Дозатор жидкости

Дозатор жидкости

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Сове тсиик

Социалистические .Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< > 742711 (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 0 7.03.78 (2l ) 2588086/18-10 (51)M. Кл., G 01 F 11/00 с присоединением заявки .%—

Гесударстеенный кемнтет (23) Приоритет—

Опубликовано 2g 06.80. Бюллетень,% 23

Дата опубликования описания 27.06,80

Qo делан нзобретеннй н открытнй (53) УДК 681.26 (088. 8) (72) Авторы изобретения

Н. И. Никулин и В. H. Комаров (71) Заявитель (54) ДОЗАТОР ЖИДКОСТ И

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для дозирования фоторезиста в устройствах для нанесения светочувствительного покрытия на полупроводнико5 вые пластины и фотошаблоны.

Известны дозаторы жидкости, содержашие корпус с подпружиненным поршнем и каналами подвода и выпуска, снабженными обратными клапанами, и приводом, а также установленной на валу привода крыльчаткой, расположенной в нижней части корпуса, причем поршень выполнен с выемкой под крыльчатку и подвижно ус,тановлен на жестко укрепленной в- центре корпуса вертикальной втулке, выполненной с центральным каналом, соединенным с каналами: подвода и выпуска, при этом сквозь него свободно пропущен вал привода, (lj

Однако этот дозатор имеет сложную конструкцию и не исключает засорения подводящего (впускного) канала. Кроме того, недостатком этого дозатора является то, что после окончания цикла выдачи дозы происходит падение капель дозируемой жидкости из выпускного штуцера вследствие того, что часть дозируемой жидкости остается в рабочей камере корпуса и в выпускном;штупере., Наиболее близким к заявляемому по технической сущности и достигаемому результату является дозатор жидкости,. содержащий корпус с рабочей камерой, or деленной от источника давления гибкой разделительной мембраной, магистраль подачи давления, впускной клапан и выпускной канал с запорным клапаном в виде подпружиненной мембраны. На разделительной мембране закреплен дополнительный шток, пропущенный сквозь мем-. брану и установленный с зазором между его торцом и подпружиненной мембраной на выходе (2)

Недостатком этого дозатора является то, что в процессе эксплуатации проиоходит засорение впускного канала abmaдающими в осадок частицами, вследствие чего нарушается точность дозировения, а также происходит черезмерная деформация разделительной мембраны, что, наряду с нарушением точности дозирования, ведет к нарушению нормальной работы дозатора и к его поломке.

Белью изобретения является устранение отмеченных недостатков.

Поставленная цель достигается тем, что дозатор снабжен дополнительной ка- у0 мерой, соединенной с впускным каналом и сообщенной с рабочей камерой посредством клапана, запорный элемент которого закреплен на штоке разделительной мембраны и установлен в дополнительной камере.

А также тем, что запорный элемент клапана выполнен в виде эластичного полого корпуса, армированного пластинчатыми пружинами.

Сущность изобретения поясняется чертежами, где не фиг. 1 изображен дозатор жидкости в разрезе; на фиг. 2 — запорный элемент клапана в разрезе, на фиг. 3-.

25 развез A A на фиг. 2. Дозатор жидкости содержит корпус 1, крышку 2, крышку 3 со штуцером 4, разделительную мембрану 5 со штоком 6, выпускной канал

7 и впускной канал 8, соединенныи с

30 емкостью 9 для дозируемой жидкости. Емкость 9 снабжена штуцером 10 для соединения с магистралью подачи давления„На штоке 6 закреплен выполненный в виде эластичного полого конуса запорный эле35 мент 11, армированный пластинчатыми пружинами 12 (см. фиг. 2 и 3), который вместе с пружиной 13 и посадочным гнездом 14, выполненным в перегородке корпуса 1, образует клапан, при помощи

40 которого дополнительная камера А, образованная корпусом 1 и крышкой 2, сообщается с рабочей камерой Б, образованной корпусом 1 и разделительной мембраной 5, Крышка 3 и разделительная мембрана 5 образуют камеру В, которая при помощи штуцера 4 соединяется с магистрелью подачи давления, Впускной канал 8 снабжен насадкой 15 с капиплярными отверстиями 16.

Дозатор жидкости работает следующим образом.

