Способ изготовления монолитного пьезоэлектрического фильтра

Способ изготовления монолитного пьезоэлектрического фильтра

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

.„лс. сл ви.товий

О Il -И -С "А -Й И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Соеетских

Социалистических

Республик (»>700914

И АВТОРСКОМУ СВИДИПДЫСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 17.12.76 (21) 2430025/40-23 присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. К..

Н 03 Н 7/00

Н 03 Н 9/00

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 30.11.79. Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 05.12.79 (53) УДК 621.372..54 (088.8) (72) Авторы изобретения

Ю. В. Качальников, Ю. Г. Тупиков н В. М. Кантор

Ленинградский электротехнический институт им. проф. Бонч-Бруевича и Ленинградское отделение

Центрального научно-исследовательского института связи (71) Заявители (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОЛИТНОГО

ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ФИЛЬТРА

Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться при изготовлении монолитных пьезоэлектрических фильтров.

Известен способ изготовления монолитного пьезоэлектрического фильтра путем формирования двух акустически связанных резонаторов, настроенных на одинаковые частоты (1).

Однако настройка частоты осуществляется путем нанесения дополнительной массы металла на электроды каждого частотного резонатора, а при изготовлении монолитных фильтров выше 30 мГц нанесение массы затруднено вследствие малой массы электродов и еще меньших размеров зазора между ни м и. 15

Кроме того, контроль истинных значений частот резонаторов также трудно осуществить из-за вносимой расстройки вследствие сильной связи между ними, причем величина расстройки случайна в результате шунтирования междуэлектродной емкости неизмеряемого резонатора емкостью монтажа. Последняя часто оказывается больше межэлект2 родной емкости из-за малых размеров частных резонаторов в в.ч. МКФ.

Цель изобретения — повышение процента выхода годных изделий и упрощение технологического процесса.

Это достигается тем, что по способу из. готовления монолитного пьезоэлектрического фильтра, основанному на формировании двух акустически связанных резонаторов, настроенных на одинаковые частоты, сначала формируют один общий резонатор, который настраивают на частоту ) 1 = fr(1+ <(2-Я)) (1- (2-90)) где f о — частота общего резонатора;

f 0 — частота частотного резонатора;

Ь вЂ” частотное понижение пластины;

В и о в нормированные частоты общего и частотного резонаторов, и затем разделяют его на две равные части.

На чертеже схематически изображен фильтр, изготовленный по предлагаемому способу.

Точная установка частоты общего резонатора осуществляется, например, методом термовакуумного напыления дополнитель700914

Формула изобретения

Составитель Г. Панина

Редактор Е. Караулова Техред О. Луговая Корректор Ю. Макаренко

Заказ 7394 40 Тираж 1060 Подписное

ЦН И И П И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал П ПП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ной массы металла на электрод с контролем частоты в процессе настройки, что позволяет автоматизировать процесс настройки.

С технологической точки зрения настройка одного резонатора, имеющего значительно большие размеры, чем частные резонаторы монолитного фильтра, гораздо проще и может быть осуществлена с большей точностью. Далее электроды одного настроенного резонатора разделяют таким образом, что получается два акустически связанных частных резонатора, образованных электродами 1, 2, З,причем разделение электрода 3 необязательно, так как он может быть использован как общий для обоих частных резонаторов.

Изготовленный таким способом фильтр удовлетворяет требованиям точности установки центральной частоты и форме передаточной характеристики, а полученные частные резонаторы не требуют дальнейшей настройки.

При использовании предлагаемого способа изготовления фильтра и крестообразной конфигурации первоначального единичного резонатора ширина токоотвода частных резонаторов равна ширине самих резонаторов, что снижает сопротивление токоотводов и соответственно повышает добротность резонаторов. Другим преимуществом является простота конфигурации электродов, что значительно упрощает технологию изготовления свободных масок (трафаретов) для напыления электродов, тем самым повышает технологичность процесса производства монолитных пьезоэлектрических

5 фильтров.

Способ изготовления монолитного пьезоэлектрического фильтра путем формирования двух акустически связанных резонаторов, настроенных на одинаковые частоты, отличающийся тем, что, с целью повышения процента выхода годных изделий и упрощения технологического процесса, на пьезоэлектрической пластине сначала формируют один общий резонатор, который настраивают на частоту (f 01=fо(1+ Л(2 — у)) (1 — Ь(2 — gо)), где f 01 — частота общего резонатора;

f 0 — частота частотного резонатора;

26 Л вЂ” частотное понижение пластины; и «р — нормированные частоты общего и каждого из будущих резонаторов соответственно, и затем разделяют его на две равные части.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 5756851, кл. 117 †2, 04.09.73, (прототип) .