Испаритель для нанесения покрытий в вакууме

Испаритель для нанесения покрытий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

и,;, ; ° си- 3М . ,.,11 бл ека

О fl- - С HH E

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскив

Социалистических

Республик р>765399

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 040176 (21) 2 310636/18-21 (51) М. Кд.

С 23 С 13/00 с присоединением заявки ¹вЂ” (23) Пр нор итет

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.396. ,6,181.5 (088.8) Опубликовано 2 309,80. Бюллетень ¹ 35

Дата опубликования описания 2309.80

А, Б. Димант, В, В. Волков, М,Ш. Мулюков, В, П, Федоренко, С.И. Мещеряков, Ю,В. Егоров и В,A. Трофимов (72) Авторы изобретения

Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильного электрооборудования и автоприборов (71) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к сбласти нанесения покрытий испарением в вакууме, конкретнее к устройству испарителей, применяемым в вакуумных установках, например конвейерных, для нанесения покрытий на подложки.

Изобретение может быть использовано для получения беспористых защитных покрытий, например, моноокисью кремния, в частности,на отражателях с целью повышения коррозионной стойкости светоотражающего слоя .

Известен испаритель для нанесения покрытий в вакууме, представляющий собой проволочный испари тель, свитый в виде конической спирали из тугоплавкого металла (1), Однако этот испаритель не обес1течивает получения.беспористого покрытия, вследствие выброса макроскопических частиц, пробивающих получающуюся на подложке пленку, Цель изобретения — повышение качества покрытия, Достигается это тем, что у испарителя, выполненного в виде конусообразной спирали из тугоплавкого материала, спирали выполнены с переменным шагом, увеличивающимся от основания конуса, На фиг, 1 изображен предложенный испаритель, -общий вид; на фиг, 2 при5 ведена вакуумная камера, общий вид, в которой предложенный испаритель использован для нанесения беспористой защитной пленки на отражающее алюминиевое покрытие, 10 Предлагаемый испаритель представляет собой конусную спираль, свитую из проволоки 1 тугоплавкого металла, например молибдена, к концам которой подводится ток, Шаг навивки

15 спирали — переменный и увеличивается от основания конуса, В нижней части конуса размещена навеска 2 испаряемого материала, например мо. ноокиси кремния, В вакуумной камере конвейерной установки для нанесения испарением в вакууме светоотражающего покрытия повышенной коррозионной стойкости на отражатели фар, отражатели 3

25 располагаются с боковых сторон и на одинаковом расстоянии от испарителя 4 параллельно оси конуса, в нижней части которого размещена навеска моноокиси кремния 2, parпыляемая после нанесения алюминиевого ф

"- t м % ес .!1 . ф

3 5М ®, 4 4Х-:= ю Ъ. а «@ах светоотражающего слоя от испарите- покрытия .за счет получения беспориля 5, также располагаемого между стой защитной пленки и соответственрефлекторами на одинаковом расстоя- но увеличить срок службы оптических нии от последних в одной плоскости элементов фар, с испарителем моноокиси кремния.

В укаэанной установке вакуумные камеры входят в состав автономных

Формула изобретения постов металлизации, перемещаемых замкнутым цепным конвейером, причем Испаритель для нанесения покрытий каждый иэ постов снабжен откачными ус- в вакууме, выполненный в виде конусотройствами,станиной-тележкой и бло- образной спирали из тугоплавкого ком автоматического управления про- металла, отличающийся

19 цессом нанесения покрытия, тем, что, с целью повышения качества

Как показали проведенные испыта- покрытия, спирали выполнены с перения отражателей, применение пред- менным шагом, увеличивающимся от ложенного испарителя в виде кону- основания конуса ° сообразной спирали с переменным !5 Источники информации, шагом, увеличивающимся от меньшего принятые во внимание при экспертизе диаметра конуса с размещенной в 1, Давыдов Б,C. Вакуумное наненей навеской испаряемого материала, сени е тонких пленок. М., Энергия, позволяет более, чем в 6 раз повысить 19б7, с, 221, рис. 3-52 И (прокоррозионную стойкость отражающего 20 тотип) .

Atc.7

Составитель Л. Беспалова

Редактор F.. Гончар Техред М . Кузьма Корректор О Билак

Заказ 7540j1 Тираж 1074 Подписное

В!1ИИПИ Государственнoro комитета СССР по делам изобретений и открытий ! 130 35, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал !1!1Г! Патент . г Ъжгоппл. п пг г с т тндя d