Интерфенционный способ измерения угловых перемещений объекта

Интерфенционный способ измерения угловых перемещений объекта

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

па „ы

Союз Советскик

Социалистичесиин

Республик

735915

ИЗОБРЕТЕН И

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27. 11.78 (21) 2693583 25-28

f51)M. Кл.

G 01 В 11/26

С 01 В 8/02 с присоединением заявки рв

Государственный комитет

СССР до делам изобретений и открытий (23)Приоритет

Опубликовано 25Q5.80. Бюллетень М 18

Дата опубликования описания 27.05.80 (53) УДК,531., .7 l 5. 1 (088.8) А. С. Петров, П. И. Полухин, A. Б. Кудрин и Н А. Чиченев (72) Авторы изобретения

Московский ордена Трудового Красного Знамени институт стали и сплавов (7I) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ

УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕШЕНИЙ ОБЪЕКТА

Изобретение относится к контрольно.измерительной технике и может быть использойано, в частности, для измерения угловых перемещений различного вида объектов как в лабораторных, так и в промышленных условиях.

Известен автоколлимационный способ определения угловых смещений объекта, заключающийся в том, что искомую величину определяют по величине смещения направленного и отраженного от объекта пучков света (1).

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемомурезультату является интерференционный способ измерения угловых перемещений объекта, заключающийся в том, что разделяют пучок света на несколько пучков, затем сводят их попарно в пучки и регистрируют интерференционную картину, по которой судят о перемещении 21.

Однако высокая чувствительность способов к вибрациям и линейным перемещениям объекта снижает качество интерфе2 ренционной картины и, следовательно, снижает точность измерения.

Белью изобретенйя является повышение точностй измерения за счет, снижения влияния вибраций и линейных перемещений объекта и улучшения качества интерференционной картины.

Это достигается тем, что перед сведением пучки каждой пары направляют навстречу один другому по одному и то1О му же оптическому пути.

На чертеже дана принципиальная оптическая схема, позволяющая реализовать описываемый способ.

Оптическая схема содержит неподвиж-, 15 ный светоделитель 1, зеркала 2 и 3, связываемые с объектом 4.

Описываемый способ осуществляется следующим образом.

Пучок 5 когерентного света разделяют с помощью светоделителя 1 на пучки 6 и 7, которые направляют навстречу один другому по одному и тому же оптичесИ Заказ 2411/32

801 Подписное... . „,, у Ф :,.- l"-

3 . 7359 кому пути зеркал 2 и 3. Затем пучки 6 и 7 сводят в один пучок с помощью светоделителя 1 и регистрируют интерференционную картину. При повороте обьекта на угол оС в плоскости чертежа зеркала

2 и 3 повернутся на тот же угол, интерферируюшие пучки при этом получают разность хода, что приводит к появлению интерференционных колес, по количеству которых и определяют угловое перемеше- lo ние обьекта 4.

Поскольку интерферирующие лучи проходят один и тот же оптический путь, т.е. через одни и те же элементы оптической схемы, то изменение оптического пути за счет линейного перемещения любого элемента не вызывает появления добавочной разности хода. Таким обра-

Зом, удается существенно уменьшить влияние вибраций и линейных перемеше- 2р ний объекта и элементов схемы, кроме того, в значительной мере устраняется влияние оптИческой неоднородносты среды.

Все это позволяет повысить точность измерения и применить интерференцион- 2s ный способ измерения угловых переме15 Ь шений объекта в лабораторных и промыш- пенных условиях.

Формула изобретения

Интерференционный способ измерения угловых перемещений объекта, заключающийся в том, что разделяют пучок света на несколько пучков, сводят их попарно в пучки и регистрируют интерференционную картину, по которой судят о перемещении, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, перед сведением пучки каждой пары направляют навстречу один другому по одному и тому же оптическому пути.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Афанасьева В. A. Оптические измерения.-M. "Недра, 1968, с. 41.

2. Коломийцова Ю. В. Интерферометры.

Л., Машинострмние, 1976, с. 66 (прототип).

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4