Устройство для очистки изделий

Устройство для очистки изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

<и)7535ОО

/ ф

«/ г (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 1 001.77 (21) 244б 734/28-12 с присоединением заявки Ко— (51) М. Кл.

В 08 В 3/08

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 070880.Бюллетень М9 29 (53) УДК 621.793.14 (088. 8) Дата опубликования описания 0708.80 (72) Авторы изобретения

Л. И.Гласман, Л. К.Фисенко и Л. Н. Линник (71) Заявитель (54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ: ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ

Изобретение относится к вспомога тельным устройствам. для проведения различных технологических процессов и может быть использовано для очистки подложек в парах органических раст-. ворителей перед нанесением пленок в вакууме.

Известно устройство для очистки изделий, содержащее снабженную нагре- 0 вателем ванну для органического растворителя, держатель изделий и конденсатор для охлаждения отработанных паров (1), Недостаток его — невозможность об ес печить в ысох ое к ач ес тв о очис тк и изделий, необходимое для ряда практических случаев.

Цель изобретения — повышение качества очистки изделий.. 20

Ф Она достигается тем, что устройство, содержащее снабженную нагревателем ванну для органического растворителя, держатель изделий и конденсатор для охлаждения отработанных паров, снабжено герметиэированной камерой и, по меньшей мере одним паропроводом, при. этом ванна размещена внутри камеры, паропровод установлен над ванной, а держатель 30 изделий выполнен кольцевым и размещен у выходного отверстия паропрово да, тарельчатым рассеивателем, рас— положенным между выходным отверстием паропровода и держателем изделий.

На чертеже представлена схема устройства для очистки иэделий.

Устройство содержит нагреватель

1 ванны 2 для органического растворителя, паропровод 3, снабженый тарельчатым рассеивателем 4, расположенным между выходным отверстием паропровода и кольцевым держателем 5 изделий. Конденсатор для охлаждения отработанных паров выполнен в виде рубашки охлаждения герметиэированной . камеры б, в которой размещены асе узлы устройства. Улучшению работы устройства способствует ловушка 7, охлаждаемая, например жидким азотом, Ванна 2 размещена внутри герметизированной камеры б, паропровод 3 установлен над ванной 2, а держатель

5 изделий выполнен кольцевым и размещен у выходного отверстия паропровода 3.

Устройство работает следующим образом.

753500

В устройстве для очистки иэделий, подогреваемым нагревателем 1, закипа,ет органический растворитель, зали-. тый в ванну 2. Пары растворителя, поднимаясь по паропроводу 3, с большой скоростью вылетают около тарельчатого рассеивателя 4 и, в виде направленной струи, попадают на иэделия, укрепленные на кольцевом дер- жателе 5, Очищая изделия, пары конденсируются и загрязненный конденсат стекает по стенкам камеры б в ванну 2. Пары растворителя не могут выйти за пределы камеры б, так как они перехватываются и вымораживаются азотной ловушкой 7, Применение герметиэированной ка- меры, паропровода, кольцевого держателя изделий и их взаимное расположение позволяет существенно повысить качество очистки обрабатываемых изделий.

Повышение качества очистки при этом обеспечивается и тем, что струя пара, вылетая с большой скоростью из паропровода не только химически, но и механически очищает подложки. Кроме того, фракционирующее действие устройства приводит к самоочищению порций пара, выходящих иэ паропро» вода, Использование устройства для очистки подложек в парах органического растворителя показ ало, что выход годных к последующему нанесению пленок в вакууме подложек превышает 95%. о

Формула изобретения

1. Устройство для очистки иэделий, содержащее снабженную нагревателем ванну для органического растворителя, держатель иэделий и конденсатор для охлаждения отработанных паров, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества очистки, оно снабжено герметиэированной ка мерой и, по меньшей мере, одним па-

15 Ропроводом, при этом ванна размещена внутри камеры, паропровод установлен над ванной, а держатель иэделий. выполнен кольцевым и

Размещен у выходного отверстия

Щ паропровода.

2. Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что оно снабжено тарельчатым рассеивателем, расположенньм между выходным отверстием 5 паропровода и держателем иэделий, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Шейхмейстер Е. И, и др., Технологические работы в электровакуум3Р ном производстве, М,, Высшая школа, 1972, с.80-90, 753500

У

Составитель Б. Ярков

Редактор М, Келемеш Техред И. Асталош Корректор И. Муск а

Заказ 5000/1 Тираж б36 Подписное

IJHHHIIA Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул-Проектная,4