Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов

Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕДЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистических

Республик

<1Ц748572

Ф

J (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 11д578 (21) 2614984/18-25 (5 ) +

Государственный комитет

СССР о делам изобретений и открытии с присоединением заявки Мо (23) Приоритет

Н 01 J 9/12

Н 01 J 9/38

Опубликовано 150780. Бюллетень Йо 2б

Дата опубликования описания 1507.80 ($3) Удк 621 ° 385 (088.8) В.N. Финогенов, И.Р. Айибунд, Г.С. Вильдгрубе, Л.Г. Ковнер, Н.Н. Лопатина и A.Ô. Шестак (72) Авторы изобретения (71) 3aявитель (54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ

ПРИБОРОВ

Изобретение относится к электро вакуумной технике, в частности к устройствам для изготовления фото электронных приборов (ФЭП)

Известны устройства для изготовления ФЭП $1), в которых изготовление приборов осуществляется по методу "переноса", заключающемуся в том, что внутри вакуумного объема раздельно обрабатываются части фотоэлектронных приборов, изготовляется фотокатод, а затем производится окончательная сборка прибора при помощи механизмов, установленйых

1 внутри вакуумного объема и управляемых снаружи. Эти устройства имеют вакуумную камеру со средствами откачки и сообщения с атмосферой. ВнуТ-2О ри камеры размещаются заготовка фотокатода и другие части прибора,узел активирования и механизмы для осуществления технологического процесса.

Таким образом, в процессе изготовления прибора в общем объеме проводится вакуумно-термическая обработка частей прибора, затем изготовление фотокатода и окончательная сборка прибора. ЗО

Недостатком указанного устройства (является то, что в общей камере даже при наличии специальных экранов трудно защитить заготовки фотокатодов от воздействия веществ, выделяющихся в процессе вакуумнотермической обработки прочих частей фотоэлектронных приборов. При изготовлении фотокатода пары щелочных металлов осаждаются на частях прибора, что ухудшает параметры узлов и прибора в целом. . Низка производительность труда, так как в рассматриваемых устройствах изготавливается, как правило, один прибор (в ряде случаев — два, три), после чего все устройство должно разгерметизовываться для извлечения готового прибора и загрузки узлов следующего прибора.

Известно устройство для изготовления ФЭП, содержащее основную вакуумную камеру с расположенными в ней поворотной каруселью, и механизмом сочленения узлов прибора, дополнительные вакуумные камеры,рас.положенные напротив позиций карусели, средства вакуумнотермической обработки прибора и уплотнительные

I .элементы, служащие для герметичного

748572 азделения основной и дополнительных

<амер 2 .

Так как и в этом устройстве все засти фотоэлектронного прибора находятся в общей камере, их взаимное излияние при вакуумно-термической обзаботке не исключено. Кроме того, гногократное использование одних и гех же уплотнительных элементов снагала для технологического разделения объемов, а затем для финишной герметизации самого фотоэлектронного прибора снижает его надежность.

Необходимо также отметить, что в известных устройствах не удается обеспечить перепад давления на несколько порядков, желательный при изготовлении ФЭП методом переноса.

Недостатком известного устройства является также и то, что на нем можно изготавливать приборы, расчленяю иеся только на две части. Многие фотоэлектронные приборы обладают

=ложной конструкцией. Отдельные элементы приборов требуют для получения оптимальных характеристик таких режимов вакуумно-термической обработки, которые недопустимы для других элементов и, следовательно, целесообразно расчленение фотоэлектронных приборов на три и более части, каждая из которых подвергается индивидуальной обработке, после чего произвоцится их сочленение.

Цель изобретения — повышение качества и надежности изготавливаемых приборов при одновременном повышении производительности устройства.

Поставленная цель достигается тем, что, устройство снабжено механизмамй вертикального перемещения узлов прибора, расположенными соосно с дополнительными камерами, которые вместе с элементами расположенйя уз-лов прибора неподвижно установлены на днище осйовной вакуумной камеры, причем уплотнительные элементы размещены с возможностью перемещения в дополнительных камерах, а также тем, что дополнительные камеры снабжены средствами сообщения с атмосферой.