Перед началом работы камеры A u

Б заполняют дозируемой х идкостью. Дпя этого в камеру В через штуцер 4 пода55 ют сжатый воздух, а в емкость 9 через штуцер 10 подают под давлением инертный газ или осушенный и очищенный воздух (в зависимости от требований техно11 ф логического процесса). При пода и. gABпения в камеру В разделительная мембрана 5 со штоком 6 и запорным элементом 11 перемещается влево (по чертежу) и дозируемея жидкость, поступающая под давлением из емкости 9, через впускной канал 8. заполняет кемеры А, Б и hbrпускной канал 7. После того, кек жидкость потечет из выпускного канала 7, подачу сжатого воздуха в камеру В прек— решают и соединяют ее с атмосферой.

Под действием пружины 13 разделительная мембрана 5 возвращается в исходное положение, а запорный элемент 11перекрывеет отверстие 14 в перегородке корпуса 1. Затем осуществляется непосредственное дозирование.

При подаче через штуцер 4 пневмс» импульса в камеру В разделительная мемб. рана 5 вместе со штоком и закрепленным на нем запорным элементом 11 перемещается влево (по чертежу). При этом под действием перемещающегося запорного элемента 11 жидкость из камеры А вытесняется во впускной канал 8 и промывает капиплярные отверстия 16, выполненные в насадке 15, от прилипших частиц осадка, Под действием давления инертного газа, подаваемого в емкость 9 через штуцер 10, жидкость из емкости 9 через капиллярные отверстия 16 в насадке

15 подается в дополнительную емкость

A n далее через отверстие 14, выполненное в перегородке корпуса l, поступает в камеру Б и из нее вытесняется через вы.пускной канал 7 в тару. После выдачи определенной дозы, величине которой при заданных проходных сечениях впускного и выпускного каналов и при определенном постоянном давлении инертного газа в емкости 9 определяется длительностью пневмоимпульса, подаваемого в камеру В, подача сжатого воздуха в камеру В прекращается и она соединяется с атмосферой.

Под действием пружины 13 разделительная мембрана с закрепленными на ней штоком 6 и запорным элементом 11 возвращается в исходное положение. В момент касания кони ческой поверхностью запорного клапана 11 посадочного гнезде отверстия 14 выдача дозы прекращается.

При дальнейшем перемещении разделительной мембраны 5 вправо (по чертежу) эластичный запорный элемент 11 деформирует ся и перемещение разделительной мембраны 5 продолжается до тех пор, пока торец цилиндрической части эластичного элементе

11 не упрется в перегородку корпусе 1.

5 7427

За счет этого дополнительного перемещения разделительной мембраны 5 вправо (по чертежу) объем рабочей камеры Б увеличивается, благодаря чему происходит подсасывание дозируемой жидкости из выпускного канала 7. Дополнительный ход разделительной мембраны 5 регулируе т ся таким образом, чтобы при ее обратном ходе обеспечивалось подсасывание дозируемой жидкости в выпускном канале 7 на 10

0,5-1 см от его выходного конца. Для последующей выдачи дозы жидкости в камеру В снова подают пневмоимпульс заданной длительности, и пикл повторяется.

Дозатор предотвращает засорение 35 впускного канала выпадающими в осадок частипами, за счет чего повышается точность дозирования и сокращается рабочее время, необходимое на выполнение профилактических работ по промывке впуск- 2о ного канала дозатора, Кроме того, конструкция дозатора полностью исключает падение капель дозируемой жидкости из выпускного канала,так как остатки жидкости, находящейся в выпускном канале, подсасываются при дополнительном обратном ходе разделительной мембраны и удерживаются в нем атмосферным давлением.

11 6

Формула изобретения

1. Дозатор жидкости, содержащий корпус с рабочей камерой, отделенной от источника давления гибкой разделительной мембраной со штоком, магистраль подачи давления, впускной и выпускной каналы,отли чающи йся тем, что, с целью повышения точности дозирования и сокращения рабочего временй, он снабжен дополнительной камерой, соединенной с впускным каналом и сообщенной с рабочей камерой посредством клапана запорный элемент которого закреплен на штоке разделительной мембраны и установлен в дополнительной камере.

2. Дозатор жидкости по п. 1, о т— л и ч а ю шийся тем, что. запорный элемент клапана выполнен в виде эластичного полого конуса, армированного пластинчатыми пружинами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

¹ 550532, кл. Я 01 F 13100, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

¹ 574618, кл. G 01 Е 11/00, 1976 (прототи и) .

742711

4-4

Фю,У

Составитель Б. Розовская

Редактор Н. Катаманина Техред H. Бабурка Корректор И. Муска

Заказ 3449/36 . Тираж 801 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4