Центрифуга для нанесения фоторезиста на пластины

Центрифуга для нанесения фоторезиста на пластины

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

751439 кольцевой экран 7, выполнснньш в шще гоф

)ированной сетки, закрепленной при помоди кольца 8. Вращающаяся оправка 3 ус.Яновлена в подшипниках 9, укреплсннь|х в орпусс 1на чертежах не показан}.

Центрифуга работает следующим обра! \ x f

11; астину 4 укладывают на поднятую в ..раннее верхнее положен 1е оправку 8 и

:одключaloT канал 5 к вак,умной сети. Пла Ги:!"; 4 фl1ксирустся На Оправке д, после его Оправ;(а ) оп"c!(BQTcH в крайнее ниж. сс 1...), ожсние. Затем на пластину 4 нано;-т Озу:GTорсзспста в виде капли и вклю:гют = Tc:;.pîrrðHBoä 6. Под дси=твис: цспробстных сил, возника)ощих прп праще

:ип справки 8 с большой скоростью, фото сзист pa теl(acTcH IIB попер lrости и IacTI!

IL Сбрасываемые с НоасрхНосТН обрабаты .Вс.;0v пластины под действием центробеж !

hIx спл излишки фото;езсиста Ilîãëîùàþòñÿ ,.;ря,ом 7. Так как экран 7 выполнен из

î !l)1 l)0!lBH!lo!1 сстк), то IBGTHI;ы фотор— ист; при прохождении через отверстия стк:l тср",þò скорость и осел:.ют на стс1,— (ях сборникя 1 фоторезистя, Откудя Отго;ятся )ерсз штуцер 2 в спс11пальную::.м

:ость на -.сртежах не показано). Если 0Т:.Срстия сетки в месте попа )BH!151 частицы .,юторсзпста окажутся засоренными. то ст)ЯЖСННЬIС ЧЯСТПЦЫ ПОГЛОЩЯЕОТСЯ СОССДНИМ О!1) pr;p0ï :!1! 1ы !i(участком сетки. тя к как трa— ктории пс)ле, :; сбрасываемых с пластины астиц фоторсз) ста 1«1.0лага)отс)! По кассельпой к цилиндрической поверхности .борника 1 фоторсзиста. По ii«T;.сниц оп,еделенного времени электропривод б от.;лючастся, оправка > отключается от вя куумной сети и пластина 4 передается на сл-дующую операцию. Цикл повторяется.

1ь) мсрс засорения отверстий в сеTI(0 кольпс;юго экрана 7 фоторезистом, он вместе с

i:0.H HGì 8 извлекается из сборника 1 фото: аиста и промывается.

Предлагаемая конструкция центрифуги, ля:;!:Cc=-ния фоторсзиста на пласт: ны

1«оп!остью искл!очяет попадание на обрабя

10 сь!,! и .и Т10 пл 11 тину Отраженных От стенок сс)срнпка фоторезиста капель, в то время кяк при нанссснпи фоторез)1ста на центрифуге, принятой за прототип, до 10 /О пласгпи ухо,.ят в бр :к вел -;IGTB:

1 пх 1овсрхность отраженных капель фоторс з:.IcTB. За счет исключения брака Ilo этой причине при 10:lîâîé программе 3 000 000 ";!«THH эконом!1я 0Т использования Одной

Прс:lла !!C. ilOr! HC!1Ã;).11) !;i COCTBI)HÒ 01(0 10

20 1 ..1 0 " 1 . в .го;1. ()ормула изобретения

Цс:птрифуга для нанесения фоторсзиста

2З::а яс,ины, содержащая сборник фотор«з::cTB, установленную внутри него враП1аю пуюся оправку для закрепления пластины с каналом для подвода вакуума и привоя. î"ëè÷àþùàÿñÿ тем,,что, с целью улучшения качества покрытия, в сборнике фоторсзиста концентрично оправке установлс .-:,:(pair, выполненный в виде гофрирован»;;ii сетки.

Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:

1. Авторское св)идетльство СССР

Мо 358019, кл. В 04 В 5 00, 1970.

751439 фиг.1

=.=и г., Сос-: ави —. е.",в С. Ка:ваганова

Редактор H. Спиридонова Те."."ед A. 1ы.винникова Корректор И. Осиновская

Заказ 831/1019 11зд,,", . 2 Тираж 673 Подписное

ЧПО <Поиск» Государе-венного::о:.: —.:-:;, С".C по зе.чам изобоетен ий и открытий

° Г з-.еит>

T;:и.