получать необходимую чувствительность фотокатодов и ее стабильность

-6 7 в вакууме 10 - 10 торр, вместо

10 - 10 торр в устройствах, построенных по принципу переноса, а также вдвое повысить производительность изготовления приборов.

Формула изобретения

1. Устройство для изготовления фото15 электронных приборов, содержащее ваку- умную рабочую камеру, .расположенные в ней соосно держатель заготовки фотокатода и подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора и установленный в подвижной камере формирования активировочный узел, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью упрОщеP ния технологии изготовления приборов, держатель заготовки фотокатода и подвижный держатель корпуса фотоэлектронного прибора размещены .в неподвижной камере формирования, имеющей укрепленную подвижную перегородку с отверстием и активирово 1ным узлом, перемещаемую между держателями фотокатода и корпуса фотоэлектронного прибора, причем подвижный держатель корпуса фотоэлектрон ного прибора размещен в обойме, на боковой стороне которой Выполнены отвер стия.

2. Устройство по п. 1, о т л ичающее ся тем, чтомежду подвижной перегородкой и камерой формиро вания размещен уплотнительный элемент.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

N 476621, кл. Н 01 > 9/12, 1972.

2. Патент США, М 3353889, кл. 316-17, 1967.

696557

17

Составитель .А, Сенчихин

Редактор В. Фельдман Техред Л. Алферова КорректорМ„ Пожо

Заказ 6786i54 Тираж 923 Подписное

11НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва; Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПЛП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная; 4