Устройство для фокусировки

Устройство для фокусировки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е «»7I2794

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 17.08.78 (21) 2656781/18-10 с арисоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.01.80. Бюллетень ¹ 4

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 535.88 (088.8) (45) Дата опубликования описания 30.01.80 (72) Авторы от во бр етен и я (71) Заявитель

Р. Е. Пятецкий и В. И. Грудинский (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ

Изобретение относится к области проекционной фотолитографии и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известны системы фокусировки, в которых при формировании разностного сигнала дефокусировки используется штриховой растр, разделенный пополам, причем одна из половин сдвинута относительно другой вдоль оптической оси системы на некоторое расстояние Z (1). Сигнал дефокусировки при этом формируется двумя фотоприемниками или одним сдвоенным.

Однако в этом устройстве изображения от двух половинок штрихового растра строятся на полупроводниковой пластине в областях с разным топологическим рисунком, что значительно уменьшает точность фокусировки.

Известно устройство для фокусировки, содержащее осветитель, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив и сдвоенный фотоприемник (2).

Такое устройство имеет недостаточную точность и ограниченное быстродействие.

Цель изобретения — повышение точности быстродействия фокусировки.

Постановленная цель достигается тем, что в устройство перпендикулярно к оптической оси системы Введены две плоскопараллельные пластины из оптически одноосного кристалла, одна из которых расположена между растром и объективом, а другая — между коллективом и фотоприемником. Оптические оси первой и второй пластин расположены соответственно параллельно и под острым углом к пх плоскостям, а проекции оптических осей пластин на плоскость, перпендикулярную к оптической оси системы, параллельны или перпендикулярны между собой.

На чертеже схематично показано предлагаемое устройство.

Устройство для фокусировки содержит осветитель 1, свстоделительный элемент 2, например, полупрозрачное зеркало, установленное наклонно к оптической осп. штриховой растр 8, плоскопараллельнук1 пластину 4, вырезанную из оптически .одноосного кристалла, например СаСОЗ ил

КаХО.-, с оптической осью, лежащей в плоскости пластины, объектив 5, полупроводниковую пластину 6, коллектив 7, вторую плоскопараллельную пластину 8, вырезанную из одноосного кристалла, с оптической осью, лежащей наклонно к плоскости пластины, сдвоенный фотоприемник 9 II дифференциальный усилитель 10.

Устройство работает следуюгцим обраЗО зо .

712794

Свет от источника 1, проходя кристаллическую пластину 4, расщепляется на две волны обыкновенную о и необыкновенную е, не разделенные в пространстве. Вследствие этого объектив б создает два изображения штрихового растра 8 вблизи фокусируемой полупроводниковой .пластины б, разнесенных только по глубине, но в одной и той же точке на поверхности полупроводниковой пластины.

Растр устанавливают так, что в случае идеальной фокусировки его автоколлимационные изображения 8 и 8" находятся м по разные стороны на одинаковом расстоянии от него самого. Отраженный от полупроводниковой пластины световой поток направляется полупрозрачным зеркалом

2,и коллективом 7 на сдвоенный фотоприемник 9, проходя при этом вторую кристаллическую пластину 8. Приэтом две волны о и е разделяются в пространстве и попадают на две светочувствительные площадки фотоприемника 9.

Злектрические сигналы с обеих площадок сдвоенного фотоприемника 9, соответствующие обыкновенной и необыкновенной волнам, поступают на дифференциальный усилитель 10, где один сигнал вычитается из другого и формир уется разностный сигнал дефокусировки. Величина сигнала, равная нулю, соответствует положению фокусируемой полупроводниковой пластины при идеальной фокусировке. При использовании изобретения увеличивается быстродействие системы вследствие отсутствия механического модулирующего элемента, повышается точность фокусировки, та к как изображения растра строятся о- и е-волнам и одновременно и в одной и той же точке фокусируемой плас5 тины.

Формула изобретсния

Устройство для фокусировки, содержа10 щее осветитель, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив и сдвоенный фотоприемник, отл ич а ю щееся тем, что, с,целью повышения точности быстродействия фокусировки, в него перпендику15 лярно к оптической оси системы введены две плоскопараллельные пластины из оптически одноосного кристалла, одна из которых расположена между растром и объективом, а другая — между коллективом и фотоприемником, при этом оптические оси пер вой и второй пластин- расположены соответственно параллельно и под острым углом к их плоскостям, а проекции оптических осей пластин на плоскость, пер25 пендикулярную к оптической оси системы, параллельны или перпендикулярны между собой.

Источники информации, принятые во

30 внимание при экспертизе:

1. Духопел И. R. и др. Оптико-фотографический способ фокусирования на поверхность, «Оптико-механическая промышленность» № 9, 1972.

35 2. Авторское свидетельство СССР

¹ 406182, кл. G 03 В 3/00, 1971 (прототип).

712794

Составитель Л. Мухина

Техред А. Камышникова Корректор И. Симкина

Редактор Т. Рыбалова

Тип. Харьк. фял. пред. «Патент»

Заказ 14/41 Изд. Аи 146 Тираж 545 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауновская наб., д. 4/5