Катодный блок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительный к патенту (22) Заявлено 260474 (21) 2023934/21 Р )М™»

С 23 С 15/GO (23) Приоритет — (32) 27. 04 ° 73 (31) 20184/73 . (33)Великобритания

Опубликовано 1509.80.Бюллетень Мо 34

Государственный комитет

СССР но делам изобретений и открытий (53) УД!(621. 396..6.181.48 (088.8) Дата опубликования описания 15.09.80

" Ф« (72) Авторы изобретения

Иностранцы

Кеннет Берроуз и Роберт Хискатт (Великобритания) й4Д» Б !

«„-,";)Д Я ;<тли<„ . я

Иностранная фирма

"Триплекс Сейфти Гласс Компани Лимитед" (Великобритания) (71) Заявитель (54) КАТОДНЫЙ БЛОК

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может .найти применение, например, при получении металлоокисных покрытий на различных подложках.

Известен катодный блок преимущественно для устройств для нанесения электропроводящих пленок методом распыления, содержащий металлический катод, многослойный электростатический экран, окружающий катод со всех сторон, за исключением рабочего участка поверхности катода f1) .

Однако этот блок обладает невысокой надежностью работы за счет возникновения электрического пробоя между катодом и электростатическим экраном.

Цель изобретения — повышение надежности работы катода за счет предотвращения воэможности возникновения электрического пробоя между катодом и электростатическим экраном.

», Для этого катодный блок преимущественно для устройств для.нанесения электропроводящих пленок методом распыления, содержащий металлическйй катод, многослойный электростати ческий экран, окружающий катод со всех сторон, за исключением рабоче2

in участка поверхности катода, снабжен трубопроводом, один конец которого введен в зазор между стенками электростатического экрана, а дру5 гой, конец соединен с системой подачи нейтрального газа.

На фиг. 1 приведена схема конструкции катодного блока, на фиг. 2разрез катодного блока, на фиг 3—

10 схема размещения трубопровода и катодных блоков.

Катодный блок преимущественно для устройств для нанесения электропроводящих пленок методом распыления содержит трубопровод 1, один конец которого введен в зазор между стенками 2 и 3, образующими Мнбгослойный электростатический экран, окружающий металлический катод 4

20 со всех сторон, кроме рабочего участка поверхности катода 4. Второй конец трубопровода 1 соединен с системой подачи нейтрального газа.

Катодный блок функционирует сле25 .дукщим образом.

Несколько катодных блоков размещены в вакуумной камере (не показайа) . Трубопровод 1 подсоединен ко всем катодным блокам. Напыление ме30 талла производится на подложку 5, 764619

Формула изобретения

Риа.

ВНИИПИ Заказ 6318/52 Тираж 1074 Подписное

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул . Проектная, 4

4 которая таКже находится в вакуумной камере и расположена над катодными блоками. При напылении металла катод

4 нагревается..Для охлаждения катода

4 его внутренняя полость заполняется водой, подаваемой по трубе 6 или

: 7. Однако из этих труб является наполняющей, а вторая — отводящей охлаждающую воду.

По трубопроводу 1 подается нейтральный газ. Трубопроводов может быть несколько. Для получения большей однородности потока в полости между стенками 2 и 3 могут быть расположены дополнительные перего-. родки 8, 9.

Для прямоугольного катода 4 с раз-, мерами 7,5 60 см общая скорость потока газа через электростатический экран приблизительно равна 15 л/с при давлении 0,05 мм рт.ст. Промежуток между стенками 2 и 3 может быть выбран в пределах от 3 до 5 мм. Рабочее напряжение катодного блока выбирается в пределах от 2 до 5 кВ.

-2

Давление в вакуумной камере 5х10 мм рт.ст.

Наличие нейтрального газа между стенками 2 и 3 устраняет возможность пробоя между катодом 4 и стенками 2 и 3, образующими электростатический экран.

Катодный блок преимущественно для устройств для нанесения электропроводящих пленок методом распыления, содержащий металлический катод, многослойный электростатический экран, окружающий катод со всех сторон, за исключением рабочего участка поверхности катода, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения надежности работы катода за счет предотвращения возможности возникновения электрического пробоя между катодом и электростатическим экраном, он снабжен трубопроводом, один конец

20 которого введен в зазор между стенками электростатического экрана, а другой конец соединен с системой подачи нейтрального газа.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Заявка ФРГ Р 2149606, кл. С 23 С 15/00, 1971 {прототип).