Дозатор
Иллюстрации
Реферат
рц72ОЗО9
4r
J с. ; (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 280378 (21) 2595996/18-10 с присоединением заявки ¹ а 01 Г 13 00
Государственный комитет
cccv но делам изобретений и открыл и и (23) Приоритет
Опубликовано 05.0380. Бюллетень М 9
Дата опубликования описания 0 50380 (5Ç) ДК 66,028 (088. 8) (72) Авторы изобретения
М.Д.Лазарев и .",И,Ермаков (71) Заявитель
Всесоюзный заочный машиностроительный институт (54) ДОВАТОР
Изобретение относится к Устройствам для дозирования, преимущественно сыпучих материалов и может быть использовано в составе напылительногQ вакуумного оборудования в техпроцессах получения тонких пленок методом, взрывного испарения, Известны доэаторы, содержащие бункер, установленный на приводе качания, связанном с приводом возвратнопоступательного перемещения (1), Наиболее близким по технической сущности к предложенному является дозатор, содержащий бункер, соединенный через передающий механизм с приводом возвратно-поступательного перемещения (2), Однако отмечается сложность конструкции, заключающаяся в многозвенности передающих механизмов, и низкая20 надежность в работе в условиях, отличающихся от обычных, например в вакууме агрессивных средах.
Цель изобретения — повышение надежности работы.
Поставленная цель достигается тем, что передающий механизм выполнен в виде упругой Г-образной пластины и соединенной с ней упругой подвески в виде зигзагообразного элемента, 30 ширина которого меньше ширины плас-. тины.
На фиг, 1 представлен дозатор в двух рабочих положениях, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сбоку; на фиг. 3 — то же, вид сверху.
Дозатор содержит бункер 1, соединенный через передающий механизм 2 с тслкателем 3, Передающий механизм
2 выполнен в виде Г-образной пластины, рабочая часть 4 которой установлена между опорой 5 и толкателем З,а поворотная часть 6 соединена с упругой подвеской 7. Последняя выполнена в виде зигзагообразного элемента заодно целое с поворотной частью
6, ширина Ь которого меньше ширины
В пластины.
Дозирующий питатель работает следующим образом.
При движении толкателя 3 в направлении стрелки A рабочая часть 4 сжимается на величину h (фиг. 2) и приобретает дугообразную форму, которая выпрямляет пластину в положение, показанное на фиг. 1 пунктиром.
Бункер 1 эапрокидывается выходным отверстием вниз, высыпая дозу 8 вещества. При этом крайнее положение бункера 1 фиксируется упором 9, а
720309
Фор,ла изобретения
1 сперти.но ССС1
1978. Тех1 ! i i
):ПЛШ(, h — =- ) — - — (Фаз 7
Фйг 2 подвеска 7 компенсирует из быток упру-. гой силы распрямленной пластины.
При отводе толкателя 3 назад устраняется прогиб рабочей части 4, и пластина под действием упругих сил снова принимает Г-образную форму.
Буйкер 1 возвращается н исходное положение до упора 9.
Для герметизации привода толкателя 3 от вакуумной камеры, в которой размещен дозирующий питатель, служит сильфон 10, Предложенная констуркция доэатора. имеет короткую кинематическую цепь, отсутствуют кинематические пары (шарниры), отмечается малая инерционность.
Это позволяет эффективно испольэона:ть питатель не только в вакууме, где резко возрастают силы трения, но и н авр=.ссинных средах, а. также н запылен-:îé абразивными частицами атмосфере, В последнем случае отсутствует износ механизма в виду отсут— стния в нем пар трения,.
Дозатор имеет высокие динамичес-" кие качества, т.е. работает беэ ударов вследсвтие упругих сил н привод- 7!5 ной части и в подвеске, Кроме того,. он является экономичным по энергозатратам, ибо первон-ь вуально приложенного усилия на толкателе достаточно для возобновления следующегo цикла при небольшом количестве дополнит ель= ной энергии при условии сохранения нажима на рабочую часть.
Дозатор, содержавший бункер, coeдиненный через передающий механизм с приводом нознратнс-поступате. .ьно о перемещения, отличающийся тем, что, с целью псвышения надежности работы, передающий механизм выполнен н ниде упругой Г-образной пластины и соединенной с ней упругой подвески н ниде зигзагообразного элемента„ ширина которого меньше ширины пластины, Источники информации принятые но нниманиp. при эк
Авторское снидетельс"
- 92743. кл. G 01 Ь 11/00
2 майселл Л. и Глзнг Р, нология тонких пленок „ 19 с.130„- рис,. 42(прототип), ЦНИИПИ Заказ 10208, 30
Тираж 80 1;1одписнсе
Филиал ППП Патент, Ужгopog(п ПpoE I : i н« . я,