Интерферометр типа майкельсона для измерения криволинейных поверхностей

Интерферометр типа майкельсона для измерения криволинейных поверхностей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт, саид-ву— (22) Заявлено 031078 (21) 2бб9223/25-28

2 с присоединением заявки Нов (Z3) Приоритет а 01 В 9/02

G 01 В 11/24

Государствеииый комитет

СССР по делам изобретеиий и открытий

Опубликовано 150680 Бюллетень ) (о 22

Дата опубликования описания 189б.80 (з) Уд) 531. 715. 1 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Г.Б. Кайнер и A Â. Ляховский

Бюро взаимозаменяемости в металлообрабатывающей промышленности (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ТИПА МАЙКЕЛЬСОНА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

КРИВОЛИНЕЙНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, а именно к интерференционным измерениям криволинейных поверхностей, и может быть использовано, например, для измерения радиусов кривизны, для контроля формы поверхности, для измерения длины образующей поверхности и т.д. 10

Известно интерференционное устройство для измерения радиусов выпуклых неполных цилиндрических и сферических поверхностей, содержащее прозрачную установочную приз"у с опред "ен 15 ным двугранным углом, контактирующую с измеряемой поверхностью в двух точках (1).

Известное устройство не обеспечивает высокой точности измерения.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является интерферометр типа Майкельсона для измерения криволинейных поверхностей, измерительная ветвь которого включает элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность и .выполненный в виде специальных маленьких зеркал, наклеиваемых на иэ30 меряемую поверхность в нескольких контрольных точках (2).

Недостатком известного интерферометра является то, что он позволяет произвести лишь дискретные измерения, поскольку они проводятся лишь в нескольких контрольных точках, что снижает точность измерения.

Целью изобретения является повышение точности измерения. ук аз анна я цель достиг ае тс я тем, что элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность, выполнен в виде гибкого световода с аттестованной длиной.

На фиг. 1 изображена оптическая схема интерферометра типа Майкельсона для измерения криволинейных поверхностей; на фиг. 2 — то же, в процессе контроля.

Интерферометр содержит (фиг. 1) осветительную систему 1, светоделительный кубик 2 с зеркальной гранью

3, образующей референтное зеркало, измерительную ветвь, включающую элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность (фиг. 2) и выполненный в виде гибкого световода 4 с отражательным торцом 5; опти741041 ческую систему (окуляр 6), предназначенную для образования в плоскости иэображения интерференционной картины.

Работает описываемый интерферометр следующим образом.

Гибкий световод 4 накладывается на измеряемую поверхность 7 (фиг. 2) .

Крепление световода 4 к поверхности

7 детали может осуществляться различными известными способами, например наклеиванием, прижатием механическими прижимами и т.п. При наложении на измеряемую поверхность 7 детали световод 4 изгибается соответственно профилю поверхности 7 детали. Следствием изгиба является изменение ойтической длины световода (как это видно на фиг, 2) и, соответственно, изменение (смещение) интерференционной картины, наблюдаемой через оптическую систему 6, по сравнению с интер- 2О ференционной картиной, наблюдаемой при прямолинейном световоде (фиг. 1) .

По изменению интерференционной картины, соответствующей изменению оптической длины световода, и по известной геометрической длине его вычисляют требуемый размер, например радиус кривизны детали.

Выполнение в описываемом интерферометре элемента, входящего в измерительную ветвь и предназначенного для наложения на измеряемую поверхность, в виде гибкого световода позволяет осуществить непрерывное.измерение в отличие от дискретных.измерений осуществляемых в отдельных контрольных точках, что позволяет повысить точность измерения.

Форм1 ла изобретения

Интерферометр типа Майкельсона для измерения криволинейных поверхностей, измерительная в етв ь которого включает элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения точности из— мерения, элемент, предназначенный для наложения на измеряемую поверхность, выполнен в виде гибкого световода с аттестованной длиной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

9 44008В114411, кл . G 01 В 11/24, 1971.

2 ° Патент CILIA 9 4022532, кл. 356-109, 1977 (прототип).

741041

Заказ 3186/39

Тираж 801 Подписное

INHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r; Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Л. Лобзова

Редактор Г. Мозжечкова ТехредМ.Петко корректор М. Демчик