Стекло
Иллюстрации
Реферат
Союз Советскик
Сециалистическик
Республик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
<1,765219 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 250778 (21) 2648607/29-33 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
Опубликовано 230980. Бюллетень № 35
Датаопубликованияописания 250980 (51)М. Кл.3
С 03 С 3/10
С 03 С 3/12
Государственный комитет
СССР ио делам изобретений и открытий (5З) НЖ 666.112. ,93(088.8) P,Ô. Шутова, В.3. Петрова, Т.М. Морозова, Н.Д. Колдашов, В.Г. Красов и Л.Н. Могилева (72) Авторы изобретения
Ф (71) Заявитель
Московский институт электронной техники
В j 1 ° -!. (54) СТЕКЛО
Й "j 1 Я
Изобретение относится к составам-1 стекол, применяющихся в композициях ! с соединениями благородных металлов, для производства толстопленочных резнсторов, использующихся в гибридных интегральных схемах для радио- и электронной техники.
Известно стекло f1) для толстопленочных резисторов, включающее, вес.%:
РЬО 55 — 75
510z 5 - 20
ВаОз 5 20
МпО 2- 10
ZnO 2 — 10 15
ZrOz. Π— 0,5
На основе этого стекла возможно получение прецизионных толстопленочных резисторов с проводящей фазой иэ соединений рутения. 20
Однако, низкоомные резисторы этого типа имеют относительно высокий положительный температурный коэффициент сопротивления (ТКС), достигающий величин +1500 10 а 1/ C. Такие резисторы нестабильны при воздействии влаги, термоциклов и т.п., что связано с недостаточнык количеством стека офазы в резистивной пленке. Высокий ТКС и недостаточная стабильность низкоомных резисторов обусловлены высоким объемном сопротивлением стекла (5v 0,5 ° 10 ом.см) и отноI сительно незначительным уменьшением величины сопротивления стекла в ин.тервале положительных температур
25-250 С соответственно 0,5 ° 10 ом см и 0,2 ° 10 ом см, т.е. уменьшение ве1S личины сопротивления в 25 раз.
Наиболее близким по составу к предлагаемому является стекло C2), включающее, вес.%:
РЬО 68 — 75
5!О 2,5- 5,5
ВОз6 8
ZnO . 2,5- 6,5
СиО 1 — 3, V 0 г — 3
Fe0 2 — 3
Cog 5 — 7
МпО 2 — 3, Укаэанное стекло обладает высокими значениями коэффициента линейного термического расширениял(=(96,8-100)к
Х 10 град, удельного объемного сопротивления, „ =10 ом см, что не
iz позволяет использовать его для изготовления прецизионных толстопленочных резисторов.
765219
1-10
СоО 1 — 10
Стекло варят в корундовых тиглях при 1250 С в течение 30 мин в силитовой печи. Полученные стекла имеют удельное объемное сопротивление при
20 С р при 250 С, равное 9 ° 10 а—
1 10 . омюсм и 2 10 -3 ° 10 ом см соответственно.
Конкретные составы стекол и свойства стекол и ниэкоомных резисторов ® на их основе, содержащих 40% рутения, приведены в таблице.
Компоненты стекла 2 Известное
I 1 ) э (4 (вес,Ф
Состав стекла, РЬО
SiO
Ва03
НпО
СвО
А)в О .
СоО
65,12
14,97
9,96
4,98
1,0
2,97
1,0
58,5
13Ä5
9,0
4,5
1,0
4,5
9 0
58,5
13,$
9,0
4,5
9,0
4,5
1 0
58,5
13,5
9 0
4 5
5,0
4,5
5,0
Свойства стекла
А, 10 град
p„", Ом см (20 С)
О„", Ом,см (250С) 70 72
5 ° 10 1 10
2 10 8.10 й
3 ° 10
3 10
98
63
9 ° 10
7 10
Свойства резистора
ЯВ, Ом/
ТКС, 10 град
Коэф.термостойкости, %
Коэф. влагостойкости, Ф
250
150
+1200
3,5
300
730
320
0,1
1,0
0t3.
0,1
0i3
0,3
0,1
2,5
0 5
Измерение по ГОСТ 16962-71.расширения, оно дополнительно содержит A I Îçè Со0 при следующем соотношении компонентов, вес.Ъ:
Pb0 55 - 75
510 10 — 25
ВаОз 5 20
Nn0 1 — 10
GuO 1 — 10 а1 0 1 - 10
СоО ..1 — 10
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Патент США, 9 3.868.334,,кл. 252-520, 1975.
2. Авторское свидетельство СССР
Р 614039, кл. С 03 С 3/12, 1977
B.TîâìàñÿH
Предлагаемые составы стекол обеспечивают получение низкоомных резисторов с улучшенными характеристиками.
Такие резисторы удовлетворяют требованиям прецизионной техники и изойдут 45 широкое применение в производстве толстопленочных гибридных ИС, потенциометров, СВЧ технике и т.п.
Формула изобретения
50 а
Редактор М.Келемеш
Корректор Г.Решетник .
Техред О. Легеза
Заказ 6894/10 Тираж 528 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал НПП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4. Цель изобретения — уменьшение удельного объемного сопротивления и коэффициента линейного термического расширения стекла.
Указанная цель достигается тем, что стекло дополнительно содержит
А 1 О и С о О при следующем соотношении компонентов, вес.Ъ:
РЬО 55 — 75
Si 0 10 — 25
 Π5 — 20
МпО 1 — 10
СиО 1- 10 а .
Стекло, включающее РЬО, 510 „
В ОЗ, Ип0, СОО, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения удельного объемного сопротивления и коэффициента линейного термического
Составитель
V,0S - 2
PbO - 70
51Ъ В О - б
ИпОф - 3
CuO - 3
2пО - 5
Fe0 - 2
Со О - 5