Устройство для литья пленки

Устройство для литья пленки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (iI 722594

) * с г (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 20.03. 78 (2) ) 2591728/23-05 с присоединением заявки ¹â€” (23) Приоритет

Опубликовано 25.03.80. Бюллетень № 11 (51)М. Кл.

В 05 С 5/02

1Ъеударетненнмй комитет

СССР по делам нзюбретеннй н открытнй (53) УДК 678.026.. 3 (088.8) Дата опубликования описания 28.03.80

К. И. Беспалов, А. P. Завербный, Ю. В. Кодра и Б. A. Пальчевский (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

Львовский ордена Ленина политехнический институт (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ

Изобретение относится к конструкции устройств для изготовления применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т.- и. пленочных покрытий и может пспользо5 ваться в радиоэлектронной промышленности.

Известно устройство для литья пленки, содержащее питьевую воронку, установленную над технологической подложкой (1).

Однако это устройство не позволяет. получать стабильную толщину пленки вследствие того, что давление вытеснения образовано только гидростатическим давлением шликера в воронке, которое значительно изменяется по мере его расходования я.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для литья пленки, содержащее питьевую воронку, сообщавшуюся с резервуаром для жидкости (2).

Однако в воронке имеет место изменение давления вытеснения, что приво2

; дит к соответствующим изменениям толщины изготавливаемой пленки.

Бель изобретения — стабилизация толщины пленки.

Цель достигается тем, что в устройс1 ве для литья пленки, содержащем литьевую воронку, сообщающуюся с резервуаром для жидкости, воронка подвешена на упругом элементе, соединяющем ее с резервуаром и выполненным в виде сильфона, трубки Бурдона или мембраны.

На фиг. 1 схематически изображено устройство для литья пленки с упругим элементом в виде силъфон ; на фиг. 2— то же, упругий элемент в виде мембраньц на фиг. 3 — то же, упругий элемент в виде трубки Бурдона.

Устройство для литья пленки содержит стол 1, технологическую подложку 2.

Над столом жестко закреплен резервуар 3.

К резервуару 3 подвешена с помощью упругого элемента воронка 4, полость которой сообщается с полостью резервуара через упругий элемент, выполненный

72 в виде сильфона 5. Воронка 4 снабжена демпфирующим пружинным параллелограммом 7, Упругий элемент может быть выполнен в виде мембраны 6 или в виде изогнутой трубки — трубки Бурдона 8 (фиг. 3).

Устройство работает следующим образом.

В резервуар 3 заливают литейную жидкость (шликер) до заданного уровня. Опновременно заполняется и воронка 4, которая под действием гидростатического давления опускается, преодолевая сопротивление упругого элемента 5, 6 или 8, до рассчитанного на необходимый расход зазора между воронкой и подложкой. При этом упругий элемент 5, 6 или 8 накапливает потенциальную энергию за счет упругой деформации под действием нагрузки (гидростатического давления). По мере расхода жидкости из воронки на движущуюся подложку 2 давление в системе резервуар-воронка падает, в результате чего постепенно снижается степень воздействия нагрузки на упругий элемент, который, используя накопленную энергию, постепенно восстанавливает свою форму, приподнимая при этом воронку:над подложкой и увеличивая тем самым зазор.

Увеличение зазора компенсирует падение давления, в результате чего расход жидкости остается постоянным. Это в свою очередь обеспечивает стабильность тол пины пленки.

Демпфирующий пружинный параллелограмм 7 устраняет качания литьевой во2594 4 ронки (может 6h1ть заменен HB HBB()пр.— ляющие ) .

Использование предлагаемого устройства позволяет получать высококачественную металлоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схе— мах, электронных вакуумных приборах и те д*

Формула изобретения

l. Устройство для литья пленки, содержащее питьевую воронку, сообщающуюся с резервуаром для жидкости, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью ста- билизации толщины пленки, воронка подвешена на упругом элементе, соединяющем ее с резервуаром.

2. Устройство по и. 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что упругий элемент выполнен в виде сильфона.

3. Устройство по п. 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что упругий элемент выполнен в виде трубки Бурдона.

4. Устройство по и. 1, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что упругий элемент выполнен в виде мембраны.

jo Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

No 432935, кл. В 05 С 5/02, 1971.

ЗБ 2. П атент США Na 2 9 74 364, кл. 264-213, опублик. 1961 (прототип).

722594 фий

Составитель С. Леонтьева

Редактор 3. Шубенко Техред H. Ковалева Корректор М. Демчик

Заказ 907/3 Тираж 810 Подписное

ППИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал IIIIII Патент, г. Ужгород, yet. Проектная, 4