Плазменный сорбционный вакуумный насос

Плазменный сорбционный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. ПЛАЗМЕННЫЙ СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с расположенным в нем основным испарителем геттера, подключенным к источнику питания, отличаю .щ и и с я тем, что, с целью предотвращения резкого повышения давления при запуске, внутри корпуса установлен дополнительный испаритель гетте .ра, Подключенный к источнику питания посредством элемента задержки и выполненный из материала с минимальной концентрацией газовых примесей . 2. Насос поп, 1, отличающийся тем, что дополнительный испаритель геттера выполнен из иодидного титана.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

) (i9)SU(Ii) 7

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 2568050/25-06 (22) 06.01.78 (46) 30,01.89. Бюл. В 4 (72) Г.Л. Саксаганскнй, А.Г. Сорокин и С.С. Турченко (53) 621.65(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР У 528386, кл. F 04 В 37/02, 1975. (54)(57) 1, ПЛАЗМЕННЫЙ СОРБЦИОННЫЙ

ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с расположенным в нем основным испарителем геттера, подключенным к источнику питания, о т л и ч а ю—

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известны плазменные сорбционные вакуумные насосы, содержащие корпус с расположенным в нем основным ис) парителем геттера, подключенным к источнику питания.

При запуске известного насоса происходит резкое повышение давления; обусловленное десорбцией газовых примесей из материала геттера и десорбцией с поверхности корпуса ранее поглощенных молекул газов под воздействием сильноточного электрического разряда. .)

Целью настоящего изобретения является предотвращение резкого повышения давления при запуске насоса.

Указанная цель достигается тем, что внутри корпуса установлен дополнительный испаритель геттера, подключенный к источнику питания посредством элемента задержки и выполненный из материала с минимальной (51)4 F 04 В 37/02, Н 01 J- 7/18. шийся тем, что, с целью предотвращения резкого повышения давления при запуске, внутри корпуса установлен дополнительный испаритель геттера, г одключенный к источнику питания посредством элемента задержки и выполненный из материала с минимальной концентрацией газовых примесей.

2, Насос по п, 1, о т л и ч а юшийся тем, что дополнительный испаритель геттера выполнен из иодидного титана.

2 6 концентрацией газовых примесей, и тем, что дополнительный испаритель геттера выполнен из иодидного титана. С, На чертеже схематично показан на- . сос, разрез.

Плазменный сорбционный -вакуумный в,} насос содержит корпус 1 с располо- (д женным в нем основным испарителем 2 00, геттера, подключенным к источнику 3 пйтания. Внутри корпуса 1 установлен дополнительный испаритель 4 геттера, подключенный к источнику 3 питания посредством элемента 5 задержки и выполненный из материала с минимальной концентрацией газовых примесей, например из иодидного титана.

Насос работает следующим образом. . В

В процессе откачки, непосредствен,но перед включением основного испа рителя 2, через элемент 5 задержки включается дополнительный испаритель

4, образующий на корпусе 1 пленку геттера, достаточную для поглощения потока газа из основного испарителя 2.

758812

/ У

Составитель H,Þøèí

Техред Л,Сердюкова

Редактор Н.Сильнягина

Корректор С.Черни

Заказ 758 Тираж 520 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101

По окончании испарения дополнительный испаритель 4 отключается и включается основной испаритель 2, образующий на корпусе 1 пленку гетте5 ра, необходимую для поглощения газового потока из откачиваемого объема.

Использование изобретения позволит на 1,5-2 порядка снизить повышение давления при запуске насоса без применения дополнительных откачных средств.