Интерференционный способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданном ее сечении и прибор для осуществления способа

Интерференционный способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданном ее сечении и прибор для осуществления способа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Юа 72947

Класс 42b, 8еж

42п, 34

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ риг

В. П..Линник

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ НАБЛЮДЕНИЯ

МИКРОПРОФИЛЯ ПОВЕРХНОСТИ В ЗАДАННОМ ЕЕ СЕЧЕНИИ

И ПРИБОР ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА

Заявлено 21 декабря 1944 г. за М 0354/335869

Предлагаемый прибор дает возможность наблюдать интерференционную картину исследуемой поверхности и благодаря этому определять качество обработки поверхности изделий с большей точностью.

Схема прибора показана на чертеже.

Лучи, выходящие из вертикальной щели S, освещенной каким-либо источником белого света, попадают на полупрозрачное зеркало М.

Часть их, отраженная от зеркала М, пройдет через объектив микроскопа О, и даст на наблюдаемом объекте Т изображение щели 5а; затем лучи пройдут через зеркало М, цилиндрическую линзу С, ось которой лежит в плоскости чертежа, и дадут изображение S щели S. Часть лучей, прошедшая полупрозрачное зеркало М в горизонтальном направлении, .проходит через второй микрообъектив Оа, попадает на систему из двух зеркал Р1 и Р9, составляющих прямой угол друг с другом, и образует в пространстве между зеркалом изображение щели S.

После отражения от зеркал Р1 и Р, и прохождения обратно через объектив 0> лучи, отразившись вверх от зеркала М и пройдя через цилиндрическую линзу С, дают второе изображение S> щели S.

При достаточно малой ширине щели 5 изображения S и 52 будут испускать когерентные лучи и, в случае плоского объекта Т, будут подобно изображениям щели в любой из схем фремелевской интерференции давать интерференционную картину, рассматриваемую окуляром

О. Если окуляр О будет установлен таким образом, что в него будут четко видны изображения щели S без цилиндрической линзы С, или, иначе говоря, лучи, исходящие из точек S> и лежащие в плоскости, проходящей через ось цилиндрической линзы С, будут давать изображения в предметной плоскости окуляров О, то интерференционная картина, наблюдаемая в окуляр в каждом ее сечении плоскостью, перпендикулярной изображениям щелей S, и S2, будет характеризоваться расстоянием со№ 72947 ответствующей точки Sq от некоторой постоянной плоскости. Если поверхность Т не будет плоской, то сдвиг центральной полосы будет пропорционален этому расстоянию. Иначе говоря, интерференционные полосы1 будут извилистыми, а их форма будет воспроизводи1гь профиль проверяемой поверхности в сечении, определяемом местом изображения.

Предмет изобретения

1. Интерференционный способ наблюдения микропрофиля поверхности в заданном ее сечении, основанный на получении интерференции

or двух изображений источника света, одного отраженного испытуемой поверхностью и имеющего разности хода, и второго, образованного .=овершенной оптической системой, от л и ч а ющи и с я тем, что в качестве источника света применяют щель, изображение которои проектируют на испытуемую поверхность, а для раздельного наблюдения интерференции в областях, соответствующих каждой точке сечения поверхности, на пути обоих интерферирующих пучков располагают асигматическую систему.

2. Прибор для осуществления способа по п. 1, выполненный в виде микроинтерферометра Линника, о тл и ч а ю щи и с я тем, что в качестве источника света в нем применена щель, лежащая в плоскости симметрии прибора, проектируемая на испытуемую поверхность и на эталонную поверхность, выполненную в виде двойного зеркала с двухгранным прямым углом, биссектриса которого расположена в плоскости симметрии прибора и который назначен для смещения одного изображения щели относительно другого, а между диагональным зеркалом микроинтерферометра и окуляром установлена цилиндрическая линза.

3. Прибор по п. 2, отличающийся тем, что для наблюдения интерференции, соответствующей каждой точке сечения используемой поверхности, применена цилиндрическая линза, установленная между диагональным зеркалом микроинтерферометра и его окуляром.