Суспензия для магнитной маркировки

Суспензия для магнитной маркировки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Сов

Социал исти

Республ

ИСАНИЕ

ОБРЕТЕНИЯ (»F771768

РСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ительное к авт. свил-ву о 06.10.78 (21) 2671062/18-25 (5))iVL. Кл.

Н 01 L 21/02

С 23 С 3/04 нием заявки ¹

Государственный ет ао делам нзобре и открытнй ковано 15.10.80. Бюллетень № 38 публикования описания 15.10.80 (5З ) Уд К 621.382 (088.8) (72) А вторы изобретения

В. И. Матвеев, В. А. Приступов, А. М. Чеховской и Г.Я. Фарфель (71) Заявитель (54) СУСПЕНЗИЯ ДЛЯ МАГНИТНОЙ МАРКИРОВКИ

5,7

1,9

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и может быть использовано для магнитной маркировки преимущественно при

5 разбраковке кристаллов полупроводниковых структур на пластине.

Известна суспензия, обладающая магнитными свойствами, применяемая для маркировки забракованных полупроводниковых структур (1).

Она содержит окись железа для ферритов

ТУ6 — 09 — 563 — 70, шеллак чешуйчатый ТУ6 — 09— — 503 — 70 или шеллак импортный Р 38511/4 и спирт бензиловый ГОСТ 8751 — 72. Компоненты взяты в следующих соотношениях,(вес.ч.г !

Бензиловый спирт 26 (нли 25 мл)

Шеллак 10

Окись железа для ферритов 50

Недостатками известной суспензии являются низкая агрегатная устойчивость и небольшой срок годности - - 15 — 16 дней от момента ее приготовления при условии хранения в герметично закрытой посуде. Агрегатная неустойчивость объясняется тем, что удельная плотность жидкой фазы суспензии ниже удельной плотности окиси железа, а форма частиц твердой фазы не обеспечивает их удержания во взвешенном состоянии. .Кроме того, через 5 — 6 ч после заправки суспензии в маркировочное устройство бензиловый спирт испаряется, что вызывает необходимость частой промывки маркировочных устройств с последующим заполнением их свежей суспензиеи н настройкой установки.

Известная суспензия для магнитной маркировки (2), содержащая глицерин, дистиллированный по ГОСТ 6824 — 76, глюкозу по ГОСТ

6038 — 74, железокобальтовьтй феррит тип 2 по ТУ МХЗ-112-70 и гамма-окись железа игольчатую тип 6 (или тил 12) по ТУ6 — 17-599 — 74 при следующем соотношении компонентов, вес.ч.:

Глицерин 12

Глюкоза 7

Железо-кобальтовый феррит Т 2

Гамма — окись железа

77 1768

9,5 — 10,5

3 — б

I II I II.

П р н м с р. Приготовляют магнитную суспснзию, которая содержиI,âåo.÷.:

Глицерин 10

Глюкозу 5

Фта1<свый илн малеиновый ангидрид 3

1 амма-окись железа игольчат<11! 4

Карбонильнос железо 18.

Приготовление проводят в два этапа.Сначала 1эаствори<от в глицерине глюкозу и фталевыи или малеиновый ангидрид при температуре 140180 С, à пос»с остывания раствор переливают в фарфоровую ступку и в нее поочередно добавляют при непрерывном растирании гаммаЭта суспензия обладает агрегатной устойчпволью и имеет неограниченный срок хранения.Агрегатная устойчивость обеспечивается игольчатой структурой гамма -окиси железа. иголки в жидкой фазе суспензии (растворе глюкозы в глицерине) образуют мелкоячеистый каркас, не подверженный вьшадени10 в осадок.

Ячейки каркаса заполняются железо-кобальтовым ферритом Т2, увеличивая концентрацию ферромагнетика.

Недостатком суспензии является высокая степень адгезии к поверхности кремния после сушки. Вследствие этого при ломке полуг1Роводниковой пластины на кристаллы на жестком основании наблюдаются случаи отделения марI керных знаков от поверхности кристалла.

Кроме того, известная суспензия имеет неBbIcoK+0 ко11центра10110 фер1эома1-нитных cocTIIBляющих (7,6 <рсрромагнетиков на 7 г нелетучих компонентов, или 1,08:!), что снижает подъсмну10 силу при сепарации кристаллов с помощью магнита.

