Электронный микроскоп

Электронный микроскоп

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскик

Социалистическик

Республик

М. Кл.

Н 01 У 37/26

Веударстаанлы3 камнтет

eccr ао делам нзабретеннй н открытий

УДК 621.385..833 { 088.8) (72) Авторы изобретения

Г. H. Бобров и Г. И. Кузин

Специальное конструкторское бюро биологического приборостроения АН СССР (7I) Заявитель

{54) П К ГРОНН и ХНКРОСКОп

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано для исследования объектов с помощью электронного пучка при больших углах наклона.

Известен просвечивающий электронный микроскоп высокого разрешения со столиком с большим углом наклона N.

В этом устройстве наклон объекта осуществляется с помощью корпуса стони о ка и скользящего по нему в боковом направлении соосного наклоняющего конуса, подпружиненного тремя натяжными пружинами и контактирующего с конусом держателя образца. Горизонтальное перемещение наклоняющего конуса обеспечивается воздействующими на него винтами, к которым он поджимается горизонтальной пружиной, прикрепленными к механическим тягам, которые приводяч ся в действие вручную при помощи механизма управления. В описанном устройстве угол наклона объекта составляет о

+30 в любом направлении.

Недостатками известного устройст ва являются высокий дрейф изображения и недостаточно большие углы наклона объекта.

Известен электронный микроскоп, содержащий столик со сменным патроном, в KQTopoh . размещен наклоняемый, например, относительно горизоптальпой оси держатель объекта,, и дистаппионный электрический шаговый привод наклона держателя 21.

Шаговые двигатели в данном устройстве установлены снаружи на колонне микроскопа и передают движение держателю объекта через вакуумные уплотнения посредством штанг.

Недостатком известного устройства является значительный дрейф изображения, обусловленный наличием механических связей значительной протяженности между держателем объ .кт» и рабочими органами исполнительных двигателей и прижимных пружиц.

721А67

Конструктивная связь ротор» двигателя с держателем объекта обесиеч и влет сии жение количества E3HE .шн их связей и попускает опиу степень свободы врашения, что позволяет резко уменьшить дрейф изображения, Описаш ое устройство обеспечивает высокое разо решение 5А при углях наклона объекта по80.

1. Электронный микроскоп, содержаший

1 с толик со сменным патроном, в котором размешен наклоияемый держатель объекта, и дистанционный электрический шаговый привоп наклона держателя, о т л и ч s ю ш и и с я тем, что, с

20 целью уменьшения дрейфа, привод выполнен в виде шагового двигателя, установленного на столике, с пассивным ротором, закрепленным на держателе объекта соосно с ним и связанным со стятором посредством коромысла, установленного в сменном патроне с возможностью продольного перемешеиия.

2. Микроскоп, по и. 1, о т л и ч а— ю ш и и с я тем, что на роторе шагового двигателя выполнен зубчатый венец, а на взаимодействующем с ним конце коромысла выполнен зуб, профиль которого соответствует профилю впадин зубчатого венца.

3. Микроскоп по п. 1, о т л и— ч а ю шийся тем, что коромысло закреплено в сменном патроне на упругом шарнире.

4. Микроскоп по п. 3, о т л и ч e— ю шийся тем, что поверхность коромысла, соприкасающаяся со статором, покрыта слоем индия и коромыслу задано исхошюе смешение вдоль оси, превышаюшее максимально возмож4 ное отклон экие в этом направлении во время работы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Пель изобретения состоит в умен шении дрейфя изображения.

Пель постигается тем, что и предлагаемом устройстве электрический шаговый привод наклона пержателя выполнен в випе шагового двигателя, установленного иа столике, с пассивным ротором, закрепленным на держателе объекта соосно с ним и связанным со стятОром посредством коромысла, установленного в сменном патроне с возможностью продольного перемешения. Коромысло закрепдено в сменном патроне иа упругом шарнире. Поверхность коромысла, соприкасаю цаяся со статором, покрыта слоем индия и коромыслу запано исходное сцепление вдоль оси, превышаю цее максимально возможное отклонение в этом направлении во время работы.

Па фиг. 1 показана конструкш я электрического. шагового привода; на фиг. 2 — узел крепления держателя объекта, на фиг. 3 — траектории рабочего пвижения коромысла.

На чертежах обозначено: стФлик 1, сменный патрон 2, иаклоияемый держатель объекта 3, пассивный ротор 4, электрический шаговый пвигатель 5, коромысло 6, стенка колонны микроскопа 7, вакуумно-плотный электрический ввод 8 питания пвнгателя, подпружиненная насадка 9, пружинная накладка с призматическими пазами 1.0, цапфы 11, сетка-носитель объекте 12.

Описанное устройство работает слепуюшим образом.

Расположенный на предметном столике 1 электрический шаговый двигатель

5 содержит закрепленный на пьезоэлементах статор, движение которого управляется электрическими сигналами с прибора управления. Колеблюшийся статор привопит в пвижение вдоль оси электронного микроскопа коромысло 6, концы которого движутся по замкнутым траекториям (фиг.З). При таком дви. жении зуб коромысла входит в зацепление с зубчатым венцом ротора 4, поворачивает ротор на угол, соответствуюЯ) ший одному рабочему ходу коромысла, выходит из зацепления и возвра цается в исхошюе состояние. М ногократным повторением описанного движения обеспечивается поворот ротора и corn

55 ветстве твенно наклон объекта на заданный угол б

Формула изобретения

1. М. Р ос сц.Д М/4, "А Н дИ-AngPe

ФИ!дд 5 рде far the 050 кч 6tachi Electron И1сговсоре", Реч Sci ЭпМгvm

v.44,é4 (4973) БМ вЂ” 542., 2. Патент ФРГ М 1614528 кл. 21 37/10, опублик. 27.05.71 (прототип) .

721867

1 уе Ж иг.З

Составитель В. Вдовин

Редактор И. Шубина Техред C. Мигай Корректор Г, Назарова

Заказ 140/42 Тираж 844 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул,Проектная, 4