Вертикальный турбомолекулярный насос

Вертикальный турбомолекулярный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(»737657

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

1 к1 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 07.10.76 (21) 2410209/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (51) М. Кл

F 04 D 19/04 (53) УДК 621.527..8 (088.8) но делам нааоретений и открытий

Опубликовано 30.05.80. Бюллетень №20

Дата опубликования описания 05.06.80

В. С. Кондрашев, Л. М. Деев-Анисимов и К. И. Волков (72) Авторы изобретения (7!) Заявитель (54) ВЕРТИКАЛЬНЫЛ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ

НАСОС

ГосУдаРственный комитет (23) Приоритет

СССР /

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца (1).

При вращении вертикального ротора не совпадает его ось вращения с осью масс ротора, что ведет к биению вала в корпусе.

Целью изобретения является уменьшение дина мической неуравновешенности ротора.

Указанная цель достигается тем, что на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце последнего — втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийся стержень, концы которого снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединения с втулкой неподвижного кольца и со стаканом.

На чертеже изображен насос, продоль. ный разрез.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное 3 и неподвижное 4 кольца.

На внутренней поверхности корпуса 1 закреплен стакан 5 со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце 4 последнего — втулка 6, а вдоль оси внутренней полости ротора 2 установлен при помощи упругих опор 7 невращаю; щийся стержень 8, концы которого снабжень1 шаровыми опорами 9 и 10, образующими шарнирные соединения с втулкой 6 неподвижного кольца 4 и со стаканом 5.

Ротор 2 приводится во вращение электродвигателем 11.

Во время выхода ротора 2 на номинальные обороты, стержень 8 позволяет ротору

2 выбрать свое положение в пространстве таким образом, чтобы совместилась ось вращения с осью массы ротора 2, при этом обеспечивается уравновешивание системы ротор-стержень.

Стержень 8 при вращении ротора 2 со2о вершает колебательные движения с частотой, равной частоте вращения ротора 2.

Относительное движение ротора 2 и стержня 8, а также стержня 8 относительно кор. ..пуса 1 при каждом обороте ротора 2 вызы737657

Формула изобретения

3 вает скольжение поверхностей в шаровой опоре 10 и шаровой опоре 9, что сопровождается деиствпем сил полусухого трения.

Это создает демпфирующее действие по отношешио и упругим колебаниям, в том числе и прецессионным колебаниям ротора 2, стабильное во всех режимах вращения ротора.

Вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца, отличающийся тем, что, с целью уменьшения динамической неуравновешенности ротора, на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце последнего— втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помоши упругих опор невращающийся стержень, концы которого снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединения со втулкой не46 подвижного кольца и со стаканом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Англии № 1304989,. кл. F 1 С, опублик. 1973.

Составитель О. Тишина

Редактор Л. Гольдина Техред К. Шуфрич Корректор М. Демчик

Заказ 2634/17 Тираж 725 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1! 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППЛ «Патент», г. Ужгород, ул. ПрОектная, 4