Слоистое изделие

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

747433

При использовании плоского магнетрона в камере в качестве источника тока напряжение может варьироваться в пределах от 300 до 1000 В, а сила тока может достигать величины 10 А, в зависимости от заданной скорости отложения и размера электрода.

Сначала включается медный электрод, чтобы начать напыление меди на основание,которое продолжается до тех пор, пока не получат на основании тонкий слой меди примерно 25-50 Х.

Затем подача тока на медный электрод прекращается и включается в работу хромоникелевый электрод для напыления слоя сплава нужной толщины, обычно в пределах от 200 до 400 А. В том 15 случае, когда требуется нанести полимерное покрытие поверх слоя из хромоникелевого сплава, можно нанести третий слой также из меди поверх слоя из хромоникелевого сплава, чтобы 20 обеспечить наличие тонкого медного слоя по поверхности раздела между металлом и полимерным покрытием.

Тонкие медные пленки обладают отличными свойствами сцепления с 25 полимерными основаниями, особенно с виниловыми. Хроме того, медные пленки хорошо сцепляются с покрытиями из хромоникелевогo сплава и полимерными покрытиями, особенно с покрытиями из стирольного полимера.

Медь можно напылять одновременно с хромоникелевым сплавом в такой же вакуумной камере, при этом следует использовать электрод из хромоникелевого сплава, в котором имеется чистая медь, вставленная в сделанные для этого в электроде вырезы. Размер и расположение меди в электроде выбираются из расчета создания на основании нужного покровного слоя. Затем 40 на электрод из сплава и меди годается =o;„. для выполнения операции распыления, которая продолжается до получения на основании слоя толщиной примерно в пределах от 200 до 400 А., Хак показала электронная спектроскопия применительно к химическому анализу, между содержащим медь покровным слоем и/или полимерным основанием или покрытием химического сцепления не существует.

Ниже приведены примеры, иллюстрируЮщие изобретение, но не ограничивающие его, причем в примерах все части и проценты приведены весовые. Пример 1. В вакуумную камеру помещают два работающих от плоского магнетрона распыляемых электрода: один из меди, а другой из "Инконел600", представляющий собой сплав, содержащий 76,8+ЗЪ никеля, 13,8+ЗЪ ф() хрома и 8,5+2о- железа (плюс небольшое количество примесей). Размер обоих катодов 20,95 х 9,04 см. Поверх электродов на расстоянии примерно пЯ »» -»т и.1». пгтпяс 1;1ияякл пиниловый .видеодиск диаметро, 30,48 см и вращают его co скоростью 40 об/мин.

Далее камеру вакуумируют -o раз— режения 3х10 Т, после чего в камеру подают аргон, доводя давление в камере примерно до 15 мТ. Затем на медный электрод подают напряжение

360 B при си.л е т— о.к а 0,,3 А. B этих условиях зарегистрировано, что скорость отложения в пределах от 80 до 100 A/ìèí. Отложение меди продолжают примерно 30 с или до получения слоя толщиной примерно 50 А, после .чего электрод отключают.

Затем включают электрод из

"Инконел-600", подав на него напряжение 650 В с силой тока 1,5 что обеспечивает отложение материала электрода со скоростью в пределах примерно от 330 до 400 А/мин.

Этот процесс продолжают примерно

30 с или до тех пор, пока не получат слой толщиной примерно 200 А, после чего электрод отключают .

По другому варианту производят реактивацию медного электрода, чтобы нанести другой слой меди толщиной примерно 50 А поверх слоя из

"Инконел-600".

Металлическое покрытие испытывают на прочность сцепления с основанием, помещая изделие на 120 ч при температуре 90 F (32 С) и относительной влажности 90Ъ в воздушную атмосферу с наложением на поверхность изделия тормозной ленты. При снятии тормозной ленты отслоения покровного слоя не обнаружено.

