Турбомолекулярный насос вертикального типа

Турбомолекулярный насос вертикального типа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(»)737659

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Соцналнстнческих

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 05.07.77 (21) 2503389/25-06 (51) М. Кл.

F 04 D 19/04 с присоединением заявки № 2528423/25-06

2530403/25-06 (23) Приоритет 05.07.?7, 29.09.77

Гасударственный комитет

СССР

Опубликовано 30.05.80. Бюллетень №20

Дата, опубликования описания 05.06.80 (53) УДК 621.527..8 (088.8) по делан изобретений н открытий

В. И. Бойцов и Б. В. Иванов (72) Авторы изобретения

Московский ордена Трудового Красного Знамени институт химического машиностроения (71) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

ВЕРТИКАЛЬНОГО ТИПА

Настоящее изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный насос, содержащий ротор с роторными дисками и корпус со статорными дисками (1).

Недостатком указанного насоса является сложность относительной центровки роторных и статорных дисков.

Наиболее близким решением из известных является турбомолекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса вал, несущий роторные диски (2,1.

Недостатком указанного насоса являет- . ся небольшая производительность, обусловленная относительно большими зазорами между роторными и статорными дисками.

Целью настоящего изобретения является увеличение производительности турбомолекулярного насоса.

Указанная цель достигается тем, что насос снабжен магнитными вставками, а роторные диски выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок. Магнитные вставки встроены в основания статорных дисков, а роторные диски укреплены на валу с возможностью осевого перемещения.

Магнитные вставки размещены между статорными дисками и примыкают к корпусу. Кроме того, они встроены в вал и примыкают к основаниям роторных дисков.

На фиг. 1 изображен турбомолекулярный насос с магнитными вставками, встроенными в основания статорных дисков, продольный разрез; на фиг. 2 — турбомолекулярный насос с магнитными вставками, размещенными между статорными дисками, продольный разрез; на фиг. 3 — турбомолекулярный насос с магнитными вставками, встроенными в вал, продольный разрез.

Турбомолекулярный насос вертикального типа содержит корпус 1 с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса вал 3, несущий роторные диски 4. Насос

20 снабжен магнитными вставками 5, а роторные диски 4 выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок 5. Вал

3 с роторными дисками 4 подвешен в маг737659 .

3 нитном подшипнике, состоящем из компенсаторов 6 и 7 осевого и радиального усилий.

Магнитные вставки 5 встроены в основания статорных дисков 2, а роторные диски 4 укреплены на валу 3 с возможностью осевого перемещения.

Магнитные вставки 5 размещены между статорными дисками 2 и примыкают к корпусу 1.

Магнитные вставки 5 встроены в вал 3 и примыкают к основаниям роторных дисков 4.

Турбомолекулярный насос вертикального типа работает следующим образом.

Благодаря взаимодействию магнитных полей, магнитных вставок 5 и роторных дисков 4 и возможности осевого перемещения роторных дисков 4 относительно вала 3, роторные диски 4 автоматически устанавливаются на равных расстояних от статорных дисков 2. При соответствующей напряженности магнитного поля зазоры между роторными и статорными дисками 4 и 2 минимальны.

Наличие магнитных вставок и выполнение роторных дисков из магнитного мате -риала, намагйиченных с полярностью, противоположной полярности вставок, и укрепленных на валу с возможностью осевого перемещения, упрощает сборку насоса и позволяет получить минимальные зазоры между роторными и статорными дисками и тем самым повысить производительность насоса.

Формула изобретения

1. Турбомолекулярный насос вертикального типа, содержащий корпус с укрепленными на его внутренней поверхности статорными дискамп и установленный по оси корпуса вал, несущий роторные диски, отличающийся тем, что, с целью увеличения про изводительности, насос снабжен магнитными вставками, а роторные диски выполнены из магнитного материала и намагничены с полярностью, противоположной полярности вставок.

2: Насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные вставки встроены в основания

$$ статорных дисков, а роторные диски укреплены на валу с возможностью осевого перемещения.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные вставки размещены между

20 статорными дисками и примыкают к корпусу.

4. Насос по п. 1, отличающийся тем, что магнитные вставки встроены в вал и примыкают к основаниям роторных дисков.

Источник информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент Франции № 1594593, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1970.

2. Патент Франции № 2246756, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1975.

737659 иг.

Составитель В. Кряковкин

Редактор Л. Гольдина Техред К. Шуфрич Корректор М. Коста

Заказ 2634/17 Тираж 725 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4