Устройство для нанесения текучего материала на пластины

Устройство для нанесения текучего материала на пластины

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

Государственный «сметет ссср по делам нзооретеннй н открытнй (72) Авторы изобретения

ll,. И. Сагайдак, И. П. Зятьков, М. М. Зубарева и А. В. Леташков

Белорусский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. В. И. Ленина и Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем Белорусского государственного университета им. В. И. Ленина (71) Заявители (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТЕКУЧЕГО МАТЕРИАЛА

НА ПЛАСТИНЫ

Изобретение относится к устройствам для нанесения тонких пленок текучих материалов на пластины.

Известно устройство для нанесения светочувствительного слоя на пластины, содержащее держатели пластин, представляющие собой штыри, вертикально расположенные по периферии барабана (1).

Недостатками такого устройства являются неравномерность толщины пленки, а так1О же то, что фоторезист попадает на обратную сторону пластины и на штыри, что влечет за собой необходимость в проведении дополнительной операции отмывки обратной стороны пластины и фиксирующих штырей. 1S

Более близкое к изобретению устройство для нанесения текучего материала на пластины, содержащее корпус, сборник текучего материала со смонтированным внутри него столиком с отверстиями, дозирующее гв устройство (2). Однако такое устройство сложно по конструкции вследствие применения двух коаксиальных устройств, имеющих относительную скорость вращения. Кроме того, устройство может быть использовано для обработки пластин одного строго заданного размера.

Пель изобретения — упрощение конструкции устройства.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для нанесения текучего материала на пластины. содержащем корпус, сборник текучего материала со смонтированным внутри него столиком с отверстиями и дозирующее средство, столик выполнен по меньшей мере с двумя профильными утолщениями с крутой и пологой поверхностями на нижней его части, причем отверстия выполнены сквозными и расположены вдоль радиусов столика на пологой части утолщений, а профильное утолщение выполнено спиралеобразной формы, обращенной пологой поверхностью к оси вращения. Кроме того, дозирующее средство смонтировано соосно со столиком.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 — то же, вид снизу; на фиг. 3 — вид сбоку съемного столика с четырьмя профильными утолщениями.

Устройство содержит корпус 1. сборник

2 текучего материала, набор съемных ратную сторону пластины, обеспечит высокую равномерность толщины пленки за счет дозированной подачи текучего материала точно на центр вращающейся поверхности.

Кроме того, устройство позволяет обрабатывать пластины разных диаметров.

Формула изобретения

1.Устройство для нанесения текучего материала на пластины, содержащее корпус, сборник текучего материала со смонтированным внутри него столиком с отверстиями и дозирующее средство, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции устройства, столик выполнен по меньшей мере с двумя профильными утолщениями с крутой и пологой поверхностями на нижней его части, причем отверстия выполнены сквозными и расположены вдоль радиусов столика на пологой части утолщений.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что профильное утолщение выполнено спиралеобразной формы, обращенной пологой поверхностью к оси вращения.

3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что дозирующее средство смонтировано соосно со столиком.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Авторское свидетельство СССР

No 360110, кл. В 05 В 5/08, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

М 555917, кл. В 05 i: 11/02, 1975 (прототип) .

701724

3 столиков 3 со сквозными отверстиями 4 и профильными утолщениями 5 на нижней стороне, дозирующее средство 6 для нанесения текучего материала строго на центр пластины.

Устройство работает следующим образом.

Пластину устанавливают на столик нужного диаметра, включают электропривод.

Перепад давлений, возникающий между верхней плоской поверхностью столика и нижней профильной поверхностью (двухплоскостной 10 улитки), в соответствии с законом Вернулли прижимает пластину к столику и надежно удерживает ее на вращающейся поверхности. На центр вращения пластины с расстояния 0,5 — 1,0 мм подается доза текуче15 го материала, который под действием центробежных сил равномерно распределяется на поверхности пластины. Образование сложных неоднородностей пленки типа «стиральной доски» исключается, так как воздушный слой около вращающейся поверхности ze имеет соизмеримую скорость вращения. Избыток текучего материала, стекающий с пластины, отбрасывается потоком воздуха, создаваемым воздуходувной улиткой, в форме которой выполнена нижняя сторона сто23 лика, что исключает попадание текучего материала на обратную сторону пластины. По истечении времени формирования поверхности пленки (1Π— 30 с) вращение прекращают, пластина поступает на последующие операции. jo

Предлагаемое устройство проще по конструкции, его применение полностью исключит попадание текучего материала на оо701724

Редактор Л. Ушакова

Заказ 7490/11

Составитель С. Леонтьева

Техред О. Луговая Корректор Н. Задерновская

Тираж 822 Подписное

ЦН И И ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4