Обычным порядком производят замер напряжения, для чего производят напыление покровного слоя на очень тонкие диски из окиси алюминия с последующим наблюдением за дисками в микроскоп при их сгибании. Испытания показали, что предел прочности на сжатие покрытия из "Инконел-600" толщиной примерно 225 А имеет 30х

«10 дин/см, а трехслойного покрытия диска только 6 - 109 дин/см .

Пример 2. Процесс ведут согласно примеру 1, за исключением того, что напыляющий электрод готовят из

"Инконел-600", s котором сделаны две прорези размером 0,64-15,24 см, при этом одна прорезь на расстоянии

1,225 3,11 см от одной продольной кромки электрода и параллельно последней, а другая на расстоянии

1,245 3,16 см от второй продольной кромки электрода и параллельно последней. В прорезь по ее длине вставляют медный стержень шириной 1/4

0,64 см так, чтобы кромка была заподлицо с поверхностью электрода.

Такие размеры выбраны для того, чтобы центральная линия одного из медных стержней находилась в центре одного распыленного трека в электроде, а другой стержень располагался

747433

Формула изобретения

Составитель Л. Чижова

Техред M. Петко Корректор М. Демчик

Редактор Л. Ушакова

Заказ 3993/57

Тираж 549 Под пис ное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва„ Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r, Ужгород, ул. Проектная,4 на внутренней кромке второго трека в электроде.

Камеру вакуумируют до получения разрежения 3.10 Т и подают в нее аргон, доводя общее давление до

1,5 ° 10 Т. 5

Затем на электрод подают ток 1, 5 А напряжением 650 В, что обеспечивает скорость отложения примерно от 330 до

400 А/мин. Эта операция длится около 30 с или до получения слоя толщиной примерно 200

Полученное таким образом металлическое покрытие подвергают испытанию на прочность сцепления с основанием, используя для этой цели тормозную ленту, как в примере 1. При удалении ленты нарушения покрытия не обнаружено.

Предел прочности на сжатие полученного металлического покрытия, измеренный по примеру 1, 5 10 з дин/см 20

Покрытый металлом виниловый диск, приготовленный пр примеру 1 (второй вариант) или по примеру 2,покрывают полимером стирола следующим образом. Вакуумную камеру, оборудо- 25 ванную, как указано выше, вакуумируют примерно до 3 10 Т,после чего в нее подают азот, доводя давление примерно до 8 ° 10 Т.Затем в камеру вводят мономерный стирол, доводя давление 30 в камере до 13 10 — 15.10 Т.

Покрытый металлом диск подвешивают над плоским магнетроном на расстоянии примерно 5,08 см, имеющим электрод размером 8,9> 17,8 см,причем укаэанный З5 источник энергии создает напряжение

680 В при частоте тока примерно 10 кГц.

Подачу тока производят в течение 30 с, и диск опускают на уровень электрода, сообщая ему скорость вращения примерно 40 об/мин в течение 2 мин, чтобы обеспечить получение покрытия из полимера стирола толщиной примерно 350 А.

Предел прочности на сжатие полученного покрытия 3.10з дин/см..

1. Слоистое изделие, содержащее полимерную подложку, слой меди и слой хромоникелевого сплава, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения адгезии между слоями, полимерная подложка выполнена иэ винилового полимера, слой меди взят толщиной 25-50 А и слой хромоникелевого сплава толщиной 200-400 K содержит, вес.Ъ:

Никель 65-80

Хром 10-30

Железо Остальное

2. Слоистое изделие, по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что слой хромоникелевого сплава дополнительно облицован слоем меди толщиной 25-30 А и пленкой иэ полистирола.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. а meta(0 izzazion de00e

materie ptastiche, "Ca0 апо tecniса", 1973, 24, М 4, р. 68-71.

2. Crouch P.С. The performance

of p ated ABS — pfastiс during

atmospheric exposure. "Thans. 3 nst.

Иееа8. Fini sh", 1973, 51, 9 3, р. 117-123 (прототип).