1lc»» изобретения — повышение адгезионной а<особности суспснзии и улучшение ее мапштных свойств. 25

11осгавлешгал цель достигается тем, что суспензия до<гол1<ителыго содержит фталевьш или малснновый ашидрид и карбонильное железо при сл<.дующем соотношении компонентов, вес.ч.: 30

Гпицсрин

Ггпокоза

Фталевый или малсиноIIIIII аш ндрид 2-- 6

Гамма-окись железа

35 игольчатая 2 — 5

Карбош<шыгое железо 9 — 2/

Сущность изобретения заключается в том, чго введение фталевого С6114(СО) 20 или малсинового С2112 (СО) 20 ангидрида и карбонимьного x«.»<.:Ia обеспечило высокие адгезионные cIIo

В предложенной суспензия концентрация ферромагнитных компонентов по отношению к нелетучим немагнитным компонентам составляет в предельном случае 7:1 (32:4,5) против

1,4:! (35:25) для известной суснензии.

В результате эксперимента. были выбраны предельные концентрации компонентов магнитной суспензии по сдрдуюшим показателям.

При содержании глюкозы в суспензии менее

3 вес.ч. снижается вязкость жидкой фазы суспензии, что приводит к расслоению суспензии при хранении и повышенному растеканию маркерного знака на полупроводниковой структуре. При концентрации более 6 вес.ч. увеличивается вязкость, что затрудняет нанесение маркерных знаков, При содержании фталевого или малсинового ангидрида менее 2 веся. снижается эффективность адгезии, а при содержании более 6 IEec. 1 увеличивается растекаемость маркерного знака за пределы структуры.

В случае содержания гамма — окиси железа менее 2 вес.ч. теряется агрегатная устойчивость и выпадает в осадок карбонильное железо, а при содер2кании более 5 веся. повышается вязкость без заметного изменения магнитных свойств.

Концентрация железа менее 9 всся, уменьшает подъемную силу при использовании магнита до уровня известной суспензии, а при концентрации более 27 вес.ч. повышается вязкость суспензии, затрудняется нанесение маркерных знаков и понижается прочность маркерной метки.

При приготовлении суспензии рекомендуется с увеличением количества фталсвого ангидрида уменьшить количество глюкозы: количество карбонильного железа согласовать с размером маркерной точки, размером кристалла и диаметром маркерной иглы.

При необходимости можно повысить оптическую контрастность маркерн<ях знаков путем введения в предложенную суспснзию цветового наполнитсля, например <пноминиевой пудры, в количестве 0,5 — 1 вес.ч.

Настоящую суспснзию используют для зарядки маркировочных устройств автоматических зондовых установок. Ляя закрепления марксрных знаков на структурах полупроводниковые пластины выдерживают на воздухе в те <е1шс 30-40 мин прн температуре 140-180 С.

Суспензия имеет неограниченныи срок хранения в закрытой посуде, при этом обладает повышенной адгсзионной способностьк> и улу.<шенными магнитными свойствами.

771768

2 — б

1а

Составитель Н. Ярмолюк

Техред M. Петко Корректор Н. Стец

Редактор T. Орловская

Тираж 844 Подписное

ИНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6709/66

Филиал НПЛ "Патент", r. Ужгород. ул. Проектная, 4

Использование суспенэии обеспечивает надежное и быстрое удаление забракованных структур после разлома полупроводниковых пластин на кристаллы. Магнитная суспензия может быть использована для маркировки любых изделий из немагнитных материалов.

Использование магнитной суспензии в промышленности позволяет повысить надежность работы маркерных устройств.

Формула изобретения

Суспензия для магнитной маркировки, содержащая глицерин, глюкозу и гамма-окись железаигольчатую,отличаюшаяся тем, что с целью повышения адгезионной способности и улучшения магнитных свойств, она дополнительно содержит фталевый или маленновый ангидрид н карбоннльное железо прй следующем соотношении компонентов. вес.ч.:

Глицерин 95 — 10,5

Глюкоза 3 -- 6

Фталевый или маленновый ангидрид

Гамма- окись железа игольчатая 2 — 5

Карбонильное железо 9 — )7

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Технологическая карта 190.028.105, Киев.

2. Авторское свидетельство СССР И 550911, кл. Н 01 Н 23/54, 1975 (прототип).