Способ измерения малых поперечных размеров

Способ измерения малых поперечных размеров

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(»>735914

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Соцналисткческик

Республик

1 т (61) Дополнительное и авт. свнд-ву (22) ЗаЯвлено 26.07т77 (21) 2513023/25 28 (5l)M. Кд.

G 0l В 11/08 с присоединением заявки №

Гооударстееииый комитет (23) Приоритет

Опубликовано 25.05.80. Бюллетень ¹ 19 по делам изооретеиий и открытий (5")) ÀÊ 531 .7 (088.8) %

Дата опубликования описания 26.05.80

Е. П. Андреев- Андриевский, С. A. Ильчук, Н. Т. Ключник, К. И. Лобачев и В. П. Смирнов (72) Авторы изобретения (7I) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПОПЕРЕЧНЫХ

РАЗМЕРОВ

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для контроля ширины штрихов, зазоров и диаметров волокон.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изоб ретению является способ для измерения малых поперечных размеров, при котором облучают когерентным монохроматическим светом эталонный и контролируемый объекты, получают дифракционную картину распределения от эталонного и контролируемого объектов (lj .

Такой способ отличается недостаточно высокой точностью измерения, так как процесс измерения проводится bio интенсивности лучей.

Цель изобретения - повышение точности измерения малых поперечных размеров.

Это достигается тем, что из картины

Ф распределения выделяют по одному порядку дифракции, осуществляют их интерференцию и по полученной интерференцион2 ной картине судят о контролируемой величине.

На чертеже показано устройство для реализации предлагаемого способа.

Устройство содержит источник 1 монохроматического излучения, светоделитель 2, эталонный 3 и контролируемый

4 обьекты, диафрагму 5, телескопическую систему 6, зеркала 7 и 8, диафрагму 9, телескопическую систему 10, полупроз рачное зеркало 11 и индикатор 12.

Устройство работает следующим образом.

Излучение источника 1 делится светоделителем 2 на эталонный и контролиру15 емый канальь Излучение, идущее по контролируемому каналу, дифрагирует на контролируемом объекте 4. Диафрагма 5 выделяет один иэ порядков дифракции, который расширяется телескопической сис20 темой 6 и поворачивается зеркалом 7.

Излучение, проходя по эталонному каналу, поворачивается зеркалом 8 и диф\

3 735914 4 рагирует на эталонном объекте 3. Один формула изобретения аз порядков дифракции выделяется диаф- Способ измерения малых поперечных рагмой 9 и попадает в телескопическую размеров, при котором облучают когерентсистему 10. На полупрозрачном зеркале ным монохроматическим светом эталон11 соответствующие порядки дифракции 5 ный и контролируемый объекты, получасовмещаются, и на индикаторе 12 наб- ют дифракционную картину распределения людается результат их-интерференции.  — от эталонного и контролируемого объекслуЧае равенства эталонного и контроли- тов, отличающийся тем, что, руемого обьектов на индикаторе 12 наб- с целью повышения точности измерения, людается бесконечно широкая полоса ин- о из картины распределения выделяют по терференцйй из- -за отсутствия угла схож- одному порядку дифракции, осуществляют. дения интерферирующих порядков. При на- их интерференцию и по полученной интерличии" разницы в размерах появляется ференционной картине судят о контролиугол схождения, что влечет за собой уве- руемой величине. личение частоты интерференционной кар- 15 Источники информации, тины, по которой судят- о величине откло- принятые во внимание при экспертизе кения контролируемого объекта от этало - 1. Измерительная техника 1977, %3 на. с. 36-39 (прототип):

Р

Составитель Н. Захаренко ,.Редактор Т. Смирнова Техред Я, Бирчак Корректор А. Гриценко

Заказ 2411/32 Тираж 801 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4И филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4