Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников в запоминающей матрице

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников в запоминающей матрице

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик "17О2409 (6 3 ) Дополнительное к а вт. с вид- ву— (22) Заявлено 08.08.77 (21) 2506857/18-21 (5I )M. Кл.

G 1l С 5/02 с присоединением заявки РЙ—

Ваударотввииый комитвт

СССР по делам иэобретеиий и открытий (23) ПриоритетОпубликовано 05.1 2.79. Бюллетень J% 45

Дата опубликования описания 08,12.79 (53) УДК 621.396.6;.049. 75.002 (088.8) Я. М. Беккер, Б. A. Красюк, П. П. Мягконосов, M. Г. Петрушина, В. М. Каминский, В. А. Боргман и С. Ф. Левенталь (72) Авторы изобретения

Ленинградский завод художественногв-а екда (7I) Заявитель

«с, (54) СПОСОБ .ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА ДЛЯ ОРИГ НТАЦИИ

ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ В ЗАПОМИНАЮШЕЙ

МАТРИЦЕ

Изобретение относится к вычислительной технике, может быть использовано в технологическом процессе изготовления запоминающих матриц.

Известен способ изгбтовления трафарета для ориентации сердечников в запоминающей матрице путем химического: протравливания сквозных отверстий в металлической пластине через маску (1) .

Способ состоит в том, что на пластину из бериллиевой бронзы толщиной примерно 50 мкм с двух сторон наносят слой фоторезиста, экспонируют ее через фотошаблон, протравливают засвеченные участки до получения сквозных отверстий и удаляют слой оставшегося фоторезиста. Трафарет требуемой толщины изготавливают путем прецизионного совмещения нескольких пластин с их последующей фиксацией.

Недостатком этого способа является высокая трудоемкость, процесса, связан>ыя с травлением большого количества тонких слоев, их совмещением и фиксацией при наборе в трафарет.

Наиболее близок к предлагаемому способ изготовления трафарета цля ориентации ферритовых сердечников в запоми5 нающей, матрице, при котором пластину трафарета изготавливают из светочувствительного стекла и, не покрывая фото- резистом, обрабатывают через фотошабt0 лон ультрафиолетовыми лучами, после чего экспонированную пластину проявляют термообработкой, а затем травят на необходимую глубину (2) .

Однако при облучении светочувстви15 тельного стекла через фотошаблон из-оа его неплотного прилегания, связанного с неровностями поверхности пластины, световой поток:воздействует на пластину на разных участках по-разному. Вследствие этого после обработки светочувствительного стекла и трафарете образуются отверстия, размеры которых имеют разброс 7-10% по сравнению с размерами фотошаблона.

r . ° р

3 7024

Этот недостаток трафарета приводит к недостаточному заполнению отверстий ферритовыми сердечниками, что требует ручного заполнения ими каждого свобод ного отверстия трафарета.

В результате технологический процесс сборки матрицы существенно усложйяейся"и трудоемкбсть его возрастает.

Цель изобретения — повышение точностй воспроизведения мйкрогеометрии трафарета.

Поставленная цель достигается тем, что при изготовлении трафарета для ориентации ферритовых сердечников в. запоминающей матрице, предлагаемым способой ЪкйюТакй им с елективное экспони"роваФЙе йластины из светочувствительного стекла, проявление ее путем термообработки, травление экспонированных=""учйбЖов до получения сквозных отверстйй, перед селективным экспонирова- нием на поверхности пластины формиру- ют контактную маску из фоторезиста.

Пример изготовления трафарета предлагаемым способом.

На пластину из светочувствительного стекла, например фотоситалла, любой толщины наносят с одной стороны слой фоторезиста, затем накладывают шаблон требуемой конфигурации, например, с зО -пряМоугольными отверстиями, и экспонируют фоторезист через шаблон с пос:ледующим проявлением и задубливанием до образования открытых участков светочувствительного стекла.

Образовавшиеся в фоторезисте окна подвергают через фотошаблон воэдейст» вию ультрафиолетовых лучей высокой

У интенсивности.

При воздействии на фотоситалл све40

= ГЬв01 о потока во всем эасвечиваемом . объеме равномерно изменяются свойства.

Поскльку свет распространяется прямолинейно и дифракции в отверстиях шабло09 4 на не происходит, при облучении изменяются свойства только объемов, ограниченных окнами фотошаблона и толщиной пластины светочувствительного стекла.

Затем пластину подвергают термообработо ке в электропечи при 550-650 С и травлению в 5-15 /-ном растворе плавиковой кислоты до полного растворения проявленных участков. Облученные участки по сравнению с необлученными отличаются высокой растворимостью и при травлении удаляются до образования сквозных отверстий заданной формы..

Данный способ исключает влияние. неплотного прилегания фотошаблона к поверхности трафарета, так как слой фоторезиста плотно прилегает ко всем участкам поверхности пластины из светочувствительного стекла, в результате чего повышается точность заданных размеров отверстий и перемычек трафарета.

Формула изобретения Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников в запоминающей матрице, включающий селективное экспонирование пластины из

1=веточувствительного стекла, проявление ее путем термообработки, травление экспонированйых участков до получения сквозных отверстий, о т л и ч а юш. и и с я тем, что, с целью повышейия" точности восйроизведения микрогеометрии трафарета, перед селективным экспбнированием на поверхности пластины формируют контактную маску иэ фоторезиста.

Источники информации, принятые во"внимайие . при экспертизе

1. Патент США % 3808001, кл. 96-36, .1974.

2. Бережной А. И. Ситаллы и фотоситаллы, М., 1966, с. 288, 299 (прототип) .

Составитель О. Павлова

Редактор Б. Федотов Техред 3. Фанта Корректор Н. Стец

Заказ 7599/48 Тираж 681 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., q. 4/5

Филиал ППП Патент, . Ужгород, ул. Проектная, 4