Паста для металлизации бериллиевой керамики
Иллюстрации
Показать всеРеферат
(72) Авторы изобретения
А. A. Евсеев. В. Е. Корепанов, Н. Н. Камадеева, О. В. Оноприенко, В. Н. Рождественский и С. Г. Брук (7I) Заявитель (54) ПАСТА ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ БЕРИЛЛИЕВОЙ
КЕРАМИКИ
Изобретение относится к составам паст для металлизации керамики из чистой окиси бериллия, не содержашейстекло-, фазы, и может быть использовано в производстве вакуумплотных металлокерамических узлов в жектронной, радиотех5 ническо й, електротехническо и промйшлен-. ности и других отраслях науки и техники.
Известен состав для металлизации керамики из окиси бериллия, содержащий, 10 вес.%: трехокись молибдена, двуокись марганца, окись меди и стеклофритту. Причем в стеклофритту входят. &О,А6 О,% О и СаОС13, Недостатком укаэанной пасты являет1 35 ся то, что она непригодна для соединения керамики с металлом припоями на основе меди и золота, так как температура. вжигания ее близка к температуре плавления припоя.
Наиболее близким техническим решением является паста, содержашая компоненты при следуюшем нх соотношении, вес.%:
Молибден 70-86
Ферромарганец 1-9
Минер ализа тор,8-2 3
Мкнерализатор содержит, вес.%:
Ы О 45-65, А О 15-25, МдО 15-30.
Вжигание металлнзационного покрытия осушествляют в электроводородных печах в среде формигаза при 11501300 С(2).
Этот состав пасты предусматривает соединение металлических деталей и металлизнрованной керамики припоями ПСр72 и Ср 99, 99 и не обеспечивает получения надежных металлокерамических соединений при пайке высокотемператур- ными припоями, например, золотомедным
ПЗлМ37, 5В. При пайке высокотемпературными припоями жидкий припой проникает вглубь металлиэационного слоя, вытесняет оттуда стеклофазу и нарушает образовавшиеся при вжиганнн связи между керамикой и молибденом, в результате чего ухудшается вакуумная плотность и
2 4 (70 г на 100 r смеси порошка) . Для металлизации держателей — состав, содержащий 73% ланолина, 22% циатима 2012 м, 5% вазелинового масла (13% от. общего веса пасты) .
Состав органической связки может быть различным в зависимости от способа нанесения металлизационного покрытия (пульверизация, намазка, окунание, сеткография или метод переноса пленки).
Пасту наносят на образующую поверхность диска методом ручной намазки кисточкой, а на держатели методом сеткографии. Толщина сырого металлизационного покрытия составляет 90-100 мкм.
Вжиганпе металлизационного покрытия осуществляют в электроводородных печах в атмосфере формигаза (водород 25 об.%, азот 75 об.% при 1200-1350 @
Никелирование осуществл пот как гальваническим, так и химически методами.
Толщина никелевого покрытия составляет
3-6 мкм.
Для йойфоля прочности сцепления покрытия с керамикой проводят пайку медных манжет к металлиэированным дискам припоями ПСр-72 и ПЗлМ37, 5В и пайку к металлизированным держателям штырьковых, и полосковых никелевых выводов серебром и медью.
Результаты испытаний приведены в таблице в сравнении с известной пастой..
3 71555 механическая прочность металлокерамического узла.
Цель изобретения — повышение механической прочности, термостойкости и обеспечение вакуумной плотности металлокерамическихсоединенийприпайке высокотемпературными припоями.
