Способ нанесения металлического покрытия

Способ нанесения металлического покрытия

Реферат

Способ нанесения металлического покрытия путем размещения подложки в вакуумной камере и распределения в ее объеме наносимого металла с одновременными перемещением подложки относительно ограничительной диафрагмы, отличающийся тем, что, с целью сохранения оптических характеристик при изготовлении решеток-поляризаторов увеличенных размеров, перед перемещением подложки одновременно с нанесением металла на элемент ее поверхности наносят металл на поверхность свидетеля, контролируют оптические параметры элемента изготавливаемой решетки-поляризатора и толщину слоя металла на свидетеле, а скорость U_дв перемещения подложки выбирают из соотношения где d - ширина диафрагмы; t_и.с - номинальная толщина слоя на свидетеле, соответствующая оптимальным характеристикам металлического покрытия; U_исп - скорость испарения напыляемого металла.