Устройство для измерения толщины слоя материала

Устройство для измерения толщины слоя материала

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

117I2657

ОП И

ИЗОБ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКО (61) Дополнительн (22) Заявлено 22.0 с присоединен (23) Приоритет (43) Опубликовано (45) Дата опублик

51) М. Кл.

G 01В 11/02

Государственный комитет

53) УДК 531.717.521 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Н. М. Емельянов, В. С. Романов, E. С. Беркович и P. М. Матвеевский (71) Заявитель

Государственный научно-исследовательский институт машиноведения (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕН ИЯ ТОЛ ЩИ Н Ы СЛОЯ

МАТЕРИАЛА

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для измерения толщины слоя материала и может быть использовано для измерения толщины пленок в полужидком и жидком состояниях.

Известно устройство для измерения толщины жидких пленок, основанное на использовании интерференции света в контактных парах тел, одно из которых выполнено прозрачным (1).

Известно также устройство для измерения толщины слоя материала, содержащее контактный интерферометр с трубкой, внутри которой расположен шток с упругой подвеской (2).

Такое устройство для измерения толщины слоя материала является наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату, Недостаток устройства заключается в низкой точности при измерении жидких пленок.

Целью изобретения является повышение точности при измерении жидких пленок.

Это достигается тем, что устройство для измерения толщины слоя материала, содержащее контактный интерферометр с трубкой, внутри которой расположен шток с упругой подвеской, снабжено втулкой, установленной внутри трубки с возможностью осевого перемещения посредством упорного подшипника и регулировочной гайки, причем подвеска штока закреплена внутри втулки.

Устройство для измерения толщины слоя матерна 1а изображено на чертеже.

В трубке 1 интсрферометра коаксиально с измерительным штоком 2 установлена подвижная втулка 3, шикний конец которой установлен в упорном шарпкоподшипнике 4, 10 вмонтированном в регулпровочную гайку 5.

Во втулке 3 на пружинных упругих подвесках 6 и 7, расположенных в оправах 8 и 9, укреплен шток 2, на нижнем конце которого расположен сферический измерительный

15 наконечник 10, а на верхнем — зеркало 11.

При вращении гайки 5 втулка 3 со штоком

2, подвешанным в свободном состоянии на подвесках 6 и 7, перемещается, изменяя положение зеркала 11 относительно неподвиж20 ного зеркала, расположенного в стакане 12.

К трубке 1 жестко закреплена коробка 13, внутри которой установлены разделитель;:ая плоскопараллельная пластина 14 и компепсатор 15. К коробке 13 крепится микро25 "êîï 16 со шкалой, источник света 17, кондепсорпая линза 18 и светофильтр с ручкой ..оворота 19. На штоке 2 установлена пло.;.дка 20 для размещения груза.

Устройство работает следующим образом.

30 Трубка 1 интерферометра подводится к поверхности исследуемого образца так, что712657

20 бы наконечник 10 отстоял от поверхности образца на 0,1 — 0,2 мм. Затем образец поднимают с помощью, например, предметного столика до соприкосновения поверхности образца с наконечником и, наблюдая в микроскоп 16, устанавливают ахроматическую полосу — индекс интерференции на нуль шкалы микроскопа. Для установки начального положения полосы индекса на нуль используется регулировочная гайка 5. Затем поднимают шток 2 и наносят на поверхность образца жидкую или полужидкую исследуемую пленку. Опуская шток 2, наконечник 10 приводится в контакт с пленкой и производится отсчет отклонения штока 2 по шкале интсрферометра, характеризующего толщину пленки. Поместив на площадку 20 штока 2 груз, измеряют деформации пленки под действием нагрузки.

Формула изобретения

Устройство для измерения толщины слоя материала, содержащее контактный пнтерферометр с трубкой, внутри которой расположен шток с упругой подвеской, о тл и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности при измерении жидких пленок, оно снабжено втулкой, установленной внутри трубки с возможностью осевого перемещения посредством упорного подшипника и регулировочной гайки, причем подвеска штока закреплена внутри втулки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Сэнборн Д. М., Винер В. О. Влияние реологических свойств жидкости на ЭГД точечный контакт при скольжении в условиях неустановившейся нагрузки. Проблемы трения и смазки, № 2, 1971, с. 52.

2. Интерферометр контактный вертикального типа ИКПВ. Описание и руководство к пользованию. Московский инструментальный завод «Калибр», М., 1968 (прототип).

712657

Редактор Г. Улыбина

Заказ 2777/7 Изд. № 116 Тираж 810 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 5Ê-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель А. Елкин

Техред А. Камышникова

Корректоры: А. Галахова и Л. Орлова