Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советски н

Социвлистических

Республик,/ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) За я влено 13.01.76 (21) 2314382/22 — 02 с присоединением заявки РЙ

Ппудврвтввнный кввнтвт

СССР во овнам нзвбрвтвннй в втнрытнй (23) П риоритет

Опубликовано 25.02.80. Бюллетень М 7

Дата опубликования описания 25,02.80

P. Н. Галль, В. С. Давыдов, А. Я. Дегтярев, Б. Г. Ермаков, П. И. Мишкин, В. Ж. Нагли и С. В. Тиркельтауб (72) Авторы изобретения

Ордена Трудового Красного Знамени специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения АН СССР и Государственный институт прикладной химии (7l) Заявители (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение может быть использовано для нанесения покрытий на металлы, в частности для нанесения покрытий методом газофазного осаждения на непрерывно движущуюся проволоку или ленту, а именно для нанесения покрытий из тугоплавких металлов на микропроволоку, Известно устройство для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащее реактор с затворами, механизм протяжки и систему подачи и откачки рабочих компонентов (1).

В этом устройстве герметизация ввода и вывода обрабатываемой проволоки в реактор обеспечивается с помощью жидкостных (ртутных) затворов. Перемещение проволоки в реакторе осуществляется эа счет усилия, приложенного к ней со стороны протяжного устройства. р

Известно устройство для нанесения покрьггий из газовой фазы, содержащее реактор с затворами, механизм протяжки и систему подачи и нейтрализации рабочих компонентов (2).

Такое устройство является наиболее близким к изобретению iio технической сушности и достигаемому результату.

Недостатками известных устройств являются необходимость приложения к обрабатываемой проволоке растягивающих усилий, преодолевающих силы трения механизма протяжки и воэможность взаимодействия (например амальгамирование, растворение) материала проволоки с затворной жидкостью. Это не позволяет испольэовать проволоку из материалов, имеющих малую прочность при температурах осаждения или взаимодействующих с затворной жидкостью.

Белью изобретения является расширение номенклатуры обрабатываемых изделий.

Это достигается тем, что устройство снабжено гибкой дублирующей связью, выполненной в виде роликов и шкивов, расположенных вне реактора и кинематически связанных между собой и механизмом протяжки.

На фиг. 1 изображен реактор с газовыми затворами, общий вид; на фиг. 2 дана кинематическая схема механизма протяжки; на фиг. 3 — газовый затвор.

717150

Устройство содержит реактор 1, к верхнему и нижнему концам которого присоединены узлы 2 ввода и узел 3 вывода обрабатываемой микропроволоки. Реактор 1 имеет штуцер 4 для входа и штуцер 5 для выхода реакционной смеси и термостатирующую рубашку 6 со штуцерами 7 и 8 подачи и отвода теплоносителя.

Механизм протяжки состоит из подающей катушки 9, обрабатываемой микропроволоки

10, верхнего контактного ролика 11 с-коническим шкивом 12, нижнего контактйого ролика 13, шкива 14, приводного шкива 15, промежуточного ролика 16, натяжного шкива

17, механизма 18 укладки, приемной катуш- 15 ки 19, дифференциальных регуляторов 20 и 21 соответственно скорости приводов и скорости вращения приемной катушки, регулируемой фрикционной муфты 22 и бесконечного гибкого шнура 23, 20

Для ввода и вывода обрабатываемой микро" проволоки применены одинаковые газовые затворы, состоящие из наружной несущей трубки 24, керамического капилляра 25, уплотняющих колец 26 и 27. Несущая трубка 24 и керамический капилляр 25 имеют отверстия "а" и "б" для подачи инертного газа.

Устройство работает следующйм" образом, Электродвигатель через дифференциальный регулятор скорости привода 20 вращает при водноц шкив 15, с которого с помощью гибкого шнура 23 вращение передается через шкивы 12 и 14, при этом гибкий шнур 23 проходит вне газовых затворов и реактора 1.

Исходную проволоку 10 пропускают от по- 35 дающей катушки 9 через верхний контактный ролик 11, узел 2 ввода, реактор 1, узел 3 вывода, нижний контактный ролик 13, промежу-. точный ролик 16, механизм укладки 18 на приемную катушку 19. Натяжение проволоки 4о между подающей катушкой 9 и верхним контактным роликом 11 обеспечивается тормозным моментом подающей катушки 9, во избежание проскальэьаания проволоки на "контактных роликах ll и 13 делают полный ви- 45 ток проволоки на каждом ролике.

Уменьшение усилий, растягивающих проволоку между контактными роликами 11 и 13, достигается согласованием скоростей контактных роликов 11 и 13 за счет движущегося $0 параллельно проволоке по шкивам 12 и 14 гибкого шнура 23, воспринимающего нагрузки по преодолению трения механизма протяжки.

Точное согласование скоростей ролйков 11 и 13 осуществляется йеремещением ведущего S5 гибкого шнура 23 вдоль конического шкива

12 на валу ролика 11.

Натяжение проволоки на участке между роликом 13 и приемной катушкой 19, необходимое для качественной укладки проволоки, получают за счет трения в регулируемой фрикпионной муфте 22, при этом требуемое для проскальзывания фрикционной передачи опережение скорости вращения вала приемной катушки 19 относительно самой катушки устанавливают с помощью дифференциального регулятора скорости 21, зависимого от регуля. тора скорости 20.

В реактор 1 через штуцер 4 подают реакционную смесь, а в термостатирующую рубашку

6 через ппуцер 8 — теплоноситель, В газовые затворы через отверстия "а" и "б" подают инертный газ, давление которого на концах капилляров со czopoны реактора.1 выбирают равным или незначительно большим, чем давление смеси реакционного газа в реакторе 1.

Это препятствует выходу реакционной смеси из реактора 1, так же как и проникновению атмосферного воздуха в реактор, но одновременно позволяет протягивать через затворы и реактор проволоку беэ механического или химического воздействия на нее в узлах ввода и вывода.

Предлагаемое устройство позволяет устранить. механические нагрузки с участка микропровоЛоки в зоне нанесения покрытия, где проволока разогрета до состояния, близкого к пределу прочности материала, снимаются механические нагрузки на преодоление трения механизма протяжки и устраняется механическое и химическое взаимодействие микропроволоки с элементами узлов ввода и вывода проволоки в реакционную зону.

Формула изобретения

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащее реактор с затворами, механизм протяжки и систему подачи и нейтрализации рабочих компонентов, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью расширения номенклатуры обрабатываемых изделий, оно снабжено гибкой дублирующей связью, выполненной в виде роликов и шкивов, расположенных вне реактбра и кинематически связанных между собой и механизмом протяжки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Патент CILIA N 3365330, кл. 117 — 201, 1964.

2, Патент Франции У 2121969,кл. F 16 j 15/00, 1972.

717150

Составитель В. Трегубов

Техред О.Легеза

Корректор М. Демчик

Редактор О. Смирнова

Тираж 1074 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д, 4/5

Заказ 9765/34

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4