Высоковакуумная установка

Высоковакуумная установка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

А4 з-"

11767391

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное н авт. свид-ву (22) Заявлено 100179 (23) 2712350/25-0б, с присоединением заявки ¹ (53)м. кл.з

F 04 В 37/14 осударственный комитет

СССР но делам нзобретеннй н открытн и (23) Приоритет

Опубликовано 300980Бюллетень ¹ 36 (53) УДК 533. 59 (088.Ч) Дата опубликования описания 300980 (72) Автор изобретения

И.Ф.Шмелев (71) Заявитель (54) ВЪ|СОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

1 изобретение относится к области систему, включающую высоковакуумный вакуумной техники. и форвакуумный насосы 2 и 3, подИзвестны высоковакуумные установ- ключенные к объему 1 посредством ки, содержащие откачиваемый объем охлаждаемой ловушки 4. Полость лои откачную систему, включающую высоко- 5 вушки 4 посредством трубопровода 5 вакуумный и форвакуумный насосы, под- с регулирукщим вентилем б.сообщена ключенные к объему посредством охлаж- с входом форвакуумного насоса 3. даемой лбвушки (1). Высоковакуумная установка имеет также

В известных установках защита от дополнительный форвакуумный насос миграции масла механического Aopaa- fo 7 с вентилем 8. куумного насоса в высоковакуумный Описанная установка работает насос осуществляется путем создания следующим образом. потока атмосферного воздуха на вход Производится предварительная форвакуумного насоса. Влага из атмо- откачка объема 1 и охлаждаемая ловушсферного воздуха, попадая в масло 15 ка 4 заливается хладагентом. При этом насоса, отрицательно влияет на ха- на вход форвакуумного насоса 3 по рактеристики насоса. трубопроводу 5 через вентиль б поЦелью изобретения является предот- дается поток пара хладагента из ловушвращение миграции масла без .Ухудше- . ки 4, практически не содержащий влания характеристик вакуумного механи-. 20 ги. Затем включается в работу высокоческого насоса. вакуумный насос 2. В этбм случае;

Укаэанная цель достигается тем, есЛи предварительная откачка объема что полость ловушки посредством производится дополнительным форвакуум- . трубопровода с регулирующим венти- ным насосом 7, попадание масла в лем сообщена со входом форвакуумного 25 объем 1 из насоса 7 может быть предотнасоса. . вращено напуском пара хладагента из

На чертеже показана схема описы- ловушки 4 на вход насоса 7 через венваемой установки. тиль 8.

Высоковакуумная установка содержит . Подача пара хладагента, имеющего откачиваемый объем 1 и откачнув 30 низкую температуру, в форвакуумный

767391

Составитель Н. Юшин

Редактор Л. Гольдина Техред С.Мигунова

ФРФайаМ НМ

Заказ7164/30 Тираж 725 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

ВъФвб.:Мй Ь Мажмрьаь, . ъ а.

Филиал ПЛП "Патент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Корректор С. Мекмар насос позволяет избежать перегрева насоса.

Такое выполнение установки дает воэможность уменьшить содержание паров рабочей жидкости насоса в остаточном газе и улучшить стабиль.ность работы насоса путем предотвращения его перегрева.

Формула изобретения

Высоковакуумная установка, содержащая откачную систему, включающую высоковакуумный и 4орвакуумйый насосы, " подключенные к откачиваемому объему

i посредством охлаждаемой ловушки, отличающаяся тем, что, с целью предотвращения миграции масла иэ форвакуумного насоса, полость ловушки посредством трубопровода с

> регулирующим вентилем сообщена со входом форвакуумного насоса. .Источники информации,. принятые во внимание при экспертизе

1. Кантер Б.З. Защита вакуумной системы от паров масла механического о насоса газовым потоком. Физика и техника вакуума. Казань, Изд. Казанского университета, 1974 с. 203-206.