С целью упрощения сборки элементы размещения узлов прибора в дополнительных камерах выполнены в виде кассет из Магнитного материала.

Изобретение поясняется чертежом, где изображен общий вид устройства.

На днище основной сборочной камеры 1 неподвижно закреплены дополнительные технологические камеры.

На чертеже для примера изображены две дополнительные камеры: 2 — для изготовления фотокатода и 3 — для обезгаживания экранных дисков. Камеры снабжены общими откачными средствами 4 и 5 (например 4 — цеолитовые насосы и 5 — насос типа

НОРД-100) для предварительной откачки, a также индивидуальнйми для окончательной откачки: насосы 6 (на1 пример, типа НОРД-10) для откачки дополнительных камер (до вакуума порядка 10 — 10 мм рт.ст.) и насосы (например, MPH-150) и 8 (например, сублимационный насос) для откачки основной камеры (до вакуума

10 " — 10 ""мм рт.ст). На трубопроводе 9, соединяющем откачные средства

4 и 5 с камерами 1,2,3„расположены ,О вентили 10, перекрытием которых достигается избирательная откачка определенных камер. В сборочной камере 1 расположен механизм сочленения узлов прибора в виде, например, запрессовщика 11, и средства пере 5 мещения узлов прибора, состоящие из карусели 12 и механизмов вертикального перемещения манипуляторов 13 и 14. Дополнительные камеры 2 и 3 расположены напротив позиций кару20 сели, а механизмы 13 и 14 — соосно, с дополнительными камерами 2 и 3 соответственно. Число манипуляторов равно числу дополнительных камер. Дополнительные камеры снабжены уплотнительными элементами 15 (камера 2) и 16 (камера 3), которые могут перемещаться разделяя или соединяя объемы основной (1) и дополнительных (2,3) камер. На дне дополнительных камер 2 и 3 расположены люки 17 и

18, через которые осуществляется загрузка узлов и выгрузка готового прибора. Для удобства работы механизмы вертикального перемещения снабжены магнитами, а в дополнительных камерах установлены кассеты 19 из магнитного материала.

Йа поворотной карусели 12 имеются отверстие 20, которое совмещается с позициями карусели при ее повороте

40 и через которое могут свободно перемещаться манипуляторы 13 и 14 и кассеты 19, и гнезда 21 для размещения кассет 19 с обработанными частями прибора.

45 устройствО работает следующим об разом (описываемая последовательность является одной из возмозных).

С целью подготовки основной ва50 куумной камеры 1 и проверки работоспособности откачной системы всего устройства средствами 4 и 5 производится предварительная откачка (с прогревом) основной 1 и дополнительных 2,3 камер. Далее с помощью уплотнительных элементов

15, 16 дополнительные камеры 2,3 отсекаются от основной камеры 1 и с помощью индивидуальных средств 7 и

8 откачивается основная камера 1 до

60 . вакуума порядка 10 9 — 10 + мм рт .ст ., а дополнительные камеры 2 и 3 с помощью насосов 6 до вакуума 10 10 8мм рт.ст. На этом заканчивается подготовительный этап и начинается

65 рабочий цикл. После разгерметизации параллельно в камерах 3 ведется обработка других узлов прибора и далее процесс повторяется, как

;описано выше.

Из описания конструкции устройства и его работы видно, что здесь реализуется возможность создания оптимальных режимов обработки от- дельных частей прибора с одновременным исключением взаимного влияния процесса обработки, что повышает качествО изготавливаемых приборов.

Кроме того, размещение в дополни-. тельных технологических камерах партий однотипных частей приборов для их вакуумнотермической обработки значительно сокращает затраты време ни на изготовление одно о прибора.

Выделение для сборки прибора и хранение обработанных узлов основной специальной сборочной камеры, не вскрываемой на атмосферу, обеспечивает возможность получения при сборке прибора сверхвысокого вакуума.

