Устройство для транспортирования изделий

Устройство для транспортирования изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Согоэ Советсг<их

Соцкалистнчески«

Республик

ОП ИСЛНИЕ ÄÄ»1 (i

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил-ву (51) М. Кл. (22), Заявлено 06,12.78 (2 E ) 2693736/18-21 с ггрис<гелинением заявки ¹

Н 01 I 21/00

В 65 G 17/16

Государстееииый комитет (23) Приоритет во делам изобретений и открытий

Опубликовано 15.10.80 Бюллетень № 38

Дата опубликования описания 15.10.80 (53) УДК 621.382. .3.002.2 (088.8) (72) Авторы изобретения

М. М. Ващук и Ю. Н. Портянников (7l) Заявитель (з4) УС ТРОЙ(ТВО Лг)Я ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ ИЗЛЕЙ!ИЙ качества, Изобретение относится к технологическому оборудованию дня производства изделий радиотехники и может быть использовано в устройствах fljlR жидкостной обработки полупроводниковых пластин, например очистки с применением ультразвука кремниевых подложек после резки.

Известно устройство для жидкостной обработки полупроводниковых пластин, содержащее ванну, внутри которой находятся держатели пластин с приводом вращения (1).

В этом устройстве не предусмотрено поштучное перемещепис обрабатываемых деталей в ванне от зоны заг.рузки к зоне выгрузки.

Также известно устройство для жидкостной обработки изделий, содержащее ванну и замкнутый цепной к< нвейср с держателями иэделий (2(.

Недостагком зтого устройства является то, <по обработка деталей производится в держате-. 20 лях, имеюших кор<гбчатую конструкцию, в которую загружанггся lруппы деталей. что ухудшает качеств«1б(табо<ки изделий по сравнению с их поштучной обработкой. Кроме того, в устройстве затруднены загрузка и выгрузка деталей, что снижает его эксплуатационные

Цель изобретения — повышение удобства эксплуатации устройства и повышение качсства обработки изделий — достигается тем, что устройство для транспортирования иэделий преимущественно при жидкостной обработке полупроводниковых пластин, содержащее расположенный на станине и связанный с приводным механизмом горизонтальный замкнутый цепной конвейер с держателями пластин, снабжено дополнительным конвейером, расположенным рядом с упомянутым, рамой, шарнирно закрепленной на станине, и допогшительным приводным механизмом поворота рамы. Причем оба конвейера смонтированы на раме и снабжены криволинейными копирами, размещенными на участках поворота цепи конвейера, и направляющими для держателей, а держатели размещены на конвейерах попарно с образовани.

50

3 771 ем каждой парой держателей гнезда для размещения пластин на сопрягающихся ветвях конвейера, каждый держатель шарнирно закреплен на цепи конвейера и снабжен цилиндрическим ггальцем для взаимодействия с копиром, 5

Копиры, расположенные на участке выгрузки, пластин, выполнены с радиусом кривизны, равным радиусу поворота цепи конвейера, причем центр радиуса кривизны этих кониров смещен против хода конвейера на величину расстояния между центром оси шарнирного закрепления держателя и его пальца.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг 2 показан разрез

А-А на фиг, 1 (конвейеры); на фиг. 3 — разрез

Б-Б на фиг. 1.

Устройство содержит станину с ванной 1, на которой шарнирно закреплена рама 2, кинематически связанная с приводом 3 ее поворота.

На раме смонтированы два идентичных цепных конвейера 4 и 5 (фиг. 2) с держателями 6, которые шарнирно связаны с цепью конвейера осями 7 (фиг. 1). На прямолинейных участках

25 конвейеров расположены направляющие 8 для перемещения держателей, а на участках поворота — криволинейные tI 9 — 12 с киивками, Держатели снабжсны цилиндрическими пальцами 13, которые входят в канавки копиров 3О на участках поворота конвейера. Радиус кривизны канавок копиров 9 и 12, находящихся на участке выгрузки пластин, равен радиусу поворота цепи конвейера, по которому перемещается ось 7 шарнирного закрепления держателя б, причем центр радиуса канавок копиров 9 и 12 смещен против направления движения конвейера на величину расстояния между осью 7 шарнирного закрепления держателя 6 и пальцем 13

4О этого держателя.

Конвейеры приводятся в движение приводным механизмом 14 через систему шестерен 15 и 16 и приводные звездочки 17. Для синхронизации работы узлов устройства служат фотодатчик 18 и блок управления 19. Держатели б размещены на цепях конвейера так, что тары держателей разноименных конвейеров образуют гнезда для размещения обрабатываемых пластин 20 (фиг. 3).

Устройство работает следующим образом.

При загрузке пластины 20 в гнездо, образованное держателями 6, фотодатчик 18 выдает сигнал на блок управления 19, который включает привод 3 поворота рамы 2. Рама с уста55

767 4 новленными на ней конвейерами 4 и 5 поднимается над ванной 1. Затем включается приводной механизм 14 и конвейеры перемещаются на один шаг. При этом деталь, находящаяся на позиции выгрузки, выпадает из гнезда, так как держатели расходятся в стороны на участке поворота цепей конвейера, Гак как центры радиусов поворота оси 7 и пальца 13 смещены на величину расстояния между осью и пальцем, то держатели расходятся, оставаясь параллельными сами себе на участке выгрузки,что обеспечивает наиболее благоприятные условия для выгрузки пластин. После этого рама с конвейерами опускается и пластины. погружаются в жидкость, находящуюся в ванне. Затем цикл повторяется.

Формула изобретения

1. Устройство для транспортирования изделий, преимущественно при жидкостной обработке полупроводниковых пластин, содержащее расположенный на станине и связанный с приводним механизмом горизонтальный замкнутый цепной конвейер с держателями пластин, о т л и ч аю щ e e с я тем, что, с целью повышения удобства эксплуатации и повышения качества обработки изделий, оно снабжено дополнительным конвейером, расположенным рядом с основным, рамой, шарнирно закрепленной на станш|е, и дополнительным приводным механизмом поворота рамы, причем оба конвейера размещены на раме и снабжены криволинейными копирами, размещенными на участках поворота цепи конвейера, и нйправляющими для держателей„а держатели размещены на конвейерах попарно с образованием каждой парой держателей гнезда для размещения пластин на сопрягающихся ветвях конвейера, каждый держатель шарнирно закреплен на цепи конвее йера и снабжен цилиндрическим пальцем для взаимодействия с копиром.

2, Устройство по п. 1, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что копиры,, расположеннЫе на участке выгрузки пластин, выполнены с радиусом кривизны, равным радиусу поворота цепи конвейера; причем центр радиуса кривизны этих копиров смещен против хода конвейера на величину расстояния между центром оси шарнирного закрепления держателя и его пальца, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР Р 419047, кл. С 23 G 3/00, 30.08,74.

2. Авторское свидетельство СССР N 176154, кл. С 2"3 G 3/00, 1965 (прототип).

77)767

Составитель Г. Падучин

Техред Н. Бабурка Корректор О. Билак

Редактор Т. Юрчикова

Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 6709/66 Тираж 844

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и оТкрытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5