Катодный узел

Катодный узел

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсиик

Социапистичесииа, Респубпии (1699032 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22)Заявлено 04.11.76 (21) 2417324/18 21 с присоединением заявки М (23) П риоритет

Опубликовано 25.11.79. Бюллетень %43

Дата опубликования описания 07.12-79 (51) М. Кл.

С 23 С 15/00

ЙвударстаавлЫ квинтет

СССР в делам лзоаретекик и вткрьпий (53) УЙК 621.382.

602.793. 14 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. П. Достанко, В. Я. Шприцов, В. В, Шаталов и В. А. Бобков

Минский радиотехнический институт (71) Заявитель (54) КАТОДНЫЙ УЗЕЛ

Изобретение относится к технике нанесения тонких пленок в вакууме и может быть использовано для осаждения на поверхности твердого тела пленок сложного состава путем ионного распыления.

Известна конструкция катодного узла, содержащего основание и мозаичную шинель (33.

Недостатком устройства является сложность конструкции из-еа индивидуальнос10 ти водо- и электроснабжения каждого элемента, благодаря чему становится невоз можным получение многокомпонентных пленок из широкого круга материалов.

Цель изобретения - упрощение конст3$ рукпии.

Это достигается тем, что в катодном уэлэ, содержащем основание и мозаичную мишень, мозаичная мишень выполнена в виде решетчатой пластины из материала одного из распыляемых компонентов, а водоохлаждаемое основание выполнено с пазами, служащими дли размещения стержней из материала других распыляемых компонентов, причем отверстия решетчатой пластины размещены над пазами водоохлажда емого основания, На фиг. 1 схематично показана, «онструкция катодного узла, в котором основание раэьемное; на фнг. 2 - то же основание выполнено неразьемным.

B верхней части основания 1 высверлены вертикальные отверстия 2, в которые вставлены стержни 3 из отдельных компонентов наносимой пленки. Лицевая сторона пластины 1 с помощью, например, пайки или сварки, закрыта решетчатой пластиной 4, выполненной иэ основного компонента, в которой имеются отверстия для стержней 3.

Изменение состава мозаичной мишени осуществляется путем варьирования коли чества стержней 3, замена которых осуществляется при снятой пластине 5.

Катодный узел имеет основание 1 (см. фиг. 2), в котором выфрезерованы пазы прямоугольной формы, Лицевая сторона Ос» нования 1 с помощью, например, пайки з 6990 или сварки, закрыта решетчатой пластиной 2, выполненной из основного компонента, в которой есть-отверстия 3, расположенные под пазами основания 1, нри чем диаметр отверстий 3 меньше ширины паза. В пазы механически вставляются ,стержни 4 иэ отдельных компонентов.

Минимальное содержание в пленке ма териала решетчатой пластины пропорйионально через коэффициент распыления пло щади решетчатой пластины за вычетом площади отверстий. Лля увеличения. количества материала решетчатой пластины в пленке можно применять съемные стерж ни из того же материала, Основание выполняется иэ материала с хорошей теплопроводностью, например, из меди, и в процессе распыления мозаич ной мишени интенсивно охлаждается водой одним из известных способов. Расположе

0 ние вставных стержней в пазах основания обеспечивает их хорошее охлаждение при интенсивной бомбардировке ионным потоком, что |юзволяет изготовить их иэ лег-, 25 ко диссоциирующих веществ, например, из

6 А.

Катодный узел (см. фиг. 1) имеет диаметр 100 мм. Верхняя 1 и нижняя 5 части толщиной 5 мм каждая изготавлива ются иэ меди. Решетчатая пластина 4

30 толщиной 1 мм выполняется из палладия.

Вставные стержни 3 диаметром 5 мм изготавливается иэ ванадия и никеля. При напылении пленок Pd - V-М в:-дазы пластины 1 вставляются одновременно стерж35

32 4 ни из 9 и Л/ которые чередуются в шахматном порядке. Катодный узел (см. фиг. 2) имеет линейные размеры 50

50 мм. Основание 1 выполняется из меди, решетчатая пластина 2 из палладия. а вставные стержни 4 - из рутения и вольфрама. Катодный узел позволяет значительно сократить время переналадки обо. рудования при необходимости смены состава нацыляемой пленки. С помощью раэра ботанных катодных узлов проводитси осаж дение методами ионно-плазменного распыления сплава Pd М, Рс R иu> Рсй Pd Ni

Pd- V-Ni.

Формула изо бретения

Катодный узел, содержащий водоохлаждаемое основание и мозаичную мишень, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкпии, мозаичная мишень выполнена в виде решетчатой пластины из материала одного из распыляемых компонентов; а водоохлаждаемое основание выполнено с пазами, служащими для размещения стержней иэ материала других расйыляемых компонентов, причем отверстия решетчатой пластины размещены над пазами водоохлаждаем ого основания.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Kumagoi НУ Q EEETraus Aor fs

Ну&7аий and Poclag 1972, 8, М 3, 7-10.

Составитель Л. Беспалова

Редактор H. Разумова Техреду. дл ерова Корректор М. Шарощи

Заказ 7453/27 Тираж 1130 Подписное

ЦНИИПИ Государственною комитета СССР по делам иеобретений и открытий

113035, Москва, Ж-З5, Рвушская нвб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Уагород, ул. Проектная, 4