Формула изобретения

1. Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов, содержащее основную вакуумную камеру с

З0 расположенными в ней поворотной каруселью и механизмом сочленения узлов прибора, дополнительные вакуумные камеры, расположенные напротив позиций карусели, средства вакуумнотермической обработки прибора и уплотнительные элементы, служащие для герметичного разделения основной и дополнительных камер, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества и надежности изготавливаемых приборов при одновременном повышении производительности, устройство снабжено механизмами вертикального перемещения узлов прибора расйоложенными соосно с дополнительными камерами, которые вместе с элементами расположения узлов прибора неподвижно установлены на днище основной вакуумной камеры, причем уплотнительные элемеи50 ты размещены с возможностью перемещения в дополнительных камерах.

2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что дополнительные вакуумные камеры снабжены

55 средствами сообщения с атмосферой.

3. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения сборки, элементы размещения узлов прибора в дополнительных щ камерах выполнены в виде кассет из магнитного материала.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Legoux В, The transfer techg5 nigu6 a new method for activation

5 748572 камеры 3 вскрывается люк 18, узлы прибора в кассетах 19 размещаются в дополнительной камере 3, люк 18 закрывается. После разгерметизации камеры 2 вскрывается люк 17, планшайба фотокатода совместно с испарителями компонентов фотокатода размещается в камере 2 и люк 17 также закрывается. Проводится вакуумно-термическая обработка узлов в камерах 2 и 3 с применением насосов 4, 5 и б.

После ее окончания с помощью уплотнительного элемента 16 камера 3 соединяется с камерой 1, карусель 12 поворачивается до совмещения отверстия 20 с осью дополнительной камеры

3, манипулятор 14 через отверстие 20 вводится в камеру 3, захватывает верхний узел в кассете 19, поднимает его в основную камеру 1, карусель 12 поворачивается до совмещения одного из гнезд 21 с осью манипулятора 14 и захваченный манипулятором узел прибора опускается в гнездо 21. После этого производится снова поворот карусели и перемещение следующего узла из камеры 3 в камеру 1 или же разъединение камер 1 и 3 при помощи уплотнительного элемента 1б. Далее в Камеру 1 переносятся необходимые узлы из других дополнительных камер типа 3, и аналогичным образом с помощью манипулятора 13 переносится из камеры 2 в камеру 1 планшайба фотокатода со сформированным фотокатодом.

При этом узлы, составляющие один прибор, последовательно один эа другим кладутся в необходимом порядке друг на друга на одном и том же гнезде 21 карусели 12. Далее это гнездо 21 поворотом карусели 12 вводится под механизм сочленения

11 и прибор вакуумно плотно герметизируется (например, холодной сваркой непосредственно металлических поверхностей или через индиевую прокладку). После этого карусель 12 поворачивается до совмещения гнезда

21 (с собранным и герметизированным прибором) с осью камеры 2, уплотнительный элемент 15 выводится, соединяя камеры 1 и 2, манипулятор 13 захватывает прибор с гнезда 21, карусель поворачивается до совмещения отверстия 20 с осью манипулятора 13, через это отверстие манипулятор 13 вносит готовый прибор в камеру 2, оставляет его там, манипулятор 13 выводится снова в камеру 1> уплотнительный элемент 15 разъединяет камеры 2 и 1, открывается люк 17, готовый прибор извлекается иэ камеры

2 и в эту камеру загружаются новые испарители и планшайба фотокатода, люк закрывается. Проводится вакуумно-термическая обработка планшай:,бы и формирования фотокатода.

Г

2. Авторское свидетельство ССС

Ь 47бб21, кл. Н 01 J 9/38, 1972 прототип). "Фм . -:. .-: л- -...м:."м

7 . " 748572

cethods of phototebet. "Phi6lps

Technlcet. Review", 1969,, 9 30, 8/9/10, р. 234-235.

Составитель A. Ñåí÷èõèí

Редактор Г. Шибаева Техред И, Петко КорректорЕ. Папп

Заказ 4251/42 Тираж 844 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,4