Электродуговой испаритель металлов
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Рвснублик
<и17451 89
4
«.1
К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕПЬСТВУ (61) Дополнительное к ввт. свид-ву (В 307666 (22) Заявлено 0106.78 (21) 2624698/18-21 с присоединением заявки йо(511м. К,.з
Государственный комитет
СССР по делам изобретений н открытий
С 23 С 13/12 (23) Приоритет—
Опубликовано 15.10.81. Бюллетень Й9 38 (53) УДЫ бг1. 793. .14.022. . 51 (088. 8) Дата опубликования описания 15.10.81 (72) Авторы изобретения
Л.П.Саблев, P.È.Ñòóïàê и Е.Г.Гольдинер (71) Заявитель
I (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ
Изобретение относится к технике нанесения металлических покрытий в ! вакууме и может быть использовано в общем и химическом машиностроении, радиоэлектронике и других областях науки и техники, использующих металлические пленки.
По основному авт.св. Ó 30?666 известен электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус, поджигаю- 10 щий электрод и анод, причем последний снабжен соленоидом, расположенным снаружи выполненного из немагнитного материала корпуса, внутри которого коаксиально расположен катод. " 15
Однако такое устройство имеет не.большой коэффициент использования материала катода.
Цель изобретения - увеличение коэффициента материала катода. 20
Для этого в электродуговом испа- рителе металлов, содержащем корпус, поджигающий электрод и анод, снабженный расположенным снаружи выполнен- . ного из немагнитного материала корпу- 25 са, внутри которого касательно рас:положен катод, последний .снабжен обечайкой, размещенной на егб нерабочей поверхности и выполненной иэ материала катода. 3 0
2 на чертеже, представлена конструк ция предлагаемого электродугового испарителя.
Он состоит иэ KopIIvcR 1,катода
2, поджигающего электрода 3, анода 4, соленоида 5 и обечайки .6.
Устройство работает следующим образом.
Назначение соленоида 5- удержи. вать катодные пятна на поверхности испарения катода. Однако катодные .пятна, хаотически перемещаясь по поверхности испарения, забегают на боковую поверхность катода 2 на рас.стояние 20-45 мм в зависимости,.от тока дуги. Магнитные силовые линии соленоида образуЮт острый угол с боковой поверхйостью катода, поэтому катодные пятна выталкиваются на по- верхность испарения. когда толщина катода достигает величины меньше
20 мм, катодные пятна попадают на торец, противоположный .поверхностй испарения.
К торцу катода 2 со стороны, противоположной поверхности испарения, укреплена металлическая обечайка 6 длиной 20-45 мм, являющаяся продолжением боковой поверхности катода 2.
;Длина .обечайки 6 определена экспери4
745189
Формула изобретения
3 ментально иэ расстояния, на которое забеГают катодные пятна, на боковую поверхность катода 2 при различных токах дуги и величины магнитного поля соленоида Si Установка обечайки 6 эаподлицо с боковой поверхностью катода 2 исключает погасание дуги на
Ьтыке ее с катодом. Обечайку 6 целесообразно изготавливать из лйстовоГо материала толщиной 1-2 мм. Для исключения загрязнения металлического покрытия металл обечайки должен быть
"идентичен металлу испаряемого катода
2 ° Катод с обечайкой горит стабильно и может быть испарен.практически полностью. Толщина 1-2 мм неиспаренного катода определяется креплением обе-. чайки 6.
Применение обечайки позволило значительно увеличить коэффициент исйольвованйя испаряемого .металла. Например, в испарителе катод с диаметром 100 мм, толщиной 60 мм из Т.
1 беэ обечайки прекращает стабильно работать при толщине 20-25 мм, т.е. используется 60% запаса металла, при наличии обечайки шириной 25 мм толщина неиспаренного катода 2 мм, т.е. используется 95% металла. Таким образом, на каждом катоде из Т можно сэкономить 700 г, а иэ Mo - 1,5 кг.
Электродуговой испаритель металлов по авт.св. Р 307666, о т л и
35 ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения козффициейта использования материала катода, катод снабжен обечайкой, размещенной на его нерабочей поверхности и выполненной из щ материала катода.
Составитель Л. Беспалова
Редактор Е. Месропова Техред Ж-. Кастелевич Корректор В.Синицкая
° М 4i МФЙЮФМ 96 ь Г
1, Заказ 9188/37 Тираж 1051 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
1 I филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4