Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса

Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Ъ

Д4

О П И-С--АН И-Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ (i ц 724 802

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву

4 (22) Заявлено 03.04.78 (21) 2598861/25-06 (51) М. Клз

F 04D 19/04 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.80. Бюллетень № 12

Государственный комитет (53) УДК 621.527.8 (088.8) по делам изобретений и открытий (45) Дата опубликования описания 30.03.80 (72) Авторы изобретения

В. И. Бойцов и Б. В. Иванов

Московский ордена Трудового Красного Знамени институт химического машиностроения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройствам для определения характеристик вакуумных насосов, Известно устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса, содержащее присоединенный к откачиваемому объему и насосу вертикальный корпус, по оси которого на упругой нити подвешен пробный диск (1).

Недостатками указанного устройства являются инерционность измерений динамически меняющегося давления, зависящая от проводимости зазора между пробным диском и насосом, и невысокая точность измерений, обусловленная удаленностью измерительного устройства (пробного диска) от входа насоса.

Целью изобретения является повышение точности, снижение инерционности и расширение диапазона измерений.

Указанная цель достигается тем, что пробный диск размещен со стороны роторного диска насоса и снабжен лопатками, установленными зеркально относительно лопаток роторного диска. Пробный диск установлен с возможностью осевого перемещения.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2— схема, поясняющая его работу, 2

Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса содержит присоединенный к насосу 1 вертикальный корпус 2, по оси которого на

5 упругой нити 3 подвешен пробный диск 4, размещенный со стороны роторного диска 5 насоса 1 и снабженный лопатками 6, установленными зеркально относительно лопаток 7 диска 5 ротора 8. Пробный диск 4 ус1р тановлен с возможностью осевого перемещения при помощи ввода 9. Насос 1 снабжен приводом 10. Кроме того, на вертикальном корпусе 2 размещены натекатель 11, датчики 12 вакуума, подсветка 13 и смотровое окно 14 для проведения отсчета углов поворота пробного диска 4.

Устройство работает следующим образом.

При достижении предварительного вакуума в объеме корпуса 2, включается привод

10 насоса 1, который приводит во вращение ротор 8 с дисками 5. После выхода на за-данный уровень вакуума пробный диск 4 с помощью ввода 9 приближается к диску 5 на определенное расстояние. Молекулы газа, отраженйые диском 5 обратно в объем корпуса 2 и получившие при соударении дополнительный импульс количества движе30 ния (показаны на фиг. 2 стрелками), соуда724802

7т

Составитель В. Кряковкин

Редактор Г. Прусова

Техред А. Камьннникова

Корректоры: А. Галахова и P. Беркович

Дцг, 2 ряясь с пробным диском 4, заставляют его поворачиваться на угол, зависящий от уровня вакуума на входе в насос 1.

При определении скоростй откайки насо са 1 натекателем 11 создается газовая нагрузка и измеряется изменение угла поворота An пробного диска 4 за время At. ОтЛа ношение — характеризует скорость отМ качки насоса при определенном давлении.

Выполнение пробного диска с лопатками ведет к увеличению его проводимости, вследствие чего вакуумные условия в зоне измерения оказываются аналогичными условиям в любой точке измерительного объема.

Таким образом, повышается точность измерения.

Размещение пробного диска непосредственно над роторным диском насоса исключает погрешность от места и способа установки измерительного устройства, улучшает качество измерений и снижает их инерционность.

Формула изобретения

1. Устройство для определения характеристик турбомолекулярного вакуумного насоса, содержащее присоединенный к откачиваемому объему и йасосу вертикальный корпус, по оси которого на упругой нптп подвешен пробный диск, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и

1р снижения инерционности измерений, пробный диск размещен со стороны роторпого диска насоса и снабжен лопатками, установленными зеркально относительно лопаток роторного диска.

15 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона измерений, пробный диск установлен с возможностью осевого перемещения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Дэшман С. И. Научные основы вакуумной техники. М., «Мир», 1964, с, 229 (прототип).

Заказ 355/19 Изд. № 205

Тираж 729 11одписное

НПО «Поиск»

Государственного комитета (ЛХР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2