Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ >737660

Союз Советски и

Социалистическик

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 14.09.78 (21) 2665470/25-06 . I с присоединением заявки №вЂ” (51) M. K .

F 04 D 19/04

Государственный комитет

СССР

/ (23) Приоритет—

Опубликовано 30.05.80. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 05.06.80 ао делан изобретений и открытий (53) УДК 621.527..8 (088.8) (72) Авторы изобретения

К. Е. Демихов и П. А. Гончаров

Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного

Знамени высшее техническое училище им. Н. Э. Баумана (71) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям . турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус с рас толоженными в нем статором и ротором (1(-Недостатком этого насоса является большие энергозатраты, обусловленные значительными потерями хладагента в процессе работы.

Известен также турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор с сорбентом, выполненный в виде дисков, с лопатками. Сорбент расположен в форвакуумной полости (2).

Однако расположение сорбента в форвакуумной полости не позволяет улучшить откачные характеристики проточной части насоса.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик.

Указанная цель достигается тем, что в лопатках статорных дисков с торцовой стороны выполнены выемки и сорбент размещен в последних.

На фиг. 1 показан насос, продольный разрез; на фиг. 2 — часть статорного диска.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ротор 2 и охлаждаемый статор 3 с сорбентом 4, выполненный в виде дисков 5 с лопатками 6. В лопатках 6 статорных дисков 5 с торцовой стороны выполнены выемки 7 и сорбент 4 размещен в последних. Кроме того, на статоре 3 расположены змеевик 8

1О и нагреватель 9.

Насос работает следующим образом.

Предварительно производится регенерация сорбента 4 в лопатках 5 статорных дисков 5 путем прогрева его при помощи нагревателя 9. Затем через змеевик 8 пропускается хладагент и Осуществляется охлаждение сорбента 4. При этом происходит предварительное вакуумирование полости насоса. Далее ротор 2 приводится во вращение и производится откачка газа из

20 откачиваемого объема.

Сорбент, размещенный в лопатках статорных дисков, препятствует проникновению паров рабочего масла и продуктов его распада в откачиваемый объем и поддерживает

737660

Формула изобретения

I Составитель В. Кряковкин

Редактор Л. Гольдина Техред К. Шуфрич Корректор М. Пожо

Заказ 2634/17 Тираж 725 Поднисное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 в определенном интервале давление газа во внутренней по1ости насоса, тем самым улучшая его откачные характеристики.

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем ротор и охлаждаемый статор с сорбентом, выполненный в виде дисков с лопатками, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, в лопатках статорных дисков с торцовой стороны выполнены выемки и сорбент размещен в последних.

Источники информаци. -:, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3536418, кл. 417 †, опублик. 1970.

2. Авторское свидетельство СССР № 533757, кл. F 04 D 19/04, 1973.