Способ изготовления контактной рамки с выводами

Способ изготовления контактной рамки с выводами

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

O ll И С A Н И Е 743080

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических республик (61 ) Дополнительное к а вт. с вид-ву (22) Заявлено 03.03.78, (21) 2588476/18.21 с присоединением заявки М (5! )М. Кл .

Н 01 L 21/88

Государстввнный комитет (23) Приоритет

Опубликовано 25.06.80, Бюллетень Ля 23 (53) УДK 621.815. .684 (088,8) по долам изобретений и открытий

Дата опубликования описания 25.06.80 (72) Авторы изобретения

В. П Янович, О. В. Якубович, О. К. Твердов и В. В. Афанасьев (7!) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНТАКТНОЙ

РАМКИ С ВЫВОДАМИ

Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к производству контактных рамок для сборки полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известен способ изготовления контактных рамок с выводами, включающий операции формирования рисунка выводов контактной рамки в однослойной металлической ленте и последующее травление ленты t1) .

Недостатком известного способа изготовления

1О контактных рамок в однослойной металлической ленте является невозможность осуществления контроля полупроводниковых. приборов в процессе.сборки и как.следствие невозможность использов его цри сборке дорогостоящ 15 приборов, требующих контроля в тот момент, когда созданы все внутренние присоединения.

Цель изобретения — возможность контроля полупроводниковых приборов в процессе сборки.

Это достигается тем, что в способе изготовления контактной рамки с выводами для присоединения полупроводниковых приборов, вклю. чающем операции фоомирования рисунка вьт2 водов контактной рамки в однослойной металлической ленте, в местах оснований выводов формируют канавку по замкнутому контуру рисунка, после чего ее заполняют диэлектриком с последующим травлением металлической ленты в зоне размещения выводов.

Способ изготовления контактных рамок с выводами заключается в следующем. В однослойной металлической ленте 1(см. фиг. 1) одновременно с основным рисунком выводов контактной рамки 2 в местах оснований выводов формируют канавку 3 по замкнутому контуру, глубиной не менее глубины основного рисунка выводов контактной рамки, после чего ee заполняют диэлектриком 4 (см. фиг. 2), производят его сушку и травят металлиЧескую . ленту в растворе травителя в зоне размещения выводов до исчезновения материала ленты между выводами (см. фиг. 3) . Затем контактную рамку с выводами передают на операцию сборки полупроводниковых приборов с последующим контролем (см. фиг. 4).

Пример . Для изготовления контактных рамок с изолированными выводами используют

3 743080 алюминиевую и медную ленты толщиной 100 мкм.

Методом чеканки одновременно с основным рисунком вЬщодов контактной рамки в местах оснований выводов формуют канавку по замкнутому контуру глубиной 60 мкм. После чего канавку заливают полиимидным лаком и производят сушку при 250-300 С в течение

1,5 ч. Затем металлическую однослойную травят в растворе травителя в зоне размещения выводов до исчезновения материала ленты меж 1р ду выводами. После чего полученную контактную рамку с выводами передают на операцию сборки полупроводниковых приборов с последующим контролем.

Формула изобретения °

Способ изготовления контактной рамки с выводами для присоединения полупроводнико4 вых приборов, включающий операции формирования рисунка выводов контактной рамки в однослойной металлической ленте и последующее травление ленты, о т л и ч а ю щ и -й с я тем, что, с целью обеспечения возможности контроля полупроводниковых приборов в процессе сборки, в местах оснований выводов формируют канавку по замкнутому контуру рисунка, после чего ее заполняют диэлектриком с последующим травлением металлической ленты в зоне размещения выводов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР У 384160, кл. Н 01 L 21/306, 1973 (прототип) .

743080

Составитель Т. Баранова

Техред Н.Ковалева

Корректор, М. Вигула

Редактор В. Фельдман

Заказ 3477/46

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Тираж 844 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5