Для достижения указанной пели паста для металлиэации бериллиевой керамикй, включа1скцая молибцен, ферромарганец и 1О
Ыинералиэатор, содержит в качестве мине- рализатора стеклоцемент при следуквцем соотношении компонентов, вес.%:
Молибден 75-86 . Ферромарганец 1-9 15
Стеклоцемент, 5-20
Прйчем- стеклоцем ент имеет следующий состав, вес.%:
Окись кремния 5 1,5
Окись алюминия 20,0 gp
Окись кальпия 10,0
Окись марганца 5,5
Окись магния 4,0
Окись бора 1,5 25
Окись циркония 7,5
Для приготовления пасты готовят несколько смесей ингредиентов, содержа-. щих 70-90% молибдена, 5-9% ферромар-ганца и 5-26% стеклоцемента. ЗО
В качестве органической связки исполь зуют: для металлизации дисков — 3%-ный
- раствор, коллоксилина в изоамилацетате
Диски ф66 мм., » 3,0
1260
>3,0
1260
Ъ3,0
1260
4-6
1260
1350
1260
ПСр-72
5-9
5 86 9
5 90 5
9 86 5
15 80 5
20 75 . 5
25 70 5
12 83 5
12 83 5
12 83 5
12 83 5
12 83 5
12 83 5
12 83 5 3,0
>3,0
) 3,0
>3,0
>3;0
>3,0
>3,0
>3,0
> 3,0
715552
Продолжение таблицы емпература вжпгания, о пасты, С
Требования, ТУ
Припой
Тип изделий
Усилие
Состав пасты, вес.% отрыва, кгс
Стекло- Мо Ге МИ цемент
Ср 99,99 9-10кг вывод 1Р 4,0
Си 8-10кг вывод >4,0
12 83
Держатели
12 83
Диски
166 мм
Известный состав 1260 ПЗпМ37,5В (1 > 3,0
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Как видно из таблицы, прочность сцен-15 сить надежность, ресурсоспособность и ления покрытия предлагаемого состава с долговечность. керамикой выше, чем известного, при найке как высокотемпературными припоями (ДЗл М 37, 5В; Си ),òàê и низкотеипе- Ф 0 р м у л а и 3 о б р е т е н и я ратурными припоями (ПСр-72, Ср 99,99).20
Оптимальная добавка стеклоцемента . 1.Паста для металлизации бериллиевой находится в пределах 5-20 вес.% при керамики, включакщая молибден, ферродальнейшем увеличении его количества марганец и минерализатор, о т л и ч à toпрочность сцепления уменьшается. m a я с я тем, что, с целью повышения
Испытания вакуумной плотности метал- >5 механической прочности,. термостойкости, локерамического узла (спай металлизиро- и обеспечения вакуумной плотности меванного диска с медной манжетой) осу- таллокерамических соединений при пайке шествляют на течеискателе ПТИ-7А после высокотемцературными припоями, она проведения термоударов в режиме 20
1, содержит в качестве минерализатора
700 -20 С изделия помешают в нагретую 30 стеклоцемент при следующем соотношении о до 700 С печь, а затем охлаждают вен- компонентов, вес.%: тилятором до 20 С на воздухе. Молибден 75-86
Такие узлы выдерживают до 18-25 Ферромарганец 1-9 термоударов, сохраняя вакуумную плот- Стеклоцемент 5-20 ность (требование ТУ вЂ” сохранение ва- 35 2. Паста по п. 1, о т л и ч а юкуумной плотности после 5-ти термоуда- щ а я с я тем, что она содержит стеклоров). цемент следующего состава, вес.%:
Предлагаемый состав пасты позволит Окись кремния 51,5 заменить в отдельных типах СВЧ-нрибо- .Окись алюминия 20,0 ров металлизированные детали из мате- о Окись кальция 10,0 риала "Брокерит-9" деталями нз чистой Окись марганца
Ф. окиси бериллия, имеющей более высокие Окись магния физико-технические свойства, так как Окись бора 1Д5 применение ее в этих приборах сдержива- Окись цирконйя з
75 ется из-за отсутствия металлйзационной Источники информапии, пасты, обеспечивающей надежное и вакуум- принятые во внимание прн экспертизе плотйое металлизацнонное покрытие цри 1. Патент США № 3647519, пайке высокотемпературными припоями. кл. 1 17-71, опублик. 1972.
Применение керамики из чистой окиси 2. Авторское свидетельство СССР бериллия в СВЧ-приборах позволит повы- > № 568622, кл. С 04 В 41/1 4 1974.
Составитель С. Шахиджанова
Редактор Л. Долиннч Техред М. Кузьма Корректор. М. Внгула заказ 9613/5 Тираж 67 1 Подписное
UHMNHA Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„д. 4/5