Способ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов

Способ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскнх

Социалистнческитт

Респубпнк

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.7() 2296 (бт) Доттолннтельное к авт, свил-ву (22) Заявлено 22.08 77 (21) 2523014/23-2(. (5т ) Щ. Кл. с присоединением заявки Ле

G 01 N 31/00

С 01 В 33/12

Государственный комитет

СССР во делом изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 05.12.79. Бюллетень Рте 45 (53) УДК 543.061 (088.8) Дата опубликования опнсанття 10.12.79 (72) Авторы изобретения

A. С. Минеев, N. П. Карымов, В. И. Кочуков и С. С. (7I ) Заявитель

I (54) СПССОБ ВЫЯВЛЕНИЯ СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

СЛОЕВ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к способам выявления структуры тонкопленочных слоев металлов и может быть использовано в электронике для выявления микроструктуры в новых резистивных сплавах, применяемых для тонкопленочных резисторов.

Известен способ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов, заключающийся в том, что образец обрабатывают раствором-травителем и затем исследуеio мую поверхность фотографируют. В качестве раствора-травителя применяют водный раствор, содержатций 5-15 вес. ч. хлорис,тоаммиачной меди, ттикриновую кислоту и этиловый спирт (l j.

Однако таким раствором-травителем нельзя выявить микроструктуру тонкопленочных силипидов переходных металлов.

Пелью изобретения является разработка способа, позволяюптет-о производить анализ исследуемой микроструктуры тонкопленочных сипицидов ттереходных металлов.

Uenb достигается способом, включаюшим обработку водным раствором, содержашим 5-15 вес. ч. хлористоаммиачной меди, и последуюшее фотографирование исследуемой поверхности, отличительные признаки которого состоят в том, что и водный раствор дополнительно вводят

5-10 вес.ч, азотнокислого серебра и повторно обрабатывают поверхность перекисью водорода, содержатпей 5-10 вес.ч. .азотно кислого серебра.

Пример. 5 r хлористоаммиачной меди растворяют в 100 мл дистиллированной воды и к раствору добавляют 5 г кристаллической азотнокислой соли серебра.

Затем полученным раствором обрабатывают поверхность исследуемой пленки силипила переходного металла и нанесенный на поверхность раствор выдерживают в течение 40 мин, Образовавтттийся прн этом рыхлый осадок азотнокислого серебра смывают водой. Далее на поверхность ттаносят второй раствор, приготовлеттный раст3 702 ворением 5 r азотнокислого серебра в

100 мл перекиси водорода.

Протравленную пленку высушивают фильтровальной бумагой. Структуру пленф ки изучают при помощи оптического микроскопа. Полученную пленку также фотографируют и готовят фотоснимок.

Предложенный способ дает воэможность производить анализ микроструктуры тонких пленок силицидов переходных металлов, что позволяет изучать структуру тон- копленочных резисторов, а в целом решать проблему создания материалов с заранее заданными свойствами.

Формула изобретения

Способ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов, включающий об296 Д работку водным раствором, содержащим

5-15 вес.ч. хлористоаммиачной меди, и последующее фотографирование исследуемой поверхности, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью анализа микроструктуры тонкопленочных силицидов переходных металлов, в водный раствор дополнительно вводят 5-10 вес.ч. азотнокислого серебра и повторно обрабатывают поверхность перекисью водорода, содержащей

5-10 вес.ч. аэотнокислого серебра.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Коваленко В, С. Металлографические реактивы, Справочник. М., ¹ 50, 1973, с. 37 (прототип).

Составитель Ю. Куценко

Редактор 3. Бородкина Техред С.Мигай Корректор H. Стец

Заказ 7580/41 Тираж 1073 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открыти

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., a. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4