Осевой турбомолекулярный насос

Осевой турбомолекулярный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

РПТБ ф, l 1ь, ф " " >" - "" 1!"" (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 290877 (21) 2551821/25-06 (51)М. Кд, с присоединением заявки ¹

{23) приоритет

F 04 Р 19/04

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий

Опубликовано 150280 Бюллетень Мо 6 (5З) Удк 621. 527.8 (088. 8) Дата опубликования описания 15.02.80 (72) Авторы изобретения

B.И.Войцов и В.В.Иванов

Московский ордена Трудового Красного Знамени . институт химического машиностроения (71) Заявитель (54) ОсеВОЙ туРВОЯОлекуляРный нАсОс

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен осевой турбомолекулярный насос, содержащий корпус со статорными дисками, по оси которого а подшипниках установлен ротор с насаженными на него роторными дисками с радиальными пазами, выполненными наклонно к торцовой поверкности дисКоВ 111, Недостатком такого насоса является его малая быстроходность, ограниченная прочностью материала диска.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому .15 результату является осевой турбомолекулярный насос, содержащий корпус. с установленными в нем роторными дисками с лопатками (2) . Недостаток этого насоса заключается в.ограниченности быстроты откачки, зависящей от часто- . ты вращения ротора, которая в свою

t очередь зависит от прочностных свойств роторных дисков. Кроме того,укаэанный насос имеет недостаточно высокую 25 производительность, связанную с относительно малой проводимостью ротора в осевом направлении и сравнительно небольшим числом молекул, соударявщихся с ротором. ЗО

1.2

Целью изобретения является повышение быстроходности насоса. Это достигается тем, что в предлагаемом насосе профиль лопаток образован рядами проволоки.

На чертеже показан описываемый насос, продольный разрез.

Йасос содержит корпус 1 с установленными в нем роторными дисками 2 с лопатками 3, образованными рядами . проволоки. Выполнение профйля лопаток 3 из рядов проволоки увеличивает допустимую частоту вращения благодаря тому, что проволока может иметь прочность на разрыв в 2 5-3 раза выше, чем лопатка из того же материала, полученная из монолита механической обработкой. Кроме того, благодаря тому, что лопатки выполнены несплошныа, увеличиваются проводимость ротора в осевом направлении и.количество молекул, участвующих в соударении с ротором..одновременно уменьшаются инерционные нагрузки, так как уменьшается масса лопатки.

Формула изобретения, uceaoA турбомолекулярный Насос, содержащий корпус с установленными в нам роторными дисками с лопатками, 71 5820

1. Заявка Японии Р 50-17687, кл. 65 (5) Г 14, опублик. 1975; о т л и ч-а ю шийся тем,что,с целью повышения быстроходности, профиль лопаток образован рядами проволоки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2. Патент ФРГ Р 1428264 кл. 27 с, 1 5/04, опублик. 1972.

Составитель o,Tèøèÿà

РедаКтор A.Ïåéñî÷åíêî Техред Н.Ковалева Корректор В.Синицкая

Заказ 9488/31, Тираж 725 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР (по делам изобретений и открытий

113035, Москва,. Ж-35, Раушакая.наб., д. 4/5

Филиал ПП Патент, г.Ужгород, ул.IIpc ктная,4