Устройство для измерения удельного сопротивления

Устройство для измерения удельного сопротивления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()729514

+ с (б1) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 1 302 78 (21 ) 2 598665/1 8-21 с присоединением заявки ¹ (5! ) М. Кл.2

G 01 R 1/06

Н 01 Ь 21/66

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 2504,80. Бюллетень ¹ 15

Дата опубликования описания 280480 (53) УДК 6 21 . 315.

° 686 (088.8) Х ..Г, Салимов „Н.И. Сменов, Л.Д. Попова, В.В. Ватавин и С.А. Абагян (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО

СОПРОТИВЛЕНИЯ

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в полупроводниковой промышленности для контроля злектрофиэических параметров полупроводниковых материалов, например, удельного сопротивления слитка полупроводникового материала четырехзондовым методом.

Известно устройство для измерения 10 удельного сопротивления полупроводниковых пластин четырехэондовым методом, включающее неподвижно закрепленную эондовую головку и предметный столик с возможностью перемещений 15 образца в двух взаимно перпендикулярных направлениях и поворота вокруг оси его симметрии в горизонтальной плоскости(1).

К его недостаткам относится невоз-20 можность использования для измерения по торцу слитка длиной один метр и более.

Известно также устройство для из- мерения удельного сопротивления слит-25 ков, содержащее механизм перемещения эондовой головки и держатель слитков, размещенные на общем основании (2).

Однако, это устройство позволяет проводить измерения только вдоль об- 30 разующей и непригодно для измерений по торцу слитка.

Цель изобретения — повышение производительности.

Это достигается тем, что в устройстве для измерения удельного сопротивления, преимущественно полупроводниковых материалов, содержащем основание, зондовую головку с механизмом ее перемещения и держатель слитка полупроводникового материала, механизм перемещения эондовой головки выполнен в виде турели, на которой размещена зондовая головка с возможностью ее перемещения по радиусу турели, а ос" нование снабжено направляющей с подвижными упорами для перемещения держателя слитка полупроводникового материала, выполненного в виде двух пар пластин с воэможностью нх взаимного возвратно-поступательного перемещения.

На чертеже изображена.схема предложенного устройства.

Устройство для измерения удельного сопротивления имеет основание 1, механизм 2 перемещения эондовой головки в виде турели 3, выполненной с воэможностью угловых перемещениЯ вокруг своей осн 4 в неподвижной стой729514 ке 5 на равные углы за счет упругого шарикового фиксатора 6, на которой установлен привод для перемещения эондовой головки вдоль радиуса турели, содержащей реечно-зубчатую пере. дачу 7 и жестко соединенную с корпусом зондовой головки направляющую 8.

Основание 1 снабжено направляющей

9 s виде рельса, на которой установлен держатель слитка полупроводникового .материала,.выполненный в виде двух пар пластйн 10 и 11, установленных под углом одна к другой, имеющих воэможность взаимного возвратно-поступательного перемещения посредством винтовых пар с левой 12 и .правой 13 направлениями резьбы и направляющей 14.

Направляющая 9 снабжена подвижными упорами 15 и 16, причем упор 15 размещен на пластинах.10 и служит для базирования торца слитка, а упор 16 — . для поджатия торца слитка к упору 15.

Винтовой зажим 17 предназначен для фиксации пластнн 10 и 11 и упора 16 в любом положении направляющей 9.

Устройство для измерения удельно- го сопротивления по торцу слитка работает следующим образом.

Предварительно измеряют диаметр слитка и по шкале (на чертеже не показана) с помощью винтовых пар 12 и 13 и направляющих 14 устанавливают пластины 10 н 11 держателя слитка в положение, соответствующее диаметру слитка, при этом автоматически совмещается ось симметрии слитка с осью 4 вращения турели 3.

С помощью подвижного упора 16 поджимают контролируемый торец слитка к базовому упору 15, и приводом с реечно-зубчатой передачей 7 по шкале (н1а чертеже не показана) устанавливают зондовую головку на нужный радиус вращения на турели 3. Поворотом турели 3 на необходимый угол подводят зонды к точкам контактировання, > лежащим на одной окружности, и проводят измерения.

Изменяя радиус вращения зондовой головки 2 на турели 3, последовательно измеряют удельное сопротивление 0 по всему сечению. формула изобретения

Устройство для измерения удельно1S го сопротивления, преимущественно полупроводниковых материалов, содержащее основание, зондовую головку с механизмом ее перемещения и держатель слитка полупроводникового материала, 29 о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, механизм перемещения зондовой головки выполнен в виде турели, на которой размещена эондовая головка с воэ2 можностью ее перемещения по Радиусу турели, а основание снабжено направляющей с подвижными упорами для перемещения держателя слитка полупроводникового материала, выполненного в

З виде двух пар пластин с возможностью

as взаимного возвратно-поступательного перемещения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Батавии В.В. Контроль параметров полупроводниковых материалов и энитаксиальных слов. М., Советское ч радио, 1976, стр. 13, рис ° 8.

2. Патент СШа 9 3312893, кл. 324-64, 1967 (прототип), 40

729514

Зак аз 1 2 54/3 8

Тираж 1019 Подписное

tLHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Рау аская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. ужгород, ул. Проектная, 4 с

Составитель П. Прокопенко

Редактлр H. Катаманнна Техред, А.Щепанская Корректор О. Ковинская