Геттерный насос

Геттерный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСЛНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (iii 70556 l (6t ) Дополнктельное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 04.04.77 (21) 2473821/18-06 (5))M. 1(л.

Н 01 J 9/38

F 04 В 37/02 с присоединением заявки J%—

Ваударатееииыб наинтет

СОВР ив делаи изааретеинй и атхрытий (23) П риорптет—

Опубликовано 25.12;79. Бюллетень И 47

Дата опубликования описания 30.12. 79. (5Ç) УДК 621.3. .032.94. 621. .65 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. П. Бродянский, И. A. Бунда и Е. 10. Овсий

Украинский государственный проектно-технологический и экспериментальный институт "Укроргстанкинпром" (7!) Заявитель (54) ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС

Изобретение .относится к вакуумной технике, в частности к геттерным насосам.

Известны геттерные насосы, содержа-" щие корпус и размещенный в них испаритель.

На испаритель подается напряжение, обеспечивающее нагрев и распыление геттера. Геттер образует на охлаждаемых стенках корпуса пленку, сорбируюшую молекулы газа (1). !

О

При работе насоса в откачиваемый объем могут проникать молекулы испаряемого геттера, что в ряде случаев недопустимо.

Известны также геттерные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем испаритель и защитный экран (2). .. Этот насос является наиболее близким к предложенному по технической сущности.

Однако наличие в нем неподвижного защитного экрана существенно ограничивает быстроту откачки насоса и не обеспечивает надежной зашиты откачиваемого объема от паров геттера, что снижает предельное разрежение насоса.

Белью изобретения является повышение предельного разрежения и быстроты откачки насоса.:

Это достигается тем, что в предложенном насосе экран выполнен в виде взаимоперекрывающихся кольца, жестко закрепленного на стенке корпуса, и двух полудисков, устанбвленных с возможностью перемещения в направлении перпендикулярном к оси корпуса.

На чертеже схематически изображен предложенный насос.

Геттерный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем испаритель 2 и зашитный экран. Экран выполнен в виде взаимоперекрывающихся кольца 3, жестко закрепленного на стенке корпуса 1, и двух полудисков 4, установленных с возможностью перемещения в направлении перпендикулярном к оси корпуса l.

Насос работает„следующим образом.

Геттерный насос, содержащий корпус и размещенные внутри испаритель и за705561, 4

Включают испаритель 2 и осаждают шитныйэкран, отлич ающийс я пары геттера на стенках корпуса 1 и тем, что, с целью повышения предельноэкрана., Газ поступает в насос через за- го разрежения и быстроты откачки, экзор между кольцом 3 и полудиск ми 4, ран выполнен в виде взаимоперекрываюкоторые в начальный период "откачки 5 шихся кольца, жестко закрепленного на сдвинуты. По достижении требуемого раз- стенке корпуса, и двух полудисков, устарежения полудиски 4 раздвигают, пол- новленных с возможностью перемещения костью открывая входное сечение коль- в направлении перпендикулярном к оси па 3 и увеличивая тем самым быстроту корпуса., откачки насоса. 10 . Источники информации, прин. гые во внимание при экспертизе:

1. Пауэр Б. Д. Высоковакуумные отформула изобретения качные устройства. М., "Энергия, 1969, с. 402.

2. Авторское свидетельство

% 472398, кл. Н Ol J 9/38, 1973. ЦЯЩ Щ 3аказ 8047/58 ТиРаж 923 Подписное

Яй:Вй 4Ф фФ

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ун, Проектная, 4