Электронный микроскоп-анализатор

Электронный микроскоп-анализатор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советсних

Социалистичесних

Республик

СПИ

ИЗОБРЕТЕНИЯ н1)721868

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.12.77 (21) 2563. 390/18-25 (51)М. Кл.

Н 01 Т 37/26 с присоединением заявки М— (23) П риоритет

Ваумрствевкьй комитат

СССР ае делам взабретаиик н вткрыткв

Опубликовано 15 03 80. бюллетень %10

Дата опубликования описания 18..03,80 (53) УДК621.385. .833.28 (088.8) (72) Авторы изобретения

С. Ф. Зелев, Г. l1. Кисель, B. П. Баталин, Б. К. Волнухин и B. И. Удальцов (73) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП-МИКРОАНАЛИЗАТОР

Изобретение относится к области электронной микроскопии и может быть использовано в рентгеновских микроанализаторах.

Известны электронные микроскопы 11), в которых использованы снециальные устройства для удержания заданной точки объекта на оптической оси. Эти устройства имеют сложную конструкцию и технологию изготовления.

Наиболее близким из известных по технической сущности является электронный микроскоп-микроанализатор 12, содержащий электронно-лучевую конденсорную систему, объективную линзу, столик объектов с держателем образца и

15 рентгеновский спектрометр.

Недостатком этого прибора является ro, что при наклонном положении исследуемого объекта перемещение его по

20 горизонталы ым координатам вызывает изменение по высоте исследуемой точки объекта,лежащей на оптической осн объективной линзы..

Так как объект помещен близко к средней плоскости объективной линзы, она становится короткофокусной, н небоныцие изменения объекта по высоте приводят к значительному изменению оптической силы объективной линзы. н, следсгательно, диаметра зонда на объекте.

С изменением диаметра зонда изменяется также плотность тока, что изменяет чувствительность прибора и делает фактически неравнозначными условия проведения рентгеновского микроанализа для различных участков объекта.

Кроме того, при изменении положения исследуемого объекта по высоте в канале полюсного наконечника короткофокусной объективной линзы существенно изменяется ток фокусировки объективной линзы, что создает начнтельные неудобства npv. работе.

Белью изобретения является повышение точности рентгеновского анализа за

7218 счет обеспечения неизменных условий для любой точки исследуемого объекта, наклоненного в сторону рентгеновского спектрометра.

Цель достигается тем, что в предлагаемом устройстве столик г бъектов снабжен диском, жестко соединенным через мостик с держателем, плоскость размещения образца которого выполнена одинаково наклоненной по углу и 10 направлению с сопряженными призмами, закрепленными на корпусе объективной линзы и на диске, который, в свою очередь, с помощью упоров кинематически связан с подвижной перпендикулярно оси линзы кареткой и поджат к наклонным плоскостям призм пружинами, установленными в направляющих каретки.

На чертеже приведена конструктив- 20 ная схема предлагаемого прибора.

Каретка столика 1 объектов с упорами 2 кинематически соединена с приводами, обеспечивающими перемещение каретки 1 в горизонтальной плоскости. а

Диск 3 с помощью шпилек 4 жестко соединен с мостиком 5, в котором установлен держатель 6 объектов с исследуемым объектом 7, который расположен так, что плоскость объекта 7 и наклонные плоскости призм 8 имеют одинаковый угол наклона и направление наклона, что обеспечивает движение исследуемого объекта 7 в одной плоскости, при этом исследуемая точка объекта 7, лежащая на оптической оси, не изменяет своего положения по высоте.

Пружины 9 с помощью направляющих 10 кинематически соединены с кареткой 1 и обеспечивают постоянное при- @ жатие наклонных поверхностей призм 8, одни из которых размещены на диске - .>„ а другие — на корпусе объективной линзы 11. В объективной линзе 11 раоположен полюсный наконечник 12, щель которого с помощью вакуумного провода 13 соединена с рентгеновским спект ром 14, предназначенным для анализа рентгеновского излучения 1 5. Конденсорная система 16 размещена на объективной линзе 11, оптические оси которых совмещены.

Предлагаемый электронный микроскопмикроанализатор работает следующим образом.

Первичный пучок электронов, формируемый электронно-лучевой конденсорной системой 16, направляется на иссле6& 4 дуемый объект 7, находящийся в держателе 6 и наклоненный в сторону ренч геновского спектрометра 14. Возникающее при этом рентгеновское излучение

15 направляется по вакуумному проводу 13 в рентгеновский спектрометр 14, Так как объект 7 находится близко к средней плоскости объективной линзы 11, магнитное поле которой формируется с помощью полюсного наконечника 12, верхняя часть поля объективной линзы 11 (предполье) действует как дополнительная конденсорная линза. Это позволяет получить на объекте 7 зонд диаметром 0,2-0,8 мкм с достаточно боль шой плотностью тока, что особенно необходимо для рентгеноспектральных исследований.

В такой короткофокусной линзе положение объекта 7 в канале полюсного наконечника 12 объективной линзы 11 по высоте становится очень критичным.

С помощью столика объектов перемешают объект 7 по горизонтальным координатам. Каретка 1 столика объектов с помощью упоров 2 перемешает диск 3, жестко связанный с мостиком 5, в котором находится держатель 6 с объектом 7„ наклоненным в сторону рентгеновского спектрометра 14. Под действием упоров 2 диск 3 перемещается по наклонным призмам 8, поднимая или опуская при этом мостик 5 с держателем 6 и объектом 7.

Пружины 9 при перемещении постоянно прижимают диск 3 с мостиком 5 к наклонным призмам 8.

Призмы 8 выполнены так, что угол наклона и направление наклона одинаковы с углом наклона и направлением наклона объекта 7 в направлении рентгеновского спектрометра 14, что обеспечивает неизменное положение по высоте любой точки объекта 7, находящейся в данный момент на оптической оси объективной линзы 11, при перемещении объекта по горизонтальным координатам.

Таким образом, предложенное устройство дает возможность исследуемую точку объекта при перемещении объекта удерживать неизменно по высоте по отношению к оптической оси, что обеопечивает высокую и неизменную чувствительность рентгеновского микроанализа для всех точек исследуемого объекта.

9 а

Составитель В. Гаврюшин

Редактор И, Шубина Техрец С. Мигай Корректор Г. Назарова

Заказ 1 40/42 Тираж 844 По цпис ное

ЫНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, >К-35, Раушская наб., д, 4/5

Филиал ППП "Г1атент", г.Ужгород, ул. Проектная, 4

5 7218

Формула изобретения

Электронный м икроскоп-микроанализатор, содержащий электронно-лучевую конденсорную систему, объективную линзу, столик объектов с цержате. лем образца и рентгеновский спектрометр, о - л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности рентгеновского анализа за счет обеспечения неизменных условий цля любой точки исслецуемого объекта, наклоненного в сторону рентгеновского спектрометра, столик объектов снабжен диском, жестко соединенным через мостик с держателем, плоскость размещения образца которого выполнена одинаково наклонен68 6 ной по углу и направлению с сопряженными призмами, закрепленными на корпусе объективной линзы и на .диске, который, в свою очередь, с помощью упоров кинематически связан с подвижной перпенцикулярно оси линзы кареткой и поджат к наклонным плоскостям призм пружинами, установленными в направляющих каретки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Патент Великобритании

¹ 1304944, кл. Н 01 Т 37/20, опубл. 1973, 2, Патент ФРГ % 1 807 289, кл. Н 01 3 37/26, опубл. 1971 (прототип).