Устройство для контроля оптической однородности образца

Устройство для контроля оптической однородности образца

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ii ц 7249 9 9

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик г!

::Ы 1 ь (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.08.78 (21) 2655179/18-25

„: p 4. s r. с присоединением заявки № (51) М.К .

G 01N 21/46

G 02В 27/38

Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.80. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 30.03.80 (53) УДК 535.87 (088.8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Н. И. Айзенберг, А. С. Румянцев, С. Ф. Ситников и Н. В. Тунев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ

ОДНОРОДНОСТИ ОБРАЗЦА

Изобретение относится к области оптического приборостроения и может быть ис пользовано в процессе контроля качества оптических изделий.

Известны устройства для контроля оптической однородности образца, содержащие интерферометры,(1).

Однако эти устройства требуют использования высококачественных оптических элементов и специальной настройки.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является устройство для контроля оптической однородности образца, содержащее источник света, точечную диафрагму, коллиматор и телескопическую систему (2).

Исследуемый образец помещается между коллиматором и телескопической системой.

Контроль осуществляется по дифракционному изображению точки после прохождения излучения через образец.

Недостатком известного устройства является недостаточно высокая точность контроля при определении локализации оптических неоднородностей образца.

Цель изобретения — повышение точности контроля оптической однородности образца.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для контроля оптической однородности образца между коллиматором

2 и телескопической системой установлена дополнительная децентрированная телескопи- ческая система, снабженная выпуклым и полупрозрачным вогнутым зеркалами, меж5 ду которыми помещен образец, причем диаметр выпуклого зеркала меньше поперечного размера образца.На чертеже представлена принципиальная схема устройства для контроля оптичеip ской однородности образца.

Устройство содержит источник света 1, точечную диафрагму 2, помещенную в фокусе объектива коллиматора 3, исследуемого образца 4, помещенного между выпук15 лым зеркалом 5, в плоскости которого установлена диафрагма 6 и вогнутым полупрозрачным зеркалом 7. Диаметр выпуклого зеркала 5 меньше поперечного размера исследуемого образца 4. Указанные зеркала

5 и 7 образуют между собой дополнительную децентрированную телескопическую систему, при этом отношение их диаметров соответствует коэффициенту увеличения этой системы. Вогнутое полупрозрачное зеркало 7 наносится на поверхность мениска 8.

На выходе устройства имеется телескопическая система 9.

Устройство работает следующим образом: источнйк света 1 "освещает "Фочечйую

3р диафрагму 2, от которй свет проходит в

724999

Составитель К. Рогожин

Техред А. Камышникова

Корректор E. Хмелева

Редактор Н. Коляда

Заказ 357/2 Изд. № 220, Тираж 1033 Подписное

HIIQ «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

3 объектив коллиматора 3 и затем дпфрагирует на кольцевом отверстии, образованном оправой зеркала 5 и диафрагмой 6, Далее свет проходит через образец 4, вогнутое полупрозрачное зеркало 7 и, частично отражаясь от него, возвращается обратно.

Часть излучения проходит через мениск

8, причем, вследствие децентрирования дополнительной телескопической системы свет после каждого прохождения выходит под различными углами к оптической оси, и попадает в телескопическую систему 9. Таким образом, образующиеся при каждом прохождении света отдельные дифракционные изображения каждого прохода можно наблюдать одновременно. Измеряя расстояния между дифракционными максимумами и сравнивая их с теоретически полученными значениями, можно определить искомую величину оптической неоднородности, т. е. размеры и форма каждого дифракционного изображения дают количественную харак теристику оптическои однородности исследуемого образца. Многократное прохождение света через поперечное сечение исследуемого образца между зеркалами дополнительной телескопической системы приводит к эффекту увеличения размера изображения, что приводит к повышению точности контроля и определению мест локализации нарушений однородности.

Предлагаемое устройство по сравнению с известными устройствами позволяет повысить точность и оперативность контроля качества оптических изделий, в том числе

5 крупногабаритных, при этом не требуются применение высококачественных оптических элементов и повышается помехоустойчивостьть измерений.

10 Формула изобретения

Устройство для контроля оптической однородности образца, содержащее источник света, точечную диафрагму, коллиматор и

15 телескоПическую систему, о т л н ч а ю щ е еся тем, что, с целью повышения точности контроля, между коллиматором и телескопической системой установлена дополнительная децентрированная телескопическая

2р система, снабженная выпуклым и полупрозрачным вогнутым зеркалами, между которыми цомещеи образец, причем диаметр выпуклого зеркала меньше поперечного размера образца.

25 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Ильин Р, С. и др. Лабораторные оптические приборы, М., «Машиностроение», 1966, с. 174 — 176.

30 2. Афанасьев В. А. Оптические измерения

М„1961, с. 114 — 115 (прототип).