Камера для климатических испытаний

Камера для климатических испытаний

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советскик

Социалистические

Республик

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

,747518 (6l ) Дополнительное к авт. с вид-ву (22) Заявлено 1 1.04.78 (21) 2606852/23-26 (5! )М. Кл.

В О!. L 7/02

Н 0 1L 2 1/66

Я 050 23/30 с присоединением заявки J%

Государственный комитет

СССР (23) Приоритет оо делам иаебретеиий и открытий

Опубликовано15.0 80. Бюллетень .% 26

Дата опубликования описания 18.07.80 (53) УДК ф36.584 ° .3 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Белов, Н. А. Золотарев, В. A. Назаров, Л. В. Заичеико, Б. С. Самойлов и В. А. Нейштадт (7() Заявитель (54) КАМЕРА ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ

ИСПЫТАНИЙ

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и может быть использовано при испытаниях интегральных микросхем на воздействие крайних температур.

Известна камера для климатических испытаний, содержащая термостат, накопитель барабанного типа, устройства загрузки-выгрузки и контактирующее устройство (1) .

Иэделия размещаются на периферии барабанного накопителя, который, совершив один оборот, подает изделия к контактирующему устройству, затем произ15 водится выгрузка их в соответствующую группу.

Недостатком известного устройства является неполное использование полезного объема (термообьема) камеры. Иэделия в накопителях барабанного типа располагаются по внешней образующей барабана, центральный объем камеры остается незаполненным.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является полуавтомат для измерения стабильности и параметров транзисторов, включающий термостат, транспортное устройство для перемещения обрабатываемых образцов, механизм разгрузки, механизм вьп рузки и контактирующее устройство I2j .

Работает известное устройство следующим образом.

Иэделия ориентированно загружаются в механизм загрузки, передающий их на винтовую направляющую в зону нагрева термостата. Винтовая направляющая выполнена по внутренней образующей корпуса термостата Ротор термостата перемещает изделия по винтовой направляющей в течение заданного времени выдержки {30 мин), после чего происходит замер электрических параметров изделий.

Затем они попадают в механизм разгрузки и оттуда в соответствующую проверенным параметрам секцию.

3 74751

К числу недостатков данного полуавтомата относится наличие накопителя барабанного типа, усложняющего в целом конструкцию полуавтомата, Это, в свою очередь, обуславливает неполное жполь5 зование полезного обьема термостата,, а также зависимость цикличности работы полуавтомата от времени выдержки иэделий в термостате.

8 4, хода иэделий с яруса на ярус направление их перемещения меняется на противоположное. Направление противоположного перемещения изделий в рассматриваемой конструкции достигнуто эа счет того, что каждая транспортная пара составлена из винтов с противоположным направлением винтовой нарезки. Противополсаное перемещение изделий на смежных щ>усах осуществляется за счет изменения вращения пары винтов.

С нижней транспортной пары иэделие 8 попадает в механизм 6 перемещения, который сначала подключает его к контактирующему устройству 7, а затем подает в механизм 4 выл рузки, где иэделие выгружается в соответствующую измеренным параметрам группу.

Меняя местополо>кения пластин 10 с окнами 11 под каждым ярусом, можно задать любое время выдержки изделий 5 в термостате 1, не изменяя заданную производительность камеры.

Все это взаимосвязано формулой

Р

Т где Р - производительность;

8 — - емкость накопителя;

Т вЂ” время выдержки, 1 а ври |л Шпп>|ла ф =—

Зо

Цель изобретения - повышение произ10 водительности камеры эа счет увеличения степени использования теплового объема.

Поставленная цель достигается тем, что камера снабжена укрепленными по

l5 высоте термостата полками с окнами, на которых раэмешено транспортное устройство, выполненное в виде двух винтов, ФЙ этом с целью обеспечения взаимозаменяемости, полки состоят иэ пластин.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид;на фиг. 2 — транспортное устройство.

Камера для климатических испытаний

25 состоит из термостата 1 с располо>кенным в нем транспортным устройством 2, механизмов загрузки 3 и выгрузки 4 изделий 5, механизма перемещения 8, подающего изделия 5 к контактирующему устройству 7. Транспортное устройство 2 выполнено в виде многоярусной системы попарно располо>кенных винтов 8, установленных на полках, размещенных в направляющих 9, при этом полки выполнены

B виде пластин 10, одна из которых IIon

35 каждым ярусом имеет окно 11, Синхронное вращательное движение каждой пары винтов осуществляется при "помощи зубчатых колес 12.

Работа осуществляется следующим образом, Изделия 5 подаются автоматически механизмом загрузки 3 в верхний ярус транспортного устройства 2, расположен45 ного в термостате 1. Пара винтов 8 верхнего яруса удерживает иэделия 5 в пазах винтовой образующей в ориентированном положении и, синхронно вращаясь с помощью зубчатых колес 12, перемешают иэделия. Изделия 5 удерживают

50 снизу съемными пластинами 10, одна из которых имеет окно 11, достигнув которого изделия 5 падают под действием собственного веса вниз и попадают в пазы

55 винтовой образующей пары винтов 8 низлежащего яруса. Врашаясь синхронно, эта пара винтов перемещает изделия 5 в противоположную сторону, т.е. после переПредлагаемое устройство позволяет разместить в камере в три-четыре раза больше изделий, чем при использовании известных устройств, увеличить степень использования теплового обьема за счет более компактного расположения механизмов, позволяет снизить удельную потребность энергоносителей и увеличить производительность данной камеры по сравнению с существую цими.

Формула изобретения

Камера для климатических испытаний, включающая термостат, транспортное устройство для перемещения обрабатываемых образцов, механизм разгрузки, механизм выгрузки и контактирующее устройство о т л и ч а ю ш а я с я тем, по, с целью повышения производительности камеры за счет увеличения степени использования теплового обьема, она снабжена укрепленными по высоте термостата полками с oKIIGMEI, на которых размещено транспортное устройство, выполненное в виде двух винтов.

2. Камера по и, 1, о личаюш а я с я тем, что, с целью обеспече5 74751 ния взаимозаменяемости, полки выполнены из пластин.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе, 8 6

1. Авторское свиаетельство СССР

% 574016, кл. H 01L 21/66, 1977.

2. Авторское свидетельство СССР

No. 171470, кл. Н 01L 21/66, 1965.

747518

Фиг P аказ 4302/2 Тираж 809 Подписное

ПНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений. и открыл ий

113035, Москва, -35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент" г Ужгород у П

f - 4 ро, ул. роектная, 4

Соствитель О. -чернуха

Редактор Н. Гарват Техред М. Кузьма Корректор М. лароши