Датчик механических величин

Датчик механических величин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНЫ Е

ИЗОБРЕТЕН ЫЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()741060

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 05.10.78 (21) 2671988/18-28 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) M К

G 01 Н 1/00

Государствеииый комитет

СССР (53) УДК 620.178..53 (088.8) Опубликовано 15.06.80. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 25.06.80 до делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. В. Малов, В. М. Макаров, О. А. Кучко и Д. В. Карпеев

Московский ордена Трудового Красного Знамени инженерно-физический институт (71) Заявитель (54) ДАТЧИК МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения механических величин.

Известен датчик механических величин, содержащий деформируемый упругий элемент и размещенные на нем излучающий и приемный преобразователи поверхностных акустических волн (1).

Недостатком известного устройства является низкая чувствительность, так как величина минимально измеряемых давлений ограничена технологическими трудностями изготовления тонкой пьезокристаллической мембраны.

Целью изобретения является увеличение чувствительности датчиков механических величин на поверхностных акустических волнах.

15 .Указанная цель достигается тем, что датчик снабжен размещенным между измерительным и приемным преобразователями металлическим электродом, установленным параллельно плоскости деформируемого упругого элемента на расстоянии, равном длине поверхностной акустической волны и электрически соединенным с земляной точкой датчика.

На чертеже схематически изображен датчик механических величин.

Датчик содержит деформируемый упругий элемент 1, выполненный в виде мембраны в монолитном блоке 2 из пьезоэлектрического материала с размещенными на нем излучающим 3 и приемным 4 преобразователями поверхностных акустических волн, и размещенный между ними металлический электрод 5 пластинчатой формы, установленный параллельно плоскости деформируемого упругого элемента 1 на расстоянии, равном длине поверхностной акустической волны, и электрически соединенный с земляной точкой датчика.

Датчик работает следующим образом.

Под действием измеряемого давления P упругий деформируемый элемент 1 деформируется, что приводит к увеличению времени задержки поверхностной акустической волны. В результате прогиба деформйруемого упругого элемента 1 расстояние между поверхностью распространения поверхностной акустической волны и металлическим электродом 5 уменьшается, в результате чего растет электрическое нагружение поверхности распространения и уменьшается ско741060

Формула изобретения

Составитель А. Новиков

Редактор Г. Мозжечкова Техред К. Шуфрич Корректор Н. Григорук

Заказ 3188/40 Тираж 713 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП <Патент>, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 рость распространения поверхностной акустической волны.

Использование дополнительного электрода, нагружающего поверхность распространения поверхностной акустической волны электрически, позволяет увеличить чувствительность датчика механических величин за счет увеличения времени задержки распространения поверхностной акустической волны.

Датчик механических величин, содержащий деформируемый упругий элемент и размещенные на нем излучающий и приемный преобразователи поверхностных акустических волн, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, он снабжен размещенным между измерительным и приемным преобразователями металлическим электродом, установленным параллельно плоскости деформируемого упругого элемента на расстоянии, равном длине поверхностной акустической волны и электрически соединенным с земляной точкой датчика.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Ruder Т. М. Culln D. Е. Saucher О. А.

Freguency output pressure sensor aased on

an application of surface acoustic wave techпо1оду SAS Prepr, 1976, № 760093, р. 9.