Устройство для прецизионного перемещения изделий

Устройство для прецизионного перемещения изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик 723696 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 20.10.78 (21) 2677329/18-21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М, Кл

Н О1 L 21/70

Н 05 К 3/00

Государсмеиоый комитет

Опубликовано 25.03.80. Бюллетень №11

Дата опубликования описания 05.04.80 (53) УДК 621.396.6. .002.?2 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. П. Ершов, В. В. Веселов, Г. Н. Трусова и Р. В. К. Улозас (71) Заявитель т

1 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРЕЦ113ИОННОГО

ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ИЗДЕ,г)ИЙ

Изобретение относится к сборочному оборудованию и может быть использовано для изготовления и обработки приборов, состоящих из нескольких твердотельных компонентов, сформированных на общей подложке.

Например, изготовление интегральных схем или их частей.

Известно устройство для прецивионного перемещения изделий, содержащее основание, платформу и расположенный между ними привод, выполненный в виде пьезокерамических элементов (1). Однако это устройство не обеспечивает высокой точности перемещения.

Цель изобретения — повышение точности перемещения изделий.

Достигается это тем, что устройство для прецизионного перемещения изделий, содержащее основание, платформу и расположенный между ними привод, выполненный в виде пьезокерамических элементов, снабжено постоянными магнитами, охватывающими зону контакта пьезокерамических элементов с платформой, а пьезокерамические элементы шарнирно закреплены на основании в горизонтальном положении.

На фиг. 1 — предлаг-емое устройство, вид сверху: на фиг. 2 — то же, разрез А — А на фиг. 1.

Устройство содержит основание 1, платформу 2, привод, выполненный в виде пьезо5 керамических элементов 3 — 6, и снабжено постоянными магнитами 7, установленными в зоне контакта пьезокерамических элементов 3 — 6 с платформой 2. Контакты имеют подковообразную форму и охватывают элементы 3 — 6. В местах контакта платформы

1о 2 с элементами 3 — 6 на них установлены контактные площадки 8 из износостойкого материала. Элементы закреплены на шарнирных держателях 9, установленных на основании в узловой нулевой точке 10 пьезокерамики, т. е. точке, в которой отсутствуют колебания. Элементы 3 — 6 установлены на осях попарно с возможностью юстировки их соосности. 1Остировка осуществляется регулировочными винтами 1! . Элементы 3 — 6 установлены на держателях 9 в горизонтальном положении. Постоянные подковообразные магниты 7 создают необходимое усилие прижатия платформы к контактным площадкам 8 элементов 3 — 6, причем зазор между платформой и магнитами можно изменять, 723696

Формула изобретения

11 4 иг./

А-А

7 7ФБ

ЦН И И П И Заказ 439/40 Тираж 844 Подписное

Филиал Л и П я . атенг», г. Ужгород, Ул. Проектная, 4 например, за счет прокладок (на чертеже не показаны). Регулировка магнитов по высоте осуществляет установку оптимального режима по скорости.

Устройство работает следующим образом.

При подаче управляющего напряжения на пьезоэлементы 4 и 6, расположенные соосно вдоль оси У, возбуждаются упругие деформации типа «бегущей волны», взаимодействующие с перемещаемой платформой 2.

При наличии сил сухого трения создается движущая сила, направленная вдоль оси Y.

При подаче управляющего напряжения на пьезокерамические элементы 3 и 5 расположенные соосно вдоль оси Х, возбуждаются упругие деформации, которые, взаимодействуя с плавающей платформой 2, перемещают ее в направлении оси Х. Вращение вокруг вертикальной оси осуществляется возбуждением в пьезокерамических элементах

3 — 6 волнового движения, векторы направления распространения которых, образуют замкнутый прямоугольник.

Устройство для прецизионного перемещения изделий, содержащее основание, платформу и расположенный между ними привод, выполненный в виде пьезокерамических элементов, отличающееся тем, что, с целью

io повышения точности перемещения, оно снабжено постоянными магнитами, охватывающими зону контакта пьезокерамических элементов с платформой, а пьезокерамические элементы шарнирно закреплены на основа15 нии в горизонтальном положении.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 529509, кл. Н 01 1 21/66, 1976 (прототип).