Устройство для перемещения

Устройство для перемещения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О Il И С А Н И E ()744211

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски к

Социалистическик

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 08.06.77 (21) 2513409/22-02 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51) М. Кл. 2

F 27 D 3/00

Гооударотвеннмй комитет

СССР (53) УДК 621.783, .077 (088.8) Опубликовано 30.06.80. Бюллетень №24

Дата опубликования описания 10.07.80 по делам изобретений н открытий

М. И. Пашков, А. П. Якубов, Н. К. Любина, Г. И. Веряскин и Ю. Я. Махно (?2) А вторы изобретения (7I) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности и может быть использовано для подачи с заданной скоростьк лодочки с пластинами из полупроводникового материала на операциях термодиффузионной обработки в диффузионных печах.

Известно устройство для перемещения, содержа щее при вод, корпус, направляющие. каретку с кварцевым стержнем (1).

Известно также устройство для перемещения, содержащее корпус и размещенные в нем направляющие, приводную каретку, ро. лики которой жестко установлены на осях и охватывают направляющие (2).

Недостатком устройств является возможность поперечных колебаний и поворота стержня с лодочкой вокруг оси стержня изза чего пластины рассыпаются в трубе. Лодочка и стержень соединены между собой неразъемно, образуя при этом громоздкую конструкцию, которая создает трудности при изготовлении, например, на операции химобработки, а также при установке в направляющие.

Цель изобретения — исключение поперечных колебаний каретки при перемеще2

11оставленная цель достигается тем, что каретка выполнена из двуx разъемных в ((ризонта IbHOH плоскости частей, поджатьl друг к другу пръжинами, причем (а(Tь p()1(lков установлена с возможностью переме(це ния вдоль оси на втулках.

На фиг. схематически изображено уст ройство для перемещения, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сверху, фиг. 3 -- вид А на фиг. 1; на фиг. 4 — разрез Б-Б на фиг. 2; на фиг. 5 — вид В на фиг. 4; на фиг. 6— разрез Г-Г на фиг. 4.

Устройство для перемещения лодочки I с пластинами из полупроводникового материала в реакционной трубе 2 диффузионной печи смонтировано в корпусе 3, в котором по двум круглым направляющим 4 на роликах перемешается каретка 5, несу(цая кварцевый стержень 6 с крючком на конце для удерживания лодочки 1 при транспортировке.

Привод каретки 5 состоит из электродвигателя 7 постоянного тока и с регулируемой скоростью вращения вала, редуктора 8, ((а

Выходном вал1 которого зак1)еп,1E ll ((ара. бан 9 с винтовои канавкой, каната lÎ. намотанного на барабан 9, концы которого псреh II II » Гь! чс !)(»1 б, !o hit 1 и зс(к()е1!.1еп(>1 Il(l кс1р(! K(") (. по»(оцц>к) вд, I II KoB 1 2. с) ill!i II.I ОлОКОВ 11 Вра!и(!ется и(! Оси Ъ в h!)olill(T(пне 14, а другой --- на phlчаге !5, закренл Illlot(I !Ка Оси 16 в кронштейне 14, прикрепленном к концевой стенке корпуса 3.

Пружина 17 сл» жит для натяжения каната

10 на блоках ll. На горизонтальной планке корпуса 3 установлены концевые выключатели 18 с толкателячи 19. Валик 20 предназ начен для подъема кварцевого стержня 6, который удерживается в отверстиях кронштейнов 21, установленных на концевых стен ках корпуса 3 с помощью заштифтовки с маховичком 22 и кольцом 23.

Направляющие 4 изготовлены из калиброванной круглой стали, имеют с одного конца две диаметрально расположенные канавки, а с другого — резьбу, вставлены в отверстия концевых стенок корпуса 3 и натянуты с почошью планки 24 гайками 25. Отверстие в планке 24 предназначено для установки в пазы планки концов направляю5 о

1т

zo щих 4.

Kàð(TKà 5 перемещается по направляющим 4 на восьми роликах, в ободах 26 которых выполнены полукрутлые канавки Ilc форме профиля 1 аправляюших 4 и состоит из дву» частей. Четыре верхних ролика посажены на ося» 27, закрепленных в нижнем корпусе 30 карегки. Винты 31 закреплены в

Kop(lv(. 30 и в»одят в отверстия верхнего корпуса 28. Между головками винтов 3! и уступами отверстий в Вер»нем корпусе 28 зР каретки поче(цены пружины 32, которые прижич(>к)! Ободы 26 роликов к направляюшим

4, ес>моуетанавливая р(>лики па направляюIЦ!1»

Рыча! 33 закреli,iëi на Оси 34 в (133» нижнего корпуса 50 i ) (åðæèâàåòo)I в го35 ризо(г!ал!.но)! пог!Осксi!!ill пружиной 35, прикрепленной к рычаг», 5;3 с помощью заклепки 36. Ролики 37 врапгаются на осях 38 рычага,33 и предназ!Ка I!hi для остановки в крайни» положсния» каретки 5 при пажа- 4р тии ими толкателей 19 к(п(цевых выключателей 18 и Отклк)".ением электродвп! ателя 7.

Рычаги 39 закреплены на осях в пазах кронштейнов 40 и 41, установленных на верхнем корпусе 28 и своими уступами с помощью прчжпны 42 удерживак)т за цапфы дер- 4 жатель кварцевого стержня 6. Держатель представляет собой хомутик 43 с двучя цапфачи, в котором крепится кварцевый стержень 6 с помощью ползуна 44 и винта 45 е контргайкой. Штифты 46 в хомутике 43 служат направляю!цими для ползуна 44.

Ч-образный толкатель 47 расположен в кронштейне 48 и опирается на кулачок 49, который может скользить по валику 20. !!!нонка 50 своим выступом входит в паз кулачка 49 и перемешается вместе с ним по

Ва !ику 20 при перемещении каретки, цепляясь выступом за стенки кронштейна 48.

Кварцевый стержень 6, удерживаясь цапфами хомутика 43 в пазах кронштейнов 40 н 41, olIIIp >ется на толка(ель и. IloHo1)(ТОМ Всl.! 1! Ксl 20 (Ку 13 × ÊO.,I 49, Ч(»КС Т ВВОДИТЬСя В ШцЕ!(Л(1111(С ЛОдо(КОй д.!я I р;!ПСПОртп

Р О В а и И Я и . I I! и Ы ВОДИ Т Ь Е и (t .I 3 с! Ц Е П. I (II I I )I .

Внешняя часть 26 роликов к;>ретки вы полнена с полукруглычи канавками, котоРЫМИ РОЛИКИ СОПРИkае;)ЮT(.ß С НсlПРdI)ËßÞшими 4 во время персмещения каретки, а внутренняя часть имеег б»ргик.

Каждый обод 26 посажен на два шарикоподшипника 51. Шарикоподшипники вер»них роликов с одной стороны каретки внутренними обоймами посажены на цапфы осей

27 неподвижно. Шайбы 52, входя в кольце вую канавку на цапфах осей 27, иск.!ючают осевое перемещение шарикоподшипников с ободом 26 вдоль осей. Шарикоподшипники остальных роликов внутренними обоймами посажены на втулки 53, имеющие буртик с пазом с одного конца, и закреплены на втул ках развальцовкой второго конца. Ме)(у внутренними обоймами шарикоподшипник >в каждого ролика установлены распорные кольца 54, ширина которых равна шири;!е буртика в ободе 26 ролика.

На осях 27 с одного конца, а на осях 29 с обоих концов, сняты лыски параллельно дру( другу, которыми оси входят в пазы втулок

53, с целью исключения вращения втулок 53 с внутренними обоймами шарикоподшипников. Между торцом и дном вт»лок 53 и соответствующими торцами осей 27 и 29 установлен одинаковый зазор, который позволяет в(улкам 53 (в целом роликам) перемещаться вдоль цапф осей 27, 29 с целью компенсации непараллельности направляющих

4, так как при движении каретки под действием пружин 32 ободы 26 роликов до.!жны с3моустанавливаться на направляющих 4 и полукруглыми канавками катиться 110 ним без зазора.

Устройство работает следующим образом.

Лодочка 1 с пластинами из полупроводникового материала устанавливается на позицию загрузки и поворотом валика 20 крючок стержня 6 вводится в зацепление с 10дочкой l. Включается в сеть электродвигатель 7, который через муфту приводит во вращение барабан 9 на выходном валу редуктора 8.

Канат 10, перематываясь на барабане 9, приводит в движение каретку 5, которая двигаясь на роликах по направляющим 4, с помощью кварцевого стержня 6 перемещает лодочку 1 в рабочую зону диффузионной печи. В момент достижепия лодочкой 1 рабочей зоны печи ролик:37 нажимает на толкатель 19 кольцевого выключателя 18 и электродвигатель 7 останавливается. ! lоворотом валика 20 через кулачок 49

II толкате.!ь 47 KploMQK кварцевого стержня

6 выводится и(зацепления с лодочкой 1.

Включается в сеть электродвигатель 7, ко торый сообщает обратное вращение бараба ну 9 редуктора 8. При этом каретка 5 с(> стержнем 6 отводится в исходное положение.

7 1 I!

5 где электродвигатель 7 отключается при нажатии ролика 37 на толкатель 19 исходного выключателя 18. Для выгрузки лодочки 1 из рабочей зоны печи каретка 5 подводится в переднее положение, крючок вводится в зацепление с лодочкой и производится транспортировка лодочки 1 в обратном направлении на позицию загрузки.

В устройстве для перемещения конструкция каретки, роликов и осей выполнена так, что ролики, охватывая канавками направляющие по профилю, могчт, самоустанавли10 ваясь на направляющих, катиться по ним, даже при значительном отклонении от параллельности. При этом, чем сильнее натянуты направляющие, тем меньше будет отклонение от параллельности. Предлагаемая конструкция обеспечивает надежность рабо- ss ты устройства, исключает возможность поворота стержня вокруг своей оси и переворота лодочки с пластинами, позволяет плавно перемещать лодочку с пластинами в диффузионной трубе. ь

Ф< рму.lU нзибрс г«нп l ,устройство для п«р«м«нц IH, «одержагце«корпус и размегц«нные .; ием направляющие, приводную кар«тку, !»лики которой жестко установлены на осях и oxBHTblBdK)T направляющие, отличающееся i«x<, что, с целью исключения поперечных колебаний каретки при перемещении, каретка выполнена из двуx разъемных в горизонтальной и;нгскости;астей, поджатых друг к другу пружинами, причем часть роликов установлена с возможностью перемещения вдоль оси на втулках.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент СШЛ № 3705714. кл. F 27 5/00.

1972.

2. Патент Японик № 48-42380, кл. Н Ol 7/00, 1973.

74421!

52

29

Составитель А. Позняк

Редактор Е. Дорошенко Техред К. Шуфрич Корректор М. Вигула .".аказ 3780/7 Тираж 67! Подписное

lf НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Рау шская наб., д. 4/5

Филиал ППГ! «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4