Электродуговой испаритель геттера

Электродуговой испаритель геттера

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистимеских

Республик (61) Дополнительное к авт (22) 3 ая вле«о 30.06.78 (2 с присоединением заявки (23) Приоритет—

Опубликовано 30.12.7

Дата опубликования

Гооударстненный коинтет

СССР оо делам нзооретеннй н открытнй...(72) А вторы изобретения

Б. Г. Карасев, Г. Л. Саксаганский, А. Г. Сорокин и С. С, Турче«ко (73) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ГЕТТЕРА

Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к электродуговым испарителям плазменных сорбционных вакуумных насосов, предназначенных 11ля получения и поддержания высокого вакуума в электрофизических установках.

Известен электродуговой испаритель геттера, содержащий катод, установленный на охлаждаемом основании и отделенный от пускового электрода изолятором, и токоподвод, расположенный по оси испарителя (1).

Известный испаритель работает следующим образом.

Возбуждение дуги производится с помощью пускового электрода, отделейного от катода и соединенного с помощью токоввода с источником пускового напряжения; При подаче высоковольтного импульса на йуаковой электрод происходит электрический пробой по поверхности изолятора в зазоре между пусковым электродом и катодом. Продукты эрозии пускового электрода и изоляч ора образуют предварительную плазму, достаточную для возникновения основного дугового разряда между катодом и охлаЖдаемым анодом испарителя.

Однако, при достаточном запасе геттера, определяемом заданным сроком службы, действительный срок службы такого испарителя определяется долговечностью пускового электрода,"подвергающегося в процессе работы значительным термоциклическим напряжениям и эрозии. Кроме того, при испарении геттера происходит постепенное частичное запыление поверхности изолятора пускового электрода парами геттера, образую10 щими токопроводящую пленку, которая при достижении определенной толщины приводит к закорачиванию катода и пускового электрода и препятствует возбуждению основной дуги.

Все эти факторы ограничивают срок службы, снижают надежность и приводят к необходимости демонтажа испарителя для замены пускового электрода. При этом происходит нарушение вакуума в откачиваемой системе, что является недопустимым в процессе эксплуатации большинства электрофизических установок.

Целью изобретения является повышение срока службы и надежности электродугового испарителя.

706563

Y l 3 а и н а я це. 1 b достигается те м > что K ñ>тод выполнен в виде отдельных равноудаленных от т<>коподвода элементов, а пусковой электрол -- в виде втулок, размегцснных коаксиально последним, причем токоподвод установлен с возможностью поворота и снабжей пружинным контактом, поочередно взаимодействую|цим с втулками.

На фиг. 1 изображен описываемый электродуговой испаритсль; на фиг. 2 — то же, вид сверху.

Элсктродуговой испаритсль геттера со1О держит катод, установленный на охлаждаемом основании 1 и отделенный изолятором

2 от пускового электрода, и токоподвод 3, распопожсшгый по оси испарителя. Катод выполнен в виде отдельных равноудаленных ss от токоподвода 3 элементов 4, 5, 6, 7, а пусковой электрод -- в виде втулок 8, разме щеййых" коаксиально последним, причем токоподвод 3 установлен с возможностью поворота и снабжен пружинным контактом 9, поочередно взаимодеиству|ощим с втулками 8„ о

В процессе работы испарителя по окончании срока службы элемента 4 токоподвод 3 поворачивается и с помощью пружинного контакта 9 входит в электрический конгакт с пусковым электродом следующего элемента 5 и так далес вплоть до окончания срока службы последнего элемента в блоке.

В результате процесс испарения геттера поддерживается практически непрсрывш|м до полш>го расхода первоначального расхода геттера в испарителс. Количество катодных элементов в блоке может быть различным и ограничивается лишь задапным сроком службы испарителя и его габаритами.

В связи с этим обеспечивается бесперебойность работы, что особенно важно при работс термоядерных и лазерных установок, а также ускорителей различного назначения.

Бесперебойность работы в течение всего заданного срока службы позволяет полностью исключить объем работ, связанный с повторением циклов откачки системы с использованием дорогостоящих откачных средств вследствис нарушения высокого вакуума при частом демонтаже испарителей.

Формула азобретения

Элсктродуговой испаритель геттера, содержа ций катод, установленный на охлаждасмом основании и отделенный от пускового электрода изолятором, и токоподвод, расположенный по оси испарителя, огликаюи1ийея тем, что, с целью увеличения долговечности и повышения надежности, катод выполнен в виде отдельных равноудаленных от токоподвода элементов, а пусковой электрод — - в виде втулок, размещенных коаксиаль|о последним, причем токоподвод установлен с возможностью поворота и снабжен пружинным контактом, поочередно взаимодействующим с втулками.

Источники информации, принятыс во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Мо 528386 к 1 Г 04 В 37/02 1 975

706563

9иг. 2

Составитель Н. Юшин

Техред К. Шуфрич Корректор М. Выгула

Тираж 772 Подписное

ЦН И И ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор T. Морозова

Заказ